松山湖材料实验室微加工与器件平台关于PVD设备靶材（50-100万）征求意见公示-比地招标网

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公告内容：

****湖材料实验室微加工与器件平台关于***设备靶材（**-****）征求意见公示

按照《****湖材料实验室****管理办法》规定，采购政府集中采购目录以外且单价或批量为***元（含）以上且限额标准（****元）以下的货物和服务，采购需求部门及采购人应在采购前进行广泛调研，详细了解市场供应情况，进行性能与价格对比，根据实验需求及各供应商提供的产品价格、技术指标、性能优劣等标准选取意向供货商。完成市场调研后，由采购管理部门将《采购申请表》、《市场调研报告》及《报价单》在实验室内进行公示，公示期不少于*个工作日，公示无质疑后开展采购工作.

****湖材料实验室微加工与器件平台***设备靶材采购项目，采购预算***元。经采购需求部门进行市场调研及比价后，拟由爱发科真空技术（苏州）有限公司提供（或承担），产品型号:***、******、****、**、**、**，价格:***元。

供应商征求意见及实验室内公示。公示期限从****年*月**日至****年*月**日止。潜在****供应商等对公示内容有异议的，请于公示期满后*个工作日内以实名书面形式将意见（包括质疑意见和相关依据、联系人、联系电话、地址等）反馈至****湖材料实验室科研部（联系人：****，联系电话：****-********，地址：东莞市****湖大学创新城**栋）。

附件：

*.***设备靶材采购申请单 *.***设备靶材采购申请单

*.***设备靶材市场调研报告 *.***设备靶材市场调研报告

*.报价单

　　****湖材料实验室
　　****年*月**日

撰稿：未知

****/*/**，打印

**湖材料实验室采购申请表（*元以上）	**湖材料实验室采购申请表（*元以上）	**湖材料实验室采购申请表（*元以上）	**湖材料实验室采购申请表（*元以上）	**湖材料实验室采购申请表（*元以上）	**湖材料实验室采购申请表（*元以上）	**湖材料实验室采购申请表（*元以上）
申请编号***************	申请编号***************	申请编号***************	申请编号***************	申请编号***************	申请编号***************	申请编号***************
申请采购产品名称	申请采购产品名称	***设备靶材	***设备靶材	***设备靶材	采购预算（*元）	.
采购数量（台/套）	采购数量（台/套）	*	拟是否进口	拟是否进口	是否	是否
是否开放共享：	是否开放共享：	是否	预计每月开放机时	预计每月开放机时
所属项目名称	所属项目名称	微加工与器件平台***设备靶材采购项目	微加工与器件平台***设备靶材采购项目	微加工与器件平台***设备靶材采购项目	微加工与器件平台***设备靶材采购项目	微加工与器件平台***设备靶材采购项目
申请部门	申请部门	微加工与器件平台	拟支付采购款经费账号（子课题号）	***********	***********	***********
如果采购为专用设备时，请选择对应的设备编号：	如果采购为专用设备时，请选择对应的设备编号：	如果采购为专用设备时，请选择对应的设备编号：	设备编号
采购需求（列出主要技术指标、产品用途、功能、预计每月使用机时等）微加工与器件平台已布局采购台（/）设备，用于压电、射频滤波器等器件工艺的开发与研究，以满足技术、传感技术等发展对于微纳加工的需求。该*设备预计于年下半年到货安装调试，根据压电、滤波器的器件工艺，需采购、***、、、、****靶材。	采购需求（列出主要技术指标、产品用途、功能、预计每月使用机时等）微加工与器件平台已布局采购台（/）设备，用于压电、射频滤波器等器件工艺的开发与研究，以满足技术、传感技术等发展对于微纳加工的需求。该*设备预计于年下半年到货安装调试，根据压电、滤波器的器件工艺，需采购、***、、、、****靶材。	采购需求（列出主要技术指标、产品用途、功能、预计每月使用机时等）微加工与器件平台已布局采购台（/）设备，用于压电、射频滤波器等器件工艺的开发与研究，以满足技术、传感技术等发展对于微纳加工的需求。该*设备预计于年下半年到货安装调试，根据压电、滤波器的器件工艺，需采购、***、、、、****靶材。	采购需求（列出主要技术指标、产品用途、功能、预计每月使用机时等）微加工与器件平台已布局采购台（/）设备，用于压电、射频滤波器等器件工艺的开发与研究，以满足技术、传感技术等发展对于微纳加工的需求。该*设备预计于年下半年到货安装调试，根据压电、滤波器的器件工艺，需采购、***、、、、****靶材。	采购需求（列出主要技术指标、产品用途、功能、预计每月使用机时等）微加工与器件平台已布局采购台（/）设备，用于压电、射频滤波器等器件工艺的开发与研究，以满足技术、传感技术等发展对于微纳加工的需求。该*设备预计于年下半年到货安装调试，根据压电、滤波器的器件工艺，需采购、***、、、、****靶材。	采购需求（列出主要技术指标、产品用途、功能、预计每月使用机时等）微加工与器件平台已布局采购台（/）设备，用于压电、射频滤波器等器件工艺的开发与研究，以满足技术、传感技术等发展对于微纳加工的需求。该*设备预计于年下半年到货安装调试，根据压电、滤波器的器件工艺，需采购、***、、、、****靶材。	采购需求（列出主要技术指标、产品用途、功能、预计每月使用机时等）微加工与器件平台已布局采购台（/）设备，用于压电、射频滤波器等器件工艺的开发与研究，以满足技术、传感技术等发展对于微纳加工的需求。该*设备预计于年下半年到货安装调试，根据压电、滤波器的器件工艺，需采购、***、、、、****靶材。
拟申请采购组织形式	拟申请采购组织形式	政府集中采购部门集中采购单位分散采购自主采购	政府集中采购部门集中采购单位分散采购自主采购	政府集中采购部门集中采购单位分散采购自主采购	政府集中采购部门集中采购单位分散采购自主采购	政府集中采购部门集中采购单位分散采购自主采购
拟申请采购方式	拟申请采购方式	公开招标邀请招标竞争性谈判竞争性磋商询价及实验室内公示单*来源国际招标批量集中采购协议供货其他	公开招标邀请招标竞争性谈判竞争性磋商询价及实验室内公示单*来源国际招标批量集中采购协议供货其他	公开招标邀请招标竞争性谈判竞争性磋商询价及实验室内公示单*来源国际招标批量集中采购协议供货其他	公开招标邀请招标竞争性谈判竞争性磋商询价及实验室内公示单*来源国际招标批量集中采购协议供货其他	公开招标邀请招标竞争性谈判竞争性磋商询价及实验室内公示单*来源国际招标批量集中采购协议供货其他
经办人	**--**	**--**	**--**	联系电话	***********	***********
申请部门审核意见	申请部门审核意见	申请部门审核意见	申请部门审核意见	申请部门审核意见	申请部门审核意见	申请部门审核意见
部门负责人签字	**--**	**--**	**--**	**--**	**--**	**--**
采购管理部门审核意见	采购管理部门审核意见	采购管理部门审核意见	采购管理部门审核意见	采购管理部门审核意见	采购管理部门审核意见	采购管理部门审核意见
*、限额标准以上的采购申请是否批复的采购预算	*、限额标准以上的采购申请是否批复的采购预算	*、限额标准以上的采购申请是否批复的采购预算	是否	是否	是否	是否
、涉及进口产品的，进口申请是否已报财政局备案是否...:*/**/**/*/*********.?*=*****&;***=&;*******=**************************…/*	、涉及进口产品的，进口申请是否已报财政局备案是否...:*/**/**/*/*********.?*=*****&;***=&;*******=**************************…/*	、涉及进口产品的，进口申请是否已报财政局备案是否...:*/**/**/*/*********.?*=*****&;***=&;*******=**************************…/*	、涉及进口产品的，进口申请是否已报财政局备案是否...:*/**/**/*/*********.?*=*****&;***=&;*******=**************************…/*	、涉及进口产品的，进口申请是否已报财政局备案是否...:*/**/**/*/*********.?*=*****&;***=&;*******=**************************…/*	、涉及进口产品的，进口申请是否已报财政局备案是否...:*/**/**/*/*********.?*=*****&;***=&;*******=**************************…/*	、涉及进口产品的，进口申请是否已报财政局备案是否...:*/**/**/*/*********.?*=*****&;***=&;*******=**************************…/*


	*、申请的采购方式是否合理	*、申请的采购方式是否合理	是否	是否
	业务主管审核签字	**--**	部门负责人签字	**--**
	主管领导意见	主管领导意见	主管领导意见	主管领导意见
	主管领导签字	**--**	**--**	**--**


***//打印...:/**/**/*/*********.?*=*****&;***=&;*******=**************************…/*			东莞市重大公共科技创新平台****进口产品清单内产品		***//打印...:/**/**/*/*********.?*=*****&;***=&;*******=**************************…/*	***//打印...:/**/**/*/*********.?*=*****&;***=&;*******=**************************…/*

****湖材料实验室（微加工与器件平台）关于采购***靴

材的需求论证和市场调研报告

*需求论证

*.*购买该材料的原因

微纳制造工艺与技术是现代电子信息产业、光电技术产业以及半导体芯片制

造的核心，同时也为很多前沿基础领域提供重要的研究手段。****湖材料实验室

微加工与器件平台，将通过国际先进设备的引进、定制及合理配置，形成器件工

艺制备、先进材料加工及工艺研发为*体的综合研发平台，实现新材料从微米到

纳米甚至原子级别的结构与器件的可控加工，并提供个性化的工艺技术及器件的

解决方案。平台将立足于国际微纳加工工艺技术前沿，面向国家先进材料需求和

地方科技创新，满足前沿多领域的新材料工艺制备、器件加工与新型器件开发的

需求，为国家、广东省以及粤港澳湾区的新材料和新型器件研发提供技术支撑服

务，推动相关可产业化技术的转移转化。

为了服务于上述发展规划与定位，微加工与器件平台已布局采购*台***

（***/***）设备，用于压电****、****射频滤波器等器件工艺的开发与研

究，以满足**技术、传感技术等发展对于微纳加工的需求。该***设备预计

于****年下半年到货安装调试，根据压电****、****滤波器的器件工艺，

需采购***、******、**、**、**、****靴材。

*.*主要技术指标和质量要求

***、******、**、**、**、****等靴材规格要求如下：

靴材名称	规格	数量
***	********	*块
******	******	*块
**	*中.***	*块
*	中.***	*块
**	中**.×（****：)	*块
****	-%*×（******：)	*块

*市场调研

*.*供应商情况

*、爱发科（*****）真空技术(苏州）有限公司

爱发科真空技术（苏州）有限公司是由日本株式会社*****在中国投资兴

建的大型真空设备制造企业，亦是微加工与器件平台***设备供应商。公司位

于苏州工业园区，主要业务：各种真空设备和*部件的制造、半导体、平板显示

器等行业的*部件清洗业务。

*、*腾荣（********）高新材料技术（苏州）有限公司

*腾荣高新材料技术（苏州有限公司，为先进材料制造商********的子公司，

经营范围包括：加工、检验、生产用于半导体薄膜层的真空溅镀靴材及蒸发性材

料，销售本公司所生产的产品并提供售后服务等。

*、优美科（*******）金属国际贸易（上海）有限公司

优美科金属国际贸易（上海）有限公司，为先进材料制造商*******的子公

司，主要提供市场开发、产品销售及原料采购等服务。业务涉及多种有色金属产

品（如钻、镍、锂、猪、锰等）、贵金属、及其它金属材料。

*.*需求情况对比

靴材厂商	爱发科（*****）	腾荣（*******）	优美科（*******）
***		×	*
******
****	&**;	&**;	&**;
**	&**;	&**;	&**;
**	&**;	&**;	&**;
**	√	&**;

对于***靴材，爱发科（*****）是目前世界领先的***沉积技术及靴材供

应商，尤其是其独有的******技术，能大大降低***制备工艺温度，实现与****

工艺兼容。在***靴材和******靴材方面，只有爱发科能满足设备工艺需求，

*腾荣（********）与优美科（*******）暂无相关材料与技术。在****靴材方

面，爱发科为引进的日本古屋金属（***********）****靴，而古屋金属为经过

平台潜在客户验证与推荐的****靴材供应商。另外，所有采购的靴材，需与设

备************进行*******后使用，而*腾荣（********）与优美科（*******）

暂不能提供此*******服务。

综上所述，为了满足***（***/***）设备的安装调试、工艺验收及后续对

外服务与合作，拟从***设备供应商爱发科（*****）采购上述相关靴材。

*采购意向

厂商：爱发科真空技术（苏州有限公司

代理商：****

申请预算：***元

经广泛调研，满足我方***（***/***）设备工艺实验要求的***和******

靴材技术，仅爱发科（*****）真空技术(苏州)有限公司可以提供。因此申请从

其代理商****采购相关***、******、****、**、**、**

材。

采购需求部门论证签字（*人以上，含团队负责人）：

****和浩章

****年*月**日

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