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公告内容：

基本信息

发布单位:华****电集成器件研究所

最终单位:华****电集成器件研究所

参与方式:公开****

出价方式:*次性出价

付款方式:

保证金:***.*元

联系人:****

联系方式:***********

蒸发台招标文件（微系统）.***

采购明细

序号	商品名称	品类	采购数量	最少响应量
*	蒸发台	固定资产投资项目&**;货物类	.台	.台

报价地址： *****://*****.************-****.***/**********/*****

*.招标文件中带“*”号的条款及要求，投标方必须满足，若有*项不满足将导致投标被否决。*.投标人须仔细阅读招标文件的全部条款，并作为明确响应。*、投标要求设备名称：蒸发台招标编号：蒸发设备招标文件

*.*投标人可以是设备制造厂家，也可以是设备授权代理商，代理商需有设备原厂家的有效授权书；并且具有设备技术支持和服务能力。**.资质要求：*.*投标报价为设备到需方价（含运保费）。*.*对设备进行报价填写《投标货物数量、价格表》。*.投标报价*.投标方递交投标文件同时，需提供与投标文件内容*致的光盘*张。

*.*设备用途：*.*设备数量：*台*.*设备名称：蒸发台*、设备名称、数量及用途**.付款方式：合同签订后预付**%，验收合格后支付**%，自验收合格之日起*年后支付**%*.*近*年内，国内同等机型在大批量生产线装机的相关设备**台以上销售业绩清单，提供复印件备查。

*.*.*真空系统：干泵（抽速大于等于***/*），低温泵（抽速大于等于******/*，配冷泵压缩机）以及配套测量的真空规，具备慢抽、快抽及慢放气及快放气功能；*.*.*高真空腔室：配置腔室防污罩和*个观察窗；*.*.*硅片尺寸：*英寸；*.*基本要求*、主要技术指标通过真空泵组排气，在具有加热除气功能且密闭性良好的腔室中建立高真空环境。当腔室内部达到本底真空后，利用离子束辅助蒸发**、**、**、**、**、**、**等材料，使其均匀沉积在晶圆表面，以获取相应制备材料的薄膜。

*.*.*实时以图形化的形式检测工艺过程及各项数据，支持自动及人工操作；*.*.*有***接口，可以进行数据调取，用户密码保护设置，工艺数据可存储，工艺参数可输出；*.*.*离子源：离子源类型：霍尔源，能量：不低于****，且不高于*****，离子源辅助作用：蒸发前物理方式刻蚀清洁晶圆表面，提高薄膜与衬底的粘附性，以及薄膜材料利用离子源辅助蒸发提高膜层致密性，也可在镀膜过程中轰击，在镀膜过程中离子溅射突出岛，消除阴影效应，破坏柱状结构，形成均匀填充生长，可做自动或手动*种方式控制；*.*.*电子枪电源：功率****，配备高压电源，手动控制可调电压*-****，电子枪扫描控制器输出频率范围可调，高压稳定性：±*%，束流稳定性：±*%，抑弧反应时间：小于***微秒，主控计算机控制电子枪操作，电子枪水冷温度可监控，硬件互锁保护；*.*.*电子枪：底部驱动，配*穴直冷式无氧铜坩埚，每穴容积为****，配有手控盒手动操作坩埚到位，蒸发时配有电控气动挡板，主控系统控制挡板开关；*.*.*加热控温系统：样品加热温度：室温～***℃，连续可调；基片温度均匀性：±**℃（恒温**分钟）；

*.*.**具备并提供通信接口及通讯协议，与我方设备管理系统对接，实现控制与监控功能；*.*.**水冷系统：主要冷却部位均单独供水冷却，对腔壁、泵、电子枪、晶控等关键部件进行保护，有断水和水压低报警功能；*.*.**膜厚监控仪：石英晶体振荡膜厚监控仪，可实现多段速率爬升，实现电子束蒸发源蒸发速率闭环控制；显示：*.***～***.**Å；成膜速率：**.*～***Å/*；速率蒸镀薄膜的控制精度高.*.*.***路回填氮气，满足快充慢充；*.*.**旋转基片架：基片架旋转通过伺服电机驱动，磁流体密封，转速*—**转/分钟连续可调；*.*.**工艺温度可监控，有互锁；

**.*.*真空室漏率：＜*.*×**-***×*³/***.*.*真空抽速：室温下**分钟从大气抽到**-*****或更优；*.*.*工艺腔室本底真空：＜*.*×**-***；*.*技术指标*.*.**主气缸采用升降伸缩式气缸，终身保修。*.*.**设备除了用户密码保护设置，无其余***互锁，提供最高管理权限用户名及密码，且不得做短期权限限制；

*.*.*转盘夹具：公转盘；*.*.*具有电源、真空、冷却水等安全互锁；*.*.*蒸发方式：电子束蒸发、离子束辅助蒸发；**.*.*蒸发*****厚度薄膜，片内表面膜厚均匀性要求&**;*%，蒸发*****厚度薄膜，片间、批间均匀性要求&**;*%（*点测量）；*.*.*蒸发速率：*.*-**Å/*，速率可调；*.*.*基片加热温度：室温-***℃，自动控温，控温精度±*%；

*.*.*投标方应说明备件及易损易耗件的使用寿命，并应提供易损易耗件清单；*.*.*投标方提供整套设备在验收合格后*年内的免费质保；质保应包括所有投标商提供整机部分，包括人工费，差旅费及*部件费，免运输费用。注明不在保修范围内的部件及事项。*.*设备保修及附件、备件*、培训、验收方法*.*.*设备成色：全新。*.*.*膜厚监控：石英晶振膜厚控制系统

*.*培训与验收*.*.*投标方应提供设备的出厂质检合格证。*.*.*投标方应向招标方提供设备专用应用软件的备份*套，并提供安装/恢复手册；*.*.*投标方需提供*套完整的纸质（无尘纸）技术文件及相应电子版资料给招标方，包括设备说明书（主要性能，技术参数，结构特点等）、电气连线（管路）图（含电路图）、安装调试指南、软件编程手册、操作维护手册；*.*技术资料*.*.*投标方承诺，在保修期过后，对用户方的设备故障修复要求及时给予有效信息反馈。

*.*.*最终验收*.*.*操作培训：设备现场终验收后，供货方对用户方提供*-*人进行为期*天以上的客户现场培训。以保证用户单位操作人员能够安全、正确、有效的操作与维护设备。*.*.*.*投标方应事先向用户提供设备安装调试与培训验收的工作时间表及所需条件要求，并得到用户的确认。*.*.*.*设备在用户现场的安装与调试由投标方负责，招标方（用户）提供方便与支持；*.*.*安装调试*.*.*预验收：招标方保留设备预验收权利，在设备发货前，招标方可指派人员赴设备所在地开展设备预验收工作，预验收合格后方可发货，费用由招标方承担。

*.*.*.*投标方（厂商）人员应遵守用户工作现场的规章制度。*.*.*.*设备投标方（厂商）人员到用户现场完成安装、调试、培训与验收的城际（国际）交通及食宿费用由投标方承担，招标方（用户）为其提供市内交通便利；*.*.*.*双方共同出具设备测试报告、验收报告。*.*.*.*最终验收应由设备投招标双方（厂商与用户）共同验证设备的配置完整性、功能实现性、指标满足性、样品适应性以及培训的有效性，必须全面达到合同及其附件的规定；*.*.*.*最终验收地点在用户现场；*.*.*.*在签订订货合同的同时，投标方与招标方要编制设备验收大纲，确定验收方法和标准，验收大纲应以本标书的相关条款为主要制定依据；

*.*.*国内设有售后服务中心。国内设有备件库，需要更换的配件***内发货。*.*售后服务*.*.*.*工艺指标验收方法*.*.*.*机台腔室本底真空及漏气率是否满足*.*.*真空部分要求中的指标；*.*.*验收方法

项目	指标	测试方式
蒸发*****厚度薄膜，片内表面膜厚均匀性	&*;%	台阶测试仪，*点测试
蒸发*****厚度薄膜，片间表面膜厚均匀性	&*;%	取片，台阶测试仪，点测试，按每片均值计算片间均匀性。
表面膜层粘附性	无脱膜、无鼓泡、无起皮等现象	高温胶带粘贴或打线测试拉力

*.*交货期：合同签订后***天*、运输、包装、交货期及交货地点*.*.*投标方应向招标方就所售设备终身提供广泛而优惠的技术服务和备品备件供应。*.*.*质量保证期后，出现故障，每次维修，必须问题排除后再支付费用。*.*.*质量保证期后，投标方应保证设备生产商和其售后服务商在接到招标人即招标方通知后应及时派工程师到招标方现场以优惠的价格进行维修。*.*.*设备交付后，*旦设备出现技术故障，投标方保证在**小时内进行响应，**小时内派出技术人员到达现场进行服务（售后人员为设备厂商专业技术人员，不接受第*方委外服务）。

*.*交货地点：华****电集成器件研究所。**.*投标方负责设备的包装并安全运送到用户指定位置，包装、运输、保险、叉车、吊车、搬运入场等到达用户指定位置的所有费用由投标方承担。

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