招标文件
****物理科学学院电感耦合等离子刻蚀机
采购项目
招标文件
项目编号：************（****-************）
****
****年**月
招标文件
第*部分投标邀请
受****委托，****将以公开招标方式，对****物理科学
学院电感耦合等离子刻蚀机采购项目实施****。现欢迎合格的供应商参加公开招标。
*、项目名称和编号
*、项目名称：****
*、项目编号：************（****-************）
*、项目内容
*、采购内容：电感耦合等离子刻蚀机（*套）的供货、安装及售后服务。本项目允许进口产
品投标。
*、项目预算
采购预算：人民币****元。
*、项目需要落实的****政策
促进中小企业发展
促进中小企业发展明细：投标人为小型或微型企业的，且所投产品的制造厂家为小、微企业
的，投标总价给予**%的扣除，用扣除后的价格参与价格评审。
支持监狱企业发展
支持监狱企业发展明细：投标人为监狱企业的，投标总价给予**%的扣除，用扣除后的价格
参与价格评审。
强制、优先采购节能产品
强制、优先采购节能产品明细：供应商须书面承诺：在本项目中所使用的主要和辅助材料均
须为中国境内生产的全新原装正品，并在项目实施过程中优先选用节能环保产品。如属于政府采
购强制节能产品范围，则使用当期“节能产品****清单”中的产品。
优先采购环境标记产品
优先采购环境标记产品明细：供应商须书面承诺：在本项目中所使用的主要和辅助材料均须
为中国境内生产的全新原装正品，并在项目实施过程中优先选用节能环保产品。
促进残疾人就业
促进残疾人就业明细：根据财政部、民政部、中国残疾人联合会发布的《关于促进残疾人就
业****政策的通知》规定，本项目对残疾人福利性单位产品的价格给予**%的扣除。注：小
微企业以投标人填写的《中小企业声明函》为判定标准，残疾人福利性单位以投标人填写的《残
疾人福利性单位声明函》为判定标准，监狱企业须投标人提供由省级以上监狱管理局、戒毒管理
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局（含新疆生产建设兵团）出具的属于监狱企业的证明文件，否则不予认定。以上政策不重复享
受。
*、供应商资质要求
*）须为在中华人民共和国境内注册，具备独立法人资格的企业，且符合《中华人民共和国政
府采购法》第***条的规定，并提供其有效的“企业法人营业执照（副本）”复印件加盖公章，
及满足资格要求的证明文件；
*）供应商若为法人投标，须提供法定代表人身份证明书（需由法定代表人签字或盖章）和法
定代表人身份证原件；供应商若为被授权人投标，须提供法人代表授权书（需由法定代表人签字
或盖章）和被授权人身份证原件。
*）供应商应具有履行合同提供本次采购仪器设备的供应能力、专业技术及服务能力，若为进
口产品代理商参与本次投标，还应提供仪器设备制造商针对本项目出具的授权书。
*）开标时由招标代理机构查询投标人在“信用中国”网站（***.***********.***.**）无不
良记录信息。对列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、****严重违法失信行为
记录名单的投标人，拒绝参与本次招标活动。
*）本项目不允许联合体投标。
*、获取招标文件时间、地点、方式及招标文件售价
*、获取招标文件的时间：****年**月*日至****年**月**日，每日*：**至**：**时。
*、获取招标文件的地点：****（****河北区狮子林大街***号）。
*、获取招标文件的方式：鉴于目前疫情防控形势，为了有效减少人员聚集和交叉感染，保证
报名工作的顺利进行，提供以下*种方式：*、现场领取：营业执照副本及“供应商资质要求”
中要求的相关证件复印件加盖公章，以现金形式支付（选择采取此种方式，建议提前联系项目负
责人）；*、网上领取（建议采用此种方式），具体要求如下：（*）请将报名资料以扫描件形式
发送至********@***.***，邮件主题为：****-************报名信息，并电话联系项目负责人
确认。（*）标书款以电汇或银行转账方式（为方便后期开具发票建议使用对公账户），汇至我公
司的银行账号，并请在汇款备注中标明：“****-************标书款”（电汇信息及相关表格
会以邮件方式发送）（*）标书款汇款后，请将汇款单截图、项目编号、投标人联系人、联系电话
及投标人邮箱以邮件形式发送至上述邮箱。（*）采用网上领取方式进行报名的，报名日期以标
书款到账日期为准。注：已在****招投标管理办公室新版网站登记注册的供应商，按以上要
求报名。尚未登记注册的，须在****招投标管理办公室新版网站右侧“供应商注册”入口进
行注册。已在旧版网站注册的供应商须在新版网站重新注册，通过审核后方可购买招标文件，注
册网址：****：//***.******.***.**，注册方法详见新版网站常用下载《供应商注册指南》。
*、招标文件的售价：招标文件售价***元/套，文件*经售出，概不退还。
*、提交投标文件时间及地点、开标时间及地点
招标文件
*、提交投标文件截止时间：****年**月**日**：**时。
*、提交投标文件地点：****市河北区狮子林大街***号泰鸿大厦*层第*会议室。
*、开标时间：****年**月**日**：**时。
*、开标地点：****市河北区狮子林大街***号泰鸿大厦*层第*会议室。
*、项目联系人及联系方式
*、联系人：****
*、联系电话：***-********
*、采购人的名称、地址和联系方式
*、采购人名称：****招投标管理办公室
*、采购人地址：*****里台校区
*、采购人联系人和联系电话：*******-********
*、电子邮件：***@******.***.**
*、采购代理机构的名称、地址和联系方式
*、采购代理机构名称：****
*、采购代理机构地址：****河北区狮子林大街***号
*、采购代理机构联系电话：***-********
**、其他
参照《关于疫情防控期间开展****活动有关事项的通知》（财办库〔****〕**号）要求，
各投标单位只允许*名受权人参与开标，受权人须做好防护措施，投标单位须对该受权人近*周
行程及身体状况作出承诺。中高风险等级地区供应商须持有开标前*日内核酸检测阴性证明或能
够出示包含核酸检测阴性信息的健康通行码“绿码”，不满足上述要求或被授权人体温高于**.*
度，不能参与开标。
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第*部分投标资料表
本表是对招标文件中投标人须知内容的强调和具体补充和修改，如*者有矛盾，应以本表为
准。
| 条款号 |
内容规定 |
|
第*部分投标人须知 |
| *.* |
本次采购系****。投标人应具有提供招标文件仪器设备制造质量保证体系，并有效地运行，必须满足各项技术要求。供应商资质要求：*）须为在中华人民共和国境内注册，具备独立法人资格的企业，且符合《中华人民共和国****法》第***条的规定，并须提供其有效的“企业法人营业执照（副本）”复印件加盖公章，及满足资格要求的证明文件；*）供应商若为法人投标，须提供法定代表人身份证明书（需由法定代表人签字或盖章）和法定代表人身份证原件；供应商若为被授权人投标，须提供法人代表授权书（需由法定代表人签字或盖章）和被授权人身份证原件。*）供应商应具有履行合同提供本次采购仪器设备的供应能力、专业技术及服务能力，若为进口产品代理商参与本次投标，还应提供仪器设备制造商针对本项目出具的授权书；*）开标时由招标代理机构查询投标人在“信用中国”网站（***.***********.***.**）无不良记录信息。对列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、****严重违法失信行为记录名单的投标人，拒绝参与本次招标活动；*）本项目不允许联合体投标。本次投标将面向资格审查合格的投标申请人。 |
| *.* |
投标人对招标文件提出澄清或与用户进行技术交流的通知不得迟于开标日期前**天使招标代理机构收到。 |
| *.*（*）（*） |
开标*览表和投标保证金分别封装，单独密封提交。 |
| **.* |
投标备选方案：不适用 |
| **.* |
投标保证金：*****.**元人民币；投标保证金可为支票或汇票。（投标保函不适用） |
| **.* |
投标文件有效期：**天 |
| ** |
投标文件正本*份，副本*份。另外，还应提交和投标文件内容*致的电子版 |
招标文件
| **.* |
投标文件递交至：单位：****地址：****市河北区狮子林大街***号泰鸿大厦*层第*会议室 |
| **.* |
投标截止日期：****年**月**日时间：**：**（北京时间） |
| **.* |
开标时间：****年**月**日**：**（北京时间）地点：****市河北区狮子林大街***号泰鸿大厦*层第*会议室 |
| **.* |
评标方法：综合评分法（详见第*部分评标原则） |
| **.* |
中标条件：综合评分得分最高的投标人 |
| ** |
中标服务费：在评标委员会确定中标厂家，并发出中标通知书后*天内，中标方向招标代理机构用支票、汇票、现金的方式缴付中标服务费。中标方应以《中标通知书》中确定的中标总金额作为收费的计算基数，按中华人民共和国国家发展计划委员会的计价格【****】****号文件规定的标准交纳中标服务费。中标服务费：按国家计委****（****）号文件及发改价格[****]***号文件的取费标准**%（**折）计取。如不按时足额缴纳，招标代理机构将从其投标保证金中扣除。 |
招标文件
第*部分合同特殊条款
合同特殊条款是对合同*般条款的补充和修改。如果*者之间有抵触，应以特殊条款为准。
按合同*般条款序号有下列各项：
*.定义：
*.*买方：本合同买方系指：****。
*.*卖方：本合同卖方系指：中标方。
*.*现场：本合同项下货物安装和运行地点位于*****里台校区。
*．付款：（以最终签订的合同为准）
*.本采购项目不收取履约保证金。本采购文件关于履约保证金的条款不适用于本采购项目。
*.*合同仪器设备的交货地点以最终合同为准。
*.*运输费用以最终合同为准。
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第*部分招标货物*览表
*．货物需求*览表
| 序号 |
货物名称 |
数量 |
交货日期 |
交货地点 |
| * |
电感耦合等离子刻蚀机 |
*台 |
合同签订后*个月内 |
买方指定 |
| 上述仪器设备的相应配件、工具和消耗品虽然在招标文件中没有明确约定，但确实属于仪器设备必备的配件、工具和消耗品，投标人应无条件提供，不再另行计价。 |
上述仪器设备的相应配件、工具和消耗品虽然在招标文件中没有明确约定，但确实属于仪器设备必备的配件、工具和消耗品，投标人应无条件提供，不再另行计价。 |
上述仪器设备的相应配件、工具和消耗品虽然在招标文件中没有明确约定，但确实属于仪器设备必备的配件、工具和消耗品，投标人应无条件提供，不再另行计价。 |
上述仪器设备的相应配件、工具和消耗品虽然在招标文件中没有明确约定，但确实属于仪器设备必备的配件、工具和消耗品，投标人应无条件提供，不再另行计价。 |
上述仪器设备的相应配件、工具和消耗品虽然在招标文件中没有明确约定，但确实属于仪器设备必备的配件、工具和消耗品，投标人应无条件提供，不再另行计价。 |
（详见第*部分技术规格书）
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第*部分技术规格书
*、仪器名称：电感耦合等离子刻蚀机。
*、仪器用途：主要用于微纳米尺度光电子器件加工。
*、技术规格
*.*工作条件
*.*.*电源：********
*.*.*相对湿度：**%±**%；环境温度：**℃±*℃。
*.*技术性能
*.反应室模块：
(*)反应腔室采用****航空铝材，表面***%硬质阳极化处理，带前后观察窗口。
(*)本底真空≤*.********。
*.进口射频电源：
(*)******功率*****，频率**.*****，带自动匹配器的射频电源。
(*)****功率*****，频率**.*****，带自动匹配器的射频电源。
(*)******电源采用平板对称双螺旋结构。
*.电极系统：
(*)*寸基片单片装载，向下兼容*英寸、*英寸、*英寸样品，更小基片（例如***×***）
或者碎片可以贴片装载。
(*)配备**背冷系统。
*.分子泵：抽速≥*****/*。
*.进口自动调压阀：口径≤*****，位置模式/压力模式可任意切换。
*.气路配置：
(*)**路：**、**、**-*(小量程)、***、**、***、****、***、***、****、****。详细参
数：*********、*********、**-*(小量程)******、**********、*********、**********、
***********、**********、***********、***********、**********。
(*)气路隔膜阀及接头：进口隔膜阀及气路焊接接头。
*.进口真空计，满量程********。
*.工艺指标：
(*)刻蚀**：刻蚀速率：&**;****/***;角度：&**;**°；刻蚀深度~*****。
(*)刻蚀***：刻蚀速率：&**;*****/***；角度&**;**°；刻蚀深度~*μ*。
刻蚀均匀性~*%。
*.包含软件系统。
**.气柜：包括***、气体管路。
**.冷水机*台：*******控温范围-**-**℃。
**.干泵：抽速≥*****/*。
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**.*”转*”托盘*个。
**.*”转*”托盘*个。
**.*”转*”托盘*个。
*、技术配置
*.*电感耦合等离子刻蚀机主机*台
*.*仪器控制软件、数据处理软件及工作站*套
*.*满足*仪器正常使用需要的备品备件（耗材）*套
*.*上述仪器设备的相应配件、工具和消耗品虽然在采购文件中没有明确约定，但确实属于
仪器设备必备的配件、工具和消耗品，供应商应无条件提供，不再另行计价。
*、技术文件
*.*供应商应提供仪器及主要附件的详细操作及安装手册；
*.*供应商应说明具备仪器安装使用的实验室条件要求；
*.*供应商应提供仪器验收标准和验收方法步骤；
*.*供应商应提供仪器使用软件的所有说明书；
*.*供应商应提供电子版说明书。
*、技术服务
*.*设备安装、调试和验收
仪器设备到达学校后，在接到用户通知*日内进行安装调试，直至通过验收。
*.*技术培训
在用户所在地安装时对用户进行不少于*天的培训*次(首次安装培训及*次巩固培训)。培
训内容包括仪器的技术原理、仪器操作、数据处理、仪器基本维护等。
*.*保修期
仪器设备原厂软硬件免费保修期不少于*年，保修期自仪器设备验收合格，双方签字盖章确
认之日起计算。
*.*软件及*部件
对软件实际使用中出现的明显影响正常功能的情况，确属软件开发缺陷的，应等同其它故障
进行售后维修服务，予以及时修复。维修*部件按投标价同等优惠幅度供货。
*.*售后维修
响应时间：供应商应在*小时内对用户的服务要求作出响应；需要在现场解决问题的，应在
**小时内到达仪器现场。维修时间不得超过**天；因设备故障耽搁的时间，保修期顺延。
供应商应在仪器设备保修期满前*天，免费对仪器进行*次全面的检查、维护，并写出正式
报告，如发现潜在问题，应负责排除。
*.*投标人须提供所投产品生产制造商在中国境内的售后技术服务机构情况，包括地址、联系
方式及技术人员数量以及主要联系人等。
*.*用户接受卖方优于以上条款的其他技术服务项目。
*、订货数量：*台
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（*）各种证件的复印件
包括：生产/制造许可证（国家质量技术监督局强制执行特殊规定的设备，制造者必须拥
有的相应制造资质）、*******认证书、荣誉证书等。
（所有提供的证件复印件应加盖单位公章并注明与原件*致，且内容清楚、可辨）
招标文件
（*）其他资格证明文件
招标文件
附件*
预付款保函
（中标后开具）
____________________________：
本保函是我行（，〈银行全称〉）为
（以下简称卖方）根据____________________（招标代理机构）组织的，项目
（招标编号、包号）招标结果，将与____________________（以下简称买方）签订的合同及
执行合同提供的担保。保证金额为（大写人民币）____________________元，即合同总
金额的**%
当我行在收到贵公司说明卖方违约的书面通知后，在**天内按通知要求金额无条件地支付给
买方。
本保函的有效期为自开出之日起，至设备全部交货完并通过正式验收时止。
银行全称（盖章）：，卖方全称（盖章）：
开具人（签字）：，全权代表（签字）：
职务：，职务：
日期：，日期：
招标文件
附件*
服务费承诺书
致：****
我司在贵公司组织的____________________项目招标活动中，经评标委员会评议授予合
同。标书编号：________，签约（合同）金额为_________（币种）。我们保证在收到中标通
知书后*天内，按照招标文件的规定，以现金、支票、汇票或经****津建工程造价咨询有限
公司及其开户银行共同认可的信用证等方式，向****交纳中标服
务费。服务费金额___________________（币种）。
我司如违约，愿凭贵公司开出的违约通知，接受上述承诺金额的***%的罚款，并同意在设备
买方给付卖方的货款中扣除。
特此承诺。
投标人全称（盖章）：
全权代表（签字）：
年月日
招标文件
附件**
环保产品投标价格*览表
项目名称：
项目编号：
单位：元
| 序号 |
货物名称 |
制造商 |
品牌 |
环境标志认证证书号 |
投标价格 |
占全包报价的比例 |
| 合计： |
合计： |
合计： |
合计： |
合计： |
|
|
| 获得认证的产品 |
获得认证的产品 |
获得认证的产品 |
获得认证的产品 |
获得认证的产品 |
|
% |
| * |
|
|
|
|
|
|
| * |
|
|
|
|
|
|
| * |
|
|
|
|
|
|
| … |
|
|
|
|
|
|
注：若所投产品为环境标志产品清单内产品（以中国****网公布最新*期
的“环境标志产品****清单”为准），或未在清单中列出但具有《环境标志产
品认证证书》的产品，需填写（否则不予认定）。
投标人代表签字：_______________
职务：_________日期：__________
投标人名称（公章）：_____________
招标文件
中小企业声明函（货物）
本公司（联合体）郑重声明，针对本项目提供的货物（请填写有/无）
大型企业制造的货物。（若有大型企业制造的货物，则无需填写以下内容；若无
大型企业制造的货物，则继续填写以下内容）
本公司（联合体）郑重声明，根据《****促进中小企业发展管理办法》
（财库﹝****﹞**号）的规定，本公司（联合体）参加，（请填写项
目名称）采购活动，提供的货物全部由符合政策要求的中小企业制造。相关企业
（含联合体中的中小企业、签订分包意向协议的中小企业）的具体情况如下：
*.（请填写标的名称），属于（请填写本项目采购文件中明确
的所属行业）行业；制造商为（请填写该标的制造商的企业名称），从
业人员人，营业收入为*元，资产总额为*元，属于（请根据中小企业
划分标准填写中型企业/小型企业/微型企业）；
*.（请填写标的名称），属于（请填写本项目采购文件中明确
的所属行业）行业；制造商为（请填写该标的制造商的企业名称），从
业人员人，营业收入为*元，资产总额为*元，属于（请根据中小企业
划分标准填写中型企业/小型企业/微型企业）；
……
以上企业，不属于大型企业的分支机构，不存在控股股东为大型企业的情形，
也不存在与大型企业的负责人为同*人的情形。
本企业对上述声明内容的真实性负责。如有虚假，将依法承担相应责任。
投标人名称：
日期：
注：
*.标的名称须按照采购文件“项目需求书”中明确的标的名称进行填写；所属行
业须按照采购文件中明确的所属行业进行填写，否则不享受中小企业扶持政策。
*.从业人员、营业收入、资产总额填报上*年度数据，无上*年度数据的新成
立企业可不填报。除新成立企业外，上表填写不全的，不享受中小企业扶持政策。
招标文件
*.中标（成交）供应商享受中小企业扶持政策的，将随中标（成交）结果同时
公告其《中小企业声明函》，接受社会监督。
招标文件
若不是残疾人福利性单位，投标文件中可不提供此声明函
残疾人福利性单位声明函
本单位郑重声明，根据《财政部民政部中国残疾人联合会关于促进残疾人
就业****政策的通知》（财库〔****〕***号）的规定，本单位为符合条件的
残疾人福利性单位，且本单位参加______单位的______项目采购活动提供本单位
制造的货物（由本单位承担工程/提供服务），或者提供其他残疾人福利性单位制
造的货物（不包括使用非残疾人福利性单位注册商标的货物）。
本单位对上述声明的真实性负责。如有虚假，将依法承担相应责任。
投标人名称：
日期：
注：
中标供应商为残疾人福利性单位的，将随中标结果同时公告其《残疾人福利
性单位声明函》，接受社会监督。
若不是残疾人福利性单位，投标文件中可不提供此声明函。
招标文件
书面声明
参加****活动前*年我单位在经营活动中没有重大违法记录。
投标人名称：
日期：
证明材料
我单位具备履行本项目合同所必需的设备和专业技术能力。
投标人名称：
日期：
招标文件
疫情期间工作声明
兹有我单位工作人员，性别，身份证号：联系电话：，工作单位地
点：，现在长期居住地为（****或）。为我单位唯*授权参与项目的负责人，最
近*天未离境或入境后解除隔离（观察）期，无发热、气促、呼吸道症状。
本单位承诺该同志在我司工作期间，我司负责排查防控。严格遵守****市新
型冠状病毒感染的肺炎疫情防控工作指挥部公告，积极配合防疫检查。（须手机
下载“津心办”***，办理健康码）
近*日体温：，。
公司名称：
日期：年月日
功能介绍
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