采购合同
合同编号:
项目名称:****高分扫描探针显微镜(***)采
购项目
采购人(以下称甲方):****
供应商(以下称乙方):****
合同书
合同编号:
订立本合同各方当事人:
买方单位:****(以下称甲方)
卖方单位:****(以下称乙方)
(甲方)****通过公开招标采购方式(招标编号:
****-**********_),确定(乙方)****为松山湖材
料实验室高分辨扫描探针显微镜(***)采购项目的中标人。双方依据《中
华人民共和国****法》、《中华人民共和国****法实施条例》、
《中华人民共和国民法典》等,在平等自愿的基础上,同意按照下面
的条款和条件,签署本合同,双方共同遵守。
*、甲方同意购买乙方提供的高分辨扫描探针显微镜(***),相关信
息见下表:
序号 |
条目 |
描述 |
|
免税进口设备部分 |
|
型号规格 |
******* |
* |
产品* |
高分辩扫描探针显微镜(***) |
* |
制造商及原产地 |
*******************************,***美国 |
* |
数量/金额 |
*套/¥*,*** |
免税进口设备金额人民币¥*******.**;外汇牌价按开标日当天中国银行外汇牌价:*.*****兑***,折合总价*****:汇率风险由中标人承担。 |
免税进口设备金额人民币¥*******.**;外汇牌价按开标日当天中国银行外汇牌价:*.*****兑***,折合总价*****:汇率风险由中标人承担。 |
免税进口设备金额人民币¥*******.**;外汇牌价按开标日当天中国银行外汇牌价:*.*****兑***,折合总价*****:汇率风险由中标人承担。 |
以上总价为***(不含关税、增值税)最终用户实验室价格人民币 |
以上总价为***(不含关税、增值税)最终用户实验室价格人民币 |
以上总价为***(不含关税、增值税)最终用户实验室价格人民币 |
¥***.**该价格包括但不限于进口合同外贸执行费,银行
费,以及进口环节所有费用(免税办理费、清关杂费、海关仓储费、
货物从港口到用户单位的运输费和保险费,商检费等),甲方不再支付
乙方其他任何费用。中国政府对原产于美国部分商品的加征关税由乙
方承担。
*、进口免税设备:
*.*、甲方将根据本合同内容同外贸代理公司(东方国科(北京)进
出口有限公司,以下简称东方公司)签订代理进口合同,并指定
东方公司与乙方授权的注册于(香港*龍灣常悦道*企業
*期**楼**-**室/******-**,**/**********************.*
************************,********)的(新商务国际
贸易有限公司/*********************************.,*******)
与东方公司签署并履行外贸合同所有责任和义务。乙方作为中标
人,对其授权签署外贸合同的卖方公司(新商务国际贸易有限
公司/*********************************.,*******)的资
信承担全部责任,并对该外贸合同的执行和售后服务等承担全部
连带责任。本合同将作为甲方指定的外贸公司与乙方授权签署外
贸合同的卖方公司(新商务国际贸易有限公司/***********
**********************.,*******)签订外贸订货合同的依
据,并作为外贸订货合同的有效组成部分。
*.*、交货日期:本合同签订生效后*个月内。
*.*、交货地点:乙方按甲方指定时间和地点送货。如甲方要求变更
交货地点,应在合同规定的交货期限前**个工作日书面通知乙
方,以便乙方调整工作安排。
*.*、付款方式:采用即期不可撤销信用证国际贸易支付条件支付:
***%凭合同要求单据支付。凭发货单付**%,验收合格凭验收报
告付**%。
*、配置清单:详细见附件*。
*、技术指标:详细见附件*
*、货物验收、安装调试及设备技术验收
*)到货仪器设备送达甲方单位时应包装完好、未折封(商检原因
除外),由甲方人员、乙方工程师或****市商检局工作人员按照乙
方向用户提供设备供货清单共同开箱拆封、验货并对设备的数量、
品质进行逐项检查,不得自行拆箱验货。甲方和乙方双方如发现
所提供设备的品质和技术规范不符合合同要求时,或有明显损坏,
甲方有权向厂商或乙方提出退、换和索赔。
*)安装调试前**天,乙方应向甲方提供安装所需的外部条件说
明和相关图纸,如设备安装有特殊要求,乙方或厂商应在设备安
装之前**天以书面形式向甲方提出安装场地环境要求,并对甲方
就安装场地环境的咨询提供技术支持。乙方在接到甲方通知后*
天内指派专业工程师到甲方指定地点免费进行调试,安装直到正
常运行,并对相关人员培训。乙方安装人员对现场安装安全负有
责任。与甲方或****市商检局工作人员共同开箱检验,检查仪器
设备及随机附件是否全新、完整无损;技术资料与图纸是否与甲
方的要求相符。如发生破损、缺件等问题,乙方应及时地提出解
决方案,并尽快地给以解决,造成的延误损失由乙方负责。
*)技术验收以乙方提交的中标资料技术参数及乙方公开的该设备
的技术资料指标为准(该指标应不低于招标文件所要求的技术指
标)。任何虚假指标响应*经发现,即作废标处理,甲乙双方之间
任何与之相关的合同同时作废,乙方必须承担由此给甲方带来的
*切经济损失和其它相关责任。
*)乙方工程师按照甲方确认的安装调试方案和计划完成仪器安装
调试合格后,作为技术验收的*部分,乙方还须完成由甲方提供
的标准物质及分析样品的测试,技术参数指标必须合格。
*、技术与售后服务
*)技术培训:仪器设备验收合格后,乙方配备的售后服务安装工
程师在甲方指定地点对甲方进行_*人、为期*个工作日的免费
安装培训。培训内容包括:基本原理、仪器结构、硬件操作、软
件使用、数据处理、维护保养及简单故障排除等。培训期内乙方
人员的差旅费、食宿及其它费用应由乙方自理。
*)软、硬件升级:乙方应免费向甲方提供自设备验收通过之日起
未来*年的仪器软件升级和优惠提供与之相关的硬件升级。
*)仪器设备自甲方验收通过之日起整机免费保修*年,保修期
内仪器设备本身所发生的任何质量问题(人为使用不当损坏除
外),乙方负责免费更换新的原配件。
*)乙方接到报修后,应在**小时内对甲方的服务要求作出响应,
*般问题应在**小时内解决。重大紧急情况售后服务工程师应*
小时内到场,并及时排除故障,否则乙方应赔偿相应损失。乙方
维修时间不得超过**天,因设备故障耽摘的时间,保修期顺延。
*)乙方应按时提供全新、原厂生产、未经使用的设备以及原产地
证明材料,否则应保证更换并向甲方支付相关损失。
*)乙方应向甲方免费提供:中文版的产品说明书、设备使用说明
书、操作手册、其他按照要求和约定须提供的资料。
*)乙方所提供的原材料、设备、构配件、半成品等所涉及的知识产权为乙
方所有。乙方须*并向甲方提供相应的权属证明。涉及第*方知识产权的,
乙方须提供合法的授权使用证明。对于上述知识产权权利,乙方许可甲方在
后续的生产、使用、销售过程中使用,使用范围和期限不限。甲方在乙方所
供货物基础上进行后续改进创新而产生的知识产权归属于甲方所有。
*、违约索赔:
*)本合同*经双方签字,即时生效,任何*方擅自取消或终止合同,将承
担全部责任,违约方将赔偿守约方最高不超过合同货款总价*%的违约金。
*)乙方逾期交付物品,除人力不可抗拒事故外,乙方应付给甲方每*星期
按迟交货物总值的*.*%的迟交罚款,不足*星期的迟交日数作为*星期计
算,此项罚款总额不超过全部迟交货物总值的*%。
*)乙方必须按甲方指定地点按时交货,货物不符合质量标准的,乙方必须按
时负责调换至合格为止,并承担由此产生的实际费用。
*)乙方应保证所提供的原材料、设备、构配件、半成品等不侵犯任何第*
方的知识产权。否则,由此发生知识产权纠纷时,乙方应承担*切经济和法律
责任,包括但不限于赔偿甲方因参与此类侵权指控的诉讼费用、律师费用、所
受损失及弥补纠正侵权产品而支付的所有费用。
*)任何*方因不可抗拒原因,未能履约,可以免责。但当事者应尽快通知对
方,并在事故发生后*天内寄送有关证明文件。不可抗拒事故延续**天以
上,双方应协商本合同的履行或终止。
*、解决合同纠纷方式
双方必须依据中华人民共和国有关法律和法规严格执行合同,如
在本合同执行过程中产生争议,买卖双方应在相互谅解和友好的基础
上协商解决。如在本合同执行过程中产生争议,甲乙双方应相互谅解
和友好的基础上协商解决。如经协商仍不能达成协议,则应向甲方所
在地法院诉讼解决。
*、不可抗力
甲乙双方的任何*方由于不可抗力的原因不能履行合同时,应及
时向其他*方通报不能履行或不能完全履行的理由;在取得有关主管
机关证明以后,允许延期履行、部分履行或者不履行合同,并根据情
况可部分或全部免予承担违约责任。
**、其它
本合同自各方签字、盖章后生效,合同执行期内,甲乙各方均不
得随意变更或解除合同。合同如有未尽事宜,须经双方共同协商后签
订补充协议,补充协议本合同具有同等效力。
本合同*式*份,甲方*份,乙方*份,采购代理机构*份。
本技术合同若有不清晰之处,相关事项均按照中标文件描述执行。
甲方:****地址:****省****市松山湖大学创新城**栋邮政编码:******委托代理人签字:电话:*****.*开户行:中国工商银行****分行松山湖支行账号:*******************税号:******************日期:年月日 |
乙方:****地址:****省广州市越秀区先烈中路***号大院*号***房自编**楼邮政编码;委托代理人签字电话:已审核开户银行:中国银行广州先烈中路支行账号:************税号:******************日期:年月日 |
附件*、配置清单
名称 |
型号 |
数量 |
高分辨扫描探针显微镜显微镜主机 |
******* |
*台 |
标准光源模块 |
**-*** |
*套 |
光热激发成像模块 |
*********-*** |
*套 |
扫描电容显微镜模块 |
***-***-* |
*套 |
扫描隧道显微镜模块 |
**-***-*** |
*套 |
附件*、性能指标
*、工作模式:
轻敲模式,接触模式,相位成像模式,横向力模式,磁场力显微镜,静电力显微镜,表面电
势显微镜,动态和静态力曲线测试,力阵列测量,纳米刻蚀,纳米操纵,高次谐波成像模式,
频率调制模式,双频共振追踪,智能探针校准技术
*、扫描器
*.扫描器为*,*,**轴分离的扫描器,*,*个驱动轴严格正交;
*.*,*方向的扫描范围不低于**μ*,*方向不低于*μ*
*.扫描器闭环噪音:**轴闭环噪音&**;****(****,***到****带宽),在闭环条件下实现
原子晶格的分辨率。
*.扫描速度:保证正常准确成像的前提下,可以对方解石晶体表面重构进行扫描,轻敲模
甲
式下扫描范围*微米时,扫描线速度*****
*.在没有外加防震平台的前提下,实现***方解石原子像测试要求。
*、系统高度噪音&**;****(****,***到****带宽)
*、控制器:
**个全数字双频锁相放大器。其中*个为工作在*****的双频率数字积分锁相放大器;
**个输出频率在*****的双频率频率合成器。频率范围从直流到最大*****(****步长)。
**个输出频率在*****的双频率频率合成器,频率范围从直流到最大****(****步长)。
*控制精度:控制器应至少有*个的**位和*个**位的数模转换器***,*个**位和*
个**位模数转换器***
****开放信号接口,用户可通过开放接口提取或控制系统,可与其他设备信
号交换。
*、操作软件:
***的控制软件免费提供,同时必须开放操作软件的源代码,并提供终身免费维护及升级。
*、自动化控制
*.通过软件控制激光点位置,无需手动调节。
*.通过软件控制光电*极管检测器自动归*,无需手动调节。
*.具有软件自动进针进行智能扫描功能。
*、压电力显微镜模式
压电力显微镜系统本身(无任何外加的锁相设备)即能够在该模式下实现单频压电力显微镜
双频共振追踪压电力显微镜,极化翻转谱测试以及矢量压电力显微镜技术。双频共振追踪压
电力显微镜模式中,同时在共振峰的*侧施加*个振动频率以实时的追踪共振频率的变化,
有效提高压电信号的灵敏度。
*、
光电检测器测试带宽*****
*、扫描电容显微模块
*.*可利用极其灵敏的射频信号可以直接探测样品表面的电容变化,不再局限于氧化物半导
体,也适用于金属和绝缘体的测量,测量精度低至***(*×**·***),射频信号的频率调节范
围可达:*.****-*.****
*.*能实现超快的扫描电容显微镜扫描成像,在保证成像的质量下,扫描线速度大于****
*.*需在扫描形貌的同时获得电容、**********、**/***********、**/*******等丰富的信
号通道,其空间分辨率可达****以下(受限于所选用的探针类型)
*、光热激发成像模块
限公司
使用*束可见激光来驱动探针振动,进行轻敲模式下的各种操作。驱动频率*****,并能
够利用该模块实现振幅-频率粘弹性测试模式:扫描成像的同时获得样品的表面形貌、弹性
模量以及损耗因子等力学性能。模量测试范围****至******以上。
章
**、扫描隧道显微镜模块
能够利用隧道电流对导电样品的表面进行高分辨的成像,可实现石墨的原子点阵结构测试。
**、防震隔音系统:原子力显微镜系统自身集成的*体式防震隔音系统。
**、光学系统:****像素点*****,光学分辨率≤*.*微米。
采购合同
合同编号:
项目名称:****高分辨扫描探针显微镜(***)采购项目
采购人(以下称甲方):****
供应商(以下称乙方):****
合同书
[合同编号:]
订立本合同各方当事人:
买方单位:****(以下称甲方)
卖方单位:****(以下称乙方)
(甲方)****通过公开招标采购方式(招标编号:****-**********),确定(乙方)****为****高分辨扫描探针显微镜(***)采购项目的中标人。双方依据《中华人民共和国****法》、《中华人民共和国****法实施条例》、《中华人民共和国民法典》等,在平等自愿的基础上,同意按照下面的条款和条件,签署本合同,双方共同遵守。
*、甲方同意购买乙方提供的高分辨扫描探针显微镜(***),相关信息见下表:
序号 |
条 目 |
描 述 |
免税进口设备部分 |
* |
产品* |
高分辨扫描探针显微镜(***) |
* |
型号规格 |
****** * |
* |
制造商及原产地 |
****** *********** ****** ********, ***. 美国 |
* |
数量/金额 |
*套/¥*,***,***.** |
免税进口设备金额人民币¥*,***,***.** ;外汇牌价按开标日当天中国银行外汇牌价:*.*****兑*** ,折合总价*** ;汇率风险由中标人承担。 |
以上总价为***(不含关税、增值税)最终用户实验室价格人民币 ¥*,***,***.** ;该价格包括但不限于进口合同外贸执行费,银行费,以及进口环节所有费用(免税办理费、清关杂费、海关仓储费、货物从港口到用户单位的运输费和保险费,商检费等),甲方不再支付乙方其他任何费用。中国政府对原产于美国部分商品的加征关税由乙方承担。 |
*、进口免税设备:
*.*、甲方将根据本合同内容同外贸代理公司(东方国科(北京)进出口有限公司,以下简称东方公司)签订代理进口合同,并指定东方公司与乙方授权的注册于(香港*龍灣常悅道*號企業廣場*期**樓**-**室/******-**,**/*,*******************,**.***************,**********,********)的(新商务国际贸易有限公司/*********************************.,*******)与东方公司签署并履行外贸合同所有责任和义务。乙方作为中标人,对其授权签署外贸合同的卖方公司(新商务国际贸易有限公司/*********************************.,*******)的资信承担全部责任,并对该外贸合同的执行和售后服务等承担全部连带责任。本合同将作为甲方指定的外贸公司与乙方授权签署外贸合同的卖方公司(新商务国际贸易有限公司/*********************************.,*******)签订外贸订货合同的依据,并作为外贸订货合同的有效组成部分。
*.*、交货日期:本合同签订生效后*个月内。
*.*、交货地点:乙方按甲方指定时间和地点送货。如甲方要求变更交货地点,应在合同规定的交货期限前**个工作日书面通知乙方,以便乙方调整工作安排。
*.*、付款方式:采用即期不可撤销信用证国际贸易支付条件支付:***%凭合同要求单据支付。凭发货单付**%,验收合格凭验收报告付**%。
配置清单:详细见附件*。
*、技术指标:详细见附件*。
*、货物验收、安装调试及设备技术验收
*)到货仪器设备送达甲方单位时应包装完好、未折封(商检原因除外),由甲方人员、乙方工程师或****市商检局工作人员按照乙方向用户提供设备供货清单共同开箱拆封、验货并对设备的数量、品质进行逐项检查,不得自行拆箱验货。甲方和乙方双方如发现所提供设备的品质和技术规范不符合合同要求时,或有明显损坏,甲方有权向厂商或乙方提出退、换和索赔。
*)安装调试前**天,乙方应向甲方提供安装所需的外部条件说明和相关图纸,如设备安装有特殊要求,乙方或厂商应在设备安装之前**天以书面形式向甲方提出安装场地环境要求,并对甲方就安装场地环境的咨询提供技术支持。乙方在接到甲方通知后*天内指派专业工程师到甲方指定地点免费进行调试,安装直到正常运行,并对相关人员培训。乙方安装人员对现场安装安全负有责任。与甲方或****市商检局工作人员共同开箱检验,检查仪器设备及随机附件是否全新、完整无损;技术资料与图纸是否与甲方的要求相符。如发生破损、缺件等问题,乙方应及时地提出解决方案,并尽快地给以解决,造成的延误损失由乙方负责。
*)技术验收以乙方提交的中标资料技术参数及乙方公开的该设备的技术资料指标为准(该指标应不低于招标文件所要求的技术指标)。任何虚假指标响应*经发现,即作废标处理,甲乙双方之间任何与之相关的合同同时作废,乙方必须承担由此给甲方带来的*切经济损失和其它相关责任。
*)乙方工程师按照甲方确认的安装调试方案和计划完成仪器安装调试合格后,作为技术验收的*部分,乙方还须完成由甲方提供的标准物质及分析样品的测试,技术参数指标必须合格。
*、技术与售后服务
*)技术培训:仪器设备验收合格后,乙方配备的售后服务安装工程师在甲方指定地点对甲方进行*人、为期*个工作日的免费安装培训。培训内容包括:基本原理、仪器结构、硬件操作、软件使用、数据处理、维护保养及简单故障排除等。培训期内乙方人员的差旅费、食宿及其它费用应由乙方自理。
*)软、硬件升级:乙方应免费向甲方提供自设备验收通过之日起未来*年的仪器软件升级和优惠提供与之相关的硬件升级。
*)仪器设备自甲方验收通过之日起整机免费保修*年,保修期内仪器设备本身所发生的任何质量问题(人为使用不当损坏除外),乙方负责免费更换新的原配件。
*)乙方接到报修后,应在**小时内对甲方的服务要求作出响应,*般问题应在**小时内解决。重大紧急情况售后服务工程师应*小时内到场,并及时排除故障,否则乙方应赔偿相应损失。乙方维修时间不得超过**天,因设备故障耽搁的时间,保修期顺延。
*)乙方应按时提供全新、原厂生产、未经使用的设备以及原产地证明材料,否则应保证更换并向甲方支付相关损失。
*)乙方应向甲方免费提供:中文版的产品说明书、设备使用说明书、操作手册、其他按照要求和约定须提供的资料。
*)乙方所提供的原材料、设备、构配件、半成品等所涉及的知识产权为乙方所有。乙方须*并向甲方提供相应的权属证明。涉及第*方知识产权的,乙方须提供合法的授权使用证明。对于上述知识产权权利,乙方许可甲方在后续的生产、使用、销售过程中使用,使用范围和期限不限。甲方在乙方所供货物基础上进行后续改进创新而产生的知识产权归属于甲方所有。
*、违约索赔:
*)本合同*经双方签字,即时生效,任何*方擅自取消或终止合同,将承担全部责任,违约方将赔偿守约方最高不超过合同货款总价*%的违约金。
*)乙方逾期交付物品,除人力不可抗拒事故外,乙方应付给甲方每*星期按迟交货物总值的*.*%的迟交罚款,不足*星期的迟交日数作为*星期计算,此项罚款总额不超过全部迟交货物总值的*%。
*)乙方必须按甲方指定地点按时交货,货物不符合质量标准的,乙方必须按时负责调换至合格为止,并承担由此产生的实际费用。
*)乙方应保证所提供的原材料、设备、构配件、半成品等不侵犯任何第*方的知识产权。否则,由此发生知识产权纠纷时,乙方应承担*切经济和法律责任,包括但不限于赔偿甲方因参与此类侵权指控的诉讼费用、律师费用、所受损失及弥补纠正侵权产品而支付的所有费用。
*)任何*方因不可抗拒原因,未能履约,可以免责。但当事者应尽快通知对方,并在事故发生后*天内寄送有关证明文件。不可抗拒事故延续**天以上,双方应协商本合同的履行或终止。
*、解决合同纠纷方式
双方必须依据中华人民共和国有关法律和法规严格执行合同,如在本合同执行过程中产生争议,买卖双方应在相互谅解和友好的基础上协商解决。如在本合同执行过程中产生争议,甲乙双方应相互谅解和友好的基础上协商解决。如经协商仍不能达成协议,则应向甲方所在地法院诉讼解决。
*、不可抗力
甲乙双方的任何*方由于不可抗力的原因不能履行合同时,应及时向其他*方通报不能履行或不能完全履行的理由;在取得有关主管机关证明以后,允许延期履行、部分履行或者不履行合同,并根据情况可部分或全部免予承担违约责任。
**、其它
本合同自各方签字、盖章后生效,合同执行期内,甲乙各方均不得随意变更或解除合同。合同如有未尽事宜,须经双方共同协商后签订补充协议,补充协议本合同具有同等效力。
本合同*式*份,甲方*份,乙方*份,采购代理机构*份。
本技术合同若有不清晰之处,相关事项均按照中标文件描述执行。
甲方:****地址:****省****市松山湖大学创新城**栋邮政编码: ******委托代理人签字:电话:开户行:中国工商银行****分行松山湖支行账号:**** **** **** **** ***税号:******************日期: 年 月 日 |
乙方:****地址:****省广州市越秀区先烈中路***号大院*号***房自编**楼邮政编码:委托代理人签字:电话:开户银行:中国银行广州先烈中路支行账号:************税号:******************日期: 年 月 日 |
附件*、配置清单
名称 |
型号 |
数量 |
高分辨扫描探针显微镜显微镜主机 |
****** * |
*台 |
标准光源模块 |
**-*** |
*套 |
光热激发成像模块 |
*********-*** |
*套 |
扫描电容显微镜模块 |
***-***-* |
*套 |
扫描隧道显微镜模块 |
**-***-*** |
*套 |
附件*、性能指标
*、工作模式:
轻敲模式,接触模式,相位成像模式,横向力模式,磁场力显微镜,静电力显微镜,表面电势显微镜,动态和静态力曲线测试,力阵列测量,纳米刻蚀,纳米操纵,高次谐波成像模式,频率调制模式,双频共振追踪,智能探针校准技术
*、扫描器
*.扫描器为*,*,**轴分离的扫描器,*,*,**个驱动轴严格正交;
*,*方向的扫描范围不低于**μ*,*方向不低于*μ*
*.扫描器闭环噪音:*,*轴闭环噪音&**;****(****,***到****带宽),在闭环条件下实现原子晶格的分辨率。
*.扫描速度:保证正常准确成像的前提下,可以对方解石晶体表面重构进行扫描,轻敲模式下扫描范围*微米时,扫描线速度≥****
*.在没有外加防震平台的前提下,实现***方解石原子像测试要求。
*、系统高度噪音&**;****(****,***到****带宽)
*、控制器:
**个全数字双频锁相放大器。其中*个为工作在*****的双频率数字积分锁相放大器;
**个输出频率在*****的双频率频率合成器。频率范围从直流到最大*****(****步长)。
**个输出频率在*****的双频率频率合成器.频率范围从直流到最大****(****步长)。
*控制精度:控制器应至少有*个的**位和*个**位的数模转换器***,*个**位和*个**位模数转换器***。
***开放信号接口,用户可通过开放接口提取或控制系统,可与其他设备信号交换。
*、操作软件:
***的控制软件免费提供,同时必须开放操作软件的源代码,并提供终身免费维护及升级。
*、自动化控制:
*.通过软件控制激光点位置,无需手动调节。
通过软件控制光电*极管检测器自动归*,无需手动调节。
具有软件自动进针进行智能扫描功能。
*、压电力显微镜模式
压电力显微镜系统本身(无任何外加的锁相设备)即能够在该模式下实现单频压电力显微镜,双频共振追踪压电力显微镜,极化翻转谱测试以及矢量压电力显微镜技术。双频共振追踪压电力显微镜模式中,同时在共振峰的*侧施加*个振动频率以实时的追踪共振频率的变化,有效提高压电信号的灵敏度。
光电检测器测试带宽≥****
*、扫描电容显微模块
*.*可利用极其灵敏的射频信号可以直接探测样品表面的电容变化,不再局限于氧化物半导体,也适用于金属和绝缘体的测量,测量精度低至***(****-***),射频信号的频率调节范围可达:*.****-*.****
*.*能实现超快的扫描电容显微镜扫描成像,在保证成像的质量下,扫描线速度大于****
*.*需在扫描形貌的同时获得电容、**********、**/***********、**/*******等丰富的信号通道,其空间分辨率可达****以下(受限于所选用的探针类型)
*、光热激发成像模块
使用*束可见激光来驱动探针振动,进行轻敲模式下的各种操作。驱动频率≥****,并能够利用该模块实现振幅-频率粘弹性测试模式:扫描成像的同时获得样品的表面形貌、弹性模量以及损耗因子等力学性能。模量测试范围****至******以上。
**、扫描隧道显微镜模块
能够利用隧道电流对导电样品的表面进行高分辨的成像,可实现石墨的原子点阵结构测试。
**、防震隔音系统:原子力显微镜系统自身集成的*体式防震隔音系统。
**、光学系统:****像素点≥****,光学分辨率≤*.*微米。