同济大学聚焦离子束双束系统及附件国际招标项目公开招标公告

序号

产品名称

数量

简要技术规格

备注

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聚焦离子束双束系统及附件

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聚焦离子束双束系统技术指标 * *.*.*.* **离子束分辨率：*.* ** @ ** ** **.*.*.* ** 离子束流强度：*.* ** – ** ** * *.*.*.* 电子束分辨率： *.* ** @ **-* **； *.* ** @ * **； *.* ** @*** * **.*.*.* ****分辨率：*.* **@** ** * *.*.* 高精度*****-******压电陶瓷驱动***方向； * *.*.* *、*方向马达移动范围：≥*** ** * *.*.* **样品台回复精度：≤ *.* ** **.*.*具有原厂主机软件集成原位样品自动提出系统，用于制备好透射电镜样品后提出：漂移≤****/***；马达驱动***度无限制旋转。可在双束电镜操作界面直接控制。可实现编程控制机械手的动作。 **.*.* 自动***样品制备软件：可实现自动控制***样品制备过程，包括自动控制机械手的伸缩，样品与针尖的焊接，及最终减薄和低电压清洗样品非晶区。电制冷能谱仪性能指标 *.* *探测器：分析型***硅漂移电制冷探测器，晶体面积******，有效活区面积*****，超薄窗设计，无需液氮冷却，仅消耗电能。 *.* *能量分辨率：** **保证优于*****, 元素分析范围: ***～****。 *.* *圆形对称芯片，独立封装***场效应管，避免*射线轰击。 *.* *谱峰稳定性：*,******到***,******，** **峰谱峰漂移小于***，分辨率变化小于***, **小时内峰位漂移小于*.*** *.* *能谱仪图像处理器及脉冲处理器均与计算机采用分立式设计，电子图像清晰度*********，全谱面分布图清晰度********* *.** *定量分析: 可对抛光表面或粗糙表面定量分析。采用定量修正技术, 可对倾斜样品进行修正, 并增强对轻元素的修正。冷冻制备传输系统技术指标 **.*.*冷冻制备腔室和扫描电镜冷台、冷阱均采用过冷氮气气冷方式；配置分体式安装的液氮杜瓦瓶组件；无需补充液氮的连续运行时间不小于**小时 **.*.*真空系统涡轮分子泵抽真空系统，抽速为**升/秒，其前级泵为抽速*立方/小时的旋转机械泵；制备腔室真空度优于****-* ****（液氮冷却时） **.*.*具有样品断裂、升华、喷镀等功能。可设置及贮存时间-温度的升华参数曲线，全自动升华操作；溅射镀膜头为低电压冷溅射工作方式，标配**靶，可选其它靶材，全自动溅射镀膜 **.*.* **兼容冷台：-***℃，温度稳定度&**;*℃；可兼容电镜样品台高达***反向电压冷阱：-***℃或更低 **.*.*系统需配有触摸电脑及相应操作软件，通过软件可实现自动控制操作及编辑、贮存程序；具有远程诊断功能 **.*冷冻制备传输系统*台，包括：冷冻传输系统主机(内含断裂、升华及镀膜功能)、涡轮分子泵组件、机械泵、组合式样品预处理装置、样品传输装置、触摸屏电脑（含操作软件）、***相机、适配于扫描电镜底座的低温样品台、防污染冷阱、**升分体式液氮杜瓦瓶装置、扫描电镜端口适配组件、铂靶*块、****自增压液氮杜瓦*个及各种用途的样品座（至少包含标准样品梭*个，平样品梭*个，**°、**°样品托各*个）。

预算：*** *,***,***