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项目分析报告

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2、分析招标单位同类项目成交价格、规模趋势，让投标报价更加科学精准；

3、分析招标单位同类项目历史合作方，快速了解您的竞争对手；

4、洞悉同类项目主要供应商市场占有量，全面掌握市场最新最新动态。

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企业分析报告

企业分析报告是什么？

企业报告是通过海量招标采购项目信息和企业主体信息，多维度分析企业招投标市场规模、业务分布、关联主体、违规失信风险情况的实时企业大数据报告。

企业情报分析报告
业主版分析报告的作用：

1、帮助您分析招标单位的项目规模趋势和预算节约率，为企业开发客户、投标报价提供参考，让投标更有针对性；

2、帮助您分析招标单位的采购行业品类，帮助企业拓宽相关业务；

3、帮助您分析招标单位的主要合作供应商和合作代理机构，帮助企业了解同行竞争实力水平，结合供应商报告定位自身企业优劣势，找到更多商机；

4、帮助您分析招标单位的违规失信风险，提高自身风险防范能力。

供应商分析报告的作用：

1、帮助您分析同行或者自身的中标金额趋势、项目规模和报价下浮率，为企业投标、报价提供参考，让投标决策更合理；

2、帮助您分析企业的招投标区域优劣势，扬长避短赢得更多市场机会；

3、帮助您分析企业的主要竞争对手、主要合作业主，从竞争对手、合作业主的优劣势比较中，找到自身企业优势和合作商机；

4、帮助您分析企业最新的信用风险记录，为企业投诉，维护自身合法竞争权益提供参考线索。

代理机构版分析报告的作用：

1、帮助您了解代理机构项目概况、业主发展趋势、项目结构等基本情况，为招投标市场拓展提供参考；

2、帮助您了解代理机构的项目分布情况（包括采购系统和地区），分析目标企业的市场占比，寻找更多市场机会；

3、帮助您了解代理机构所代理的项目预算节约度，从而分析与目标企业的服务差距，优化自身服务能力；

4、帮助您了解代理机构的重点客户情况，帮助企业了解同行的合作情况，提高自身竞争力；

5、帮助您了解代理机构的各项经营风险，防范自身信用风险，提高风险防范能力。

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报告类型：业主版
报告类型：供应商版
报告类型：代理机构版
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山东科技大学化工学院钙钛太阳能电池研究项目设备采购项目竞争性磋商公告

招标 -竞争性磋商 山东 - 青岛 2022-12-27
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项目编号 - 资质要求
招标/采购内容 预算金额
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招标单位 招标联系人/电话
代理机构 代理联系人/电话
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2023-01-31 中标-中标结果
山东科技大学化工学院钙钛太阳能电池研究项目设备采购项目中标（成交）公告
2023-01-11 中标-废标公告
山东科技大学化工学院钙钛太阳能电池研究项目设备采购项目废标公告
2022-12-27 招标-竞争性磋商
山东科技大学化工学院钙钛太阳能电池研究项目设备采购项目竞争性磋商公告 当前您正在查看
2022-11-18 采购意向
山东科技大学2022年11月(至)12月政府采购意向
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公告内容：

********公告
　　
********公告
详细信息
********公告
项目概况：
****采购项目的潜在供应商应在****省济南市历下区浆水泉西路**号山财大创业园创展苑***室获取采购文件，并于****-**-** **:**:**（北京时间）前提交响应文件。
*、项目基本情况：
项目编号：*************************
项目名称：****
采购方式：****
预算金额：**.**元
最高限价：**.**元
采购需求：
标的 标的名称 数量 简要技术需求或服务要求 本包预算金额（单位：*元）
* 真空镀膜机、能源器件制备系统等 * 详见公告附件。 **.******
合同履行期限：签订合同后**个日历日内安装调试完毕，交付使用。
本项目不接受联合体投标。
*、申请人的资格要求：
*、满足《中华人民共和国****法》第***条规定；
*、落实****政策需满足的资格要求：*、《财政部国家发展改革委关于印发《节能产品****实施意见》的通知》（财库［****］***号）、《关于环境标志产品****实施的意见》（财库[****]**号）、《国务院办公厅关于建立政府强制采购节能产品制度的通知》（国办发〔****〕**号）、《关于调整优化节能产品、环境标志产品****执行机制的通知》（财库〔****〕*号）、《关于印发环境标志产品****品目清单的通知（财库》（****〕**号）、《关于印发节能产品****品目清单的通知》（财库〔****〕**号）、《市场监管总局关于发布参与实施****节能产品、环境标志产品认证机构名录的公告》（****年第**号）、《财政部发展改革委生态环境部市场监管总局关于调整优化节能产品、环境标志产品****执行机制的通知》（财库〔****〕*号）*、《****促进中小企业发展管理办法》(财库〔****〕**号)、《关于****支持监狱企业发展有关问题的通知》（财库〔****〕**号）、《关于促进残疾人就业****政策的通知》（财库〔****〕***号）
*、本项目的特定资格要求：无
*、获取采购文件：
*.时间：****年**月**日*时*分至****年*月*日**时*分，每天上午**:**至**:**，下午**:**至**:**（北京时间，法定节假日除外 ）
*.地点：****省济南市历下区浆水泉西路**号山财大创业园创展苑***室
*.方式：请供应商访问中国********网(****://***.****-********.***.**)，在报名截止时间前注册并登*后进行网上报名，网上报名后，请供应商发送营业执照原件的扫描件、标书费汇款证明、报名单位名称、项目名称、编号、项目联系人及联系电话至邮箱：*********@***.***，并以“项目名称-报名单位全称”为邮件标题。报名咨询电话：****-********/********。
*.售价：***元/份（文件售后不退，开户单位：****济南分公司，开户银行：招商银行济南开元支行，开户账号：***************，费用须从其基本账户或*般账户转出，备注标明项目编号）。
*、响应文件提交：
*.截止时间：****年*月**日*时**分（北京时间）
*.地点：****经济技术开发区前湾港路***号****嘉逸豪庭商务酒店*楼会议室
*、开启：
*.开启时间：****年*月**日*时**分（北京时间）
*.开启地点：****经济技术开发区前湾港路***号****嘉逸豪庭商务酒店*楼会议室
*、公告期限：
自本公告发布之日起*个工作日。
*、其他补充事宜：
其他补充事宜:无
*、对本次招标提出询问，请按以下方式联系：
*、采购人信息
名称：****科技大学
地址：****市经济技术开发区前湾港路***号(****科技大学)
联系方式：************(****科技大学)
*、采购代理机构
名称：****
地址：****省济南市历下县（区）浆水泉西路**号****财经大学大学生创业园创展苑*楼***室
联系方式：****-********
*、项目联系方式
项目联系人：****
联系方式：****-********
*、*个不锈钢箱体，设备长度&**;******，通过多度舱和法兰对接，可以实现箱体之间的互传。箱体背部可对接真空镀膜机；*、箱体要求：该系统由*个惰性箱体组成,该系统可用于钙钛矿太阳能电池实验及测试分析，锂电制备（需提供箱体的方案介绍）*、能源器件制备系统（*工位）*、技术要求项目需求和技术方案要求
*、非集成电池阀；▲*、照明自动控制系统；*、真空系统自动休眠；▲*、铝合金手套口，由实心棒材加工而成，经原色氧化防腐处理，手套与手套口之间采用微负压抽真空密封，达到无泄漏（提供证明文件，提供官网介绍图片并加盖供应商公章）；*、*个过度舱；▲*、可拆卸的安全玻璃视窗，钢化玻璃厚度***，视窗与箱体之间的密封使用双层封技术，达到无泄漏（提供详细的技术方案介绍）；
*、净化系统：（可对接已有的手套箱）**、需确保该系统与真空镀膜机设备连用。**、*个空调：安装在箱体上，控制箱体内温度，**-**℃；**、泄露率﹤*.******%/*；*、套快开视窗；*、箱体平衡模块；
*、可自动监测手套箱泄漏率：设定自动监测，***将根据用户的设定，每天自动在设定的时间对箱体的泄漏进行检测和报告泄漏率，如超过设定值，系统会弹出窗口，警告用户泄漏率超标（提供第*方证明文件）检测范围*-*******，精度*.****；专为手套箱气氛设计，耐腐蚀，***集成控制，感测数据直接显示在主机屏幕上，氧探头为化学燃料电池（不接受氧化锆探头）（提供厂家官网探头介绍图片），提供相关国家权威部门出具的探头精准度检测报告；▲*、氧探头（*套）氧化铝薄膜探头（不接受*氧化*磷探头）检测范围*-*******（可转化为***在触摸屏上显示)，精度*.****；专为手套箱气氛设计，耐腐蚀，***集成控制，感测数据直接显示在主机屏幕上，设计寿命≥*年，提供相关国家权威部门出具的探头精准度检测报告；*、水探头（*套）▲*、净化系统，自动循环：循环风机无需连续运转，由水氧分析仪控制，通常每小时只需工作*分钟，使得气体纯化系统无需水冷却。（提供详细的方案介绍）
*、能源器件制备系统（单工位**）*、***﹤****，**﹤****流量****/*，极限真空****-*毫巴，配备油雾过滤器。*、真空泵（*台）：*、箱体内部定制*套***的不锈钢钢管，用于手套口和箱体的抽真空。*、除尘模块≥*套
▲*、铝合金手套口，由实心棒材加工而成，经原色氧化防腐处理，手套与手套口之间采用微负压抽真空密封，达到无泄漏（提供证明文件，提供官网介绍图片并加盖供应商公章）；*、*个过度舱；▲*、可拆卸的安全玻璃视窗，倾斜设计的操作面，钢化玻璃厚度***，视窗与箱体之间的密封使用双层封技术，达到无泄漏（提供详细的技术方案介绍）；*、*个不锈钢箱体，设备长度&**;******，通过多度舱和法兰对接，可以实现箱体之间的互传。箱体背部可对接真空镀膜机；*、箱体要求：该系统由*个惰性箱体组成,该系统可用于钙钛矿太阳能电池、有机薄膜晶体管等实验及测试分析，锂电制备（需提供箱体的方案介绍）
**、泄露率﹤*.******%/*；*、套快开视窗；*、箱体平衡模块；*、非集成电池阀；▲*、照明自动控制系统；*、真空系统自动休眠；
▲*、氧探头（*套）氧化铝薄膜探头（不接受*氧化*磷探头）检测范围*-*******（可转化为***在触摸屏上显示)，精度*.****；专为手套箱气氛设计，耐腐蚀，***集成控制，感测数据直接显示在主机屏幕上，设计寿命≥*年，提供相关国家权威部门出具的探头精准度检测报告；*、水探头（*套）▲*、净化系统，自动循环：循环风机无需连续运转，由水氧分析仪控制，通常每小时只需工作*分钟，使得气体纯化系统无需水冷却；（提供详细的方案介绍）*、净化系统：（可对接已有的手套箱）**、*个加热过渡仓，最高温度≥***℃
流量****/*，极限真空****-*毫巴，配备油雾过滤器；*、真空泵（*台）：*、箱体顶内定制*套***的不锈钢钢管，用于手套口和箱体的抽真空；*、除尘模块*套；*、可自动监测手套箱泄漏率：设定自动监测，***将根据用户的设定，每天自动在设定的时间对箱体的泄漏进行检测和报告泄漏率，如超过设定值，系统会弹出窗口，警告用户泄漏率超标（提供第*方证明文件）；检测范围*-*******，精度*.****；专为手套箱气氛设计，耐腐蚀，***集成控制，感测数据直接显示在主机屏幕上，氧探头为化学燃料电池（不接受氧化锆探头）（提供厂家官网探头介绍图片），提供相关国家权威部门出具的探头精准度检测报告；
*）极限真空：优于*×**-***（新设备）*、主要技术参数：金属热蒸发沉积镀膜设备，是在高真空条件下，通过加热材料的方法，在衬底上沉积各种金属单层或多层膜，主要用于有机太阳能电池，有机半导体材料的物理化学性能研究实验及金属材料的原理研究实验。可以蒸发**,**,**,等金属。其中金属源采用****水冷电极，丝舟兼容方式。除前开门位置为胶圈密封外，其他位置全部采用金属密封或磁偶合密封技术，所用电极采用陶封技术，运动采用金属焊接波纹管结构。*﹑实现功能：*、真空镀膜机*、***﹤****，**﹤****。
*）样品架与源表面距离：***~*****连续可调*）样品托尺寸：***×*****.*）样品尺寸：***×*****.*）系统保压：系统抽到极限后，停泵关机**小时后，系统真空度保持状态≤***。*）工作真空：*×**-***，从大气到工作真空时间＜**分钟（新设备冷态下）*）漏率：*.*×**-***·*/*
**）膜厚探头：水冷*只，安装在样品架下方。**）真空室开腔形式：手动前大开门结构**）样品台控温精度：±*℃**）样品台加热：室温~***℃*）样品台升降距离：单级升降±****，电动升降*）蒸发源：金属源×*套。
*）真空获得系统：腔室配有独立真空抽气系统，由机械泵和涡轮分子泵组成。*）前门观察窗：分为上下观察窗，上观察窗为*****×****，胶圈密封，用于样品架运动观察。下观察窗为****.胶圈密封，用于蒸发台观察。下观察窗上安装*个转动的遮片挡板。*）蒸发屏蔽板：真空室侧壁，底板，上板。*）蒸发室：由单真空腔体构成，腔体材质为不锈钢******，前后开门结构。真空室尺寸为***×***×*****。前开门嵌套在手套箱内，侧滑门结构。后开门是折页开门结构。真空室底板安装*套金属蒸发源和*个备用口，底板安装带防污分子泵抽气口，真空室顶板安装样品架和总挡板。真空室底部安装金属蒸发源电动挡板，侧壁上方安装膜厚探头法兰，规管法兰，备用法兰等。前开门为合金铝材料，氟胶圈密封方式。安装上下*套观察窗。分别观察样品架和蒸发台。真空室内壁及前门，安装有不锈钢屏蔽板。蒸发室，工作台*大部分。工作台内安装各种电器部件。*﹑需求概述
配置放气阀≥*支；配置Ф**波纹管管路*.**，≥*只；配置****全金属气动角阀≥*只；配置*****气动插板阀≥*套；配置机械泵*台，极限分压力-关闭气镇：****⁻²**，极限全压力-关闭气镇****⁻¹**，极限全压强-开启气镇****⁻¹**，抽速：**（*.*）*³/*（*/*）；配置分子泵*台，抽速速率（*/*）：**：******：*****：*****：****；
*）金属源及挡板：*套，金属源直接安装在真空室底板上。水冷结构，可以用舟蒸发金属类材料。*只电极间距为****。配有*套电动旋转磁力耦合挡板，安装于真空室侧壁或者底板。加热电极有预留的加长功能。*）样品架挡板：气动/磁力耦合原理，与样品架同时升降，在真空室外有位置限制。*）样品架：单级电动升降±**，用于调整蒸发间距。蒸发源和样品距离为*****至*****连续可调。在升降架侧安装有指示标尺。样品架可旋转，转速手动可调整。室温～***℃，电动旋转*～**转/分。每次可安装***********样品*片。采用铠装丝加热器。烘烤灯组件：烘烤与照明灯分开。*只烘烤灯，*只照明灯。配置****气动角阀≥*支。配置****电磁压差阀≥*支；
**）金属蒸发电源：开关电源原理，总功率*.***，**/****，*带*输出方式，*台。**）室烘烤照明电源：控制真空室内*只照明灯，*只烘烤灯的供电。**）样品架加热电源：样品台旋转控制，最高温度***℃。控温精度±*℃。导电控温仪,控温精度±*℃，*.***,**）真空控制单元：***+触摸屏控制：机械泵运行，前级阀运行，样品架的升降，旋转和掩膜板的升降。**）工作台：工作台是该设备的骨架，安装着支撑部件，方管焊成结构，台面铺有不锈钢装饰板，表面静电喷涂处理，*周有方便拆卸的围板，工作台内部安装设备真空控制单元，样品架加热电源，室烘烤照明电源,分子泵电源,有机源电源，金属蒸发电源、频率计、真空计****等。*）膜厚探头：*套，国产膜厚探头，配有气动小挡板。****，水冷结构，用于测量蒸发速率。安装在真空室侧壁上，标配*只，并且安装有挡板。用于测量膜厚和蒸发速率，*只专用于减反膜的测试，另*只测量其他金属的膜厚，测量精度*.**Å。
**.*）******程序用于开发，测试，和下载工艺过程，和将仪器数据记录至**上，用于过程分析与质量控制。**.*）易设置和操作，有“快速设置”菜单，*个上下文-敏感的按钮，和参数设定旋钮。**.*）标准**-***和***（有以太网选件）。**.*）高亮度，***活性点阵彩色***显示器–可显示英文或中文。**）膜厚仪：配置*台进口品牌膜厚仪实时显示膜厚以及沉积速率（明确品牌型号）**）复合真空计：*低*高；*路连接电阻规，*路连接金属电离规，复合模式，量程自动切换。
“▲”为“评分细则”中重要指标项。*、商务要求**）频率计转化器：****，频率转换启振稳定，通用接口。**.*）用单传感器或多传感器监测源材料，提供精确的源分布监测。**.*）贮存容量高至***个工艺过程，****个膜层，**个膜系。**.*）精确的过程控制，尤其用于低淀积率，在**读值／秒时的分辨率为±*.****，在*至**°*温度范围内的频率稳定性为±****。
*、交付日期：签订合同后**个日历日内安装调试完毕，交付使用。*、本项目为“交钥匙”工程，含设备、主件、包装、运输、装卸、安装、调试、验收、安全、培训、技术服务、售后服务等设备安装及相关软件部署调试全部费用。*、供应商提供针对本项目设备的售后服务承诺书并加盖公章。
*、*个不锈钢箱体，设备长度&**;******，通过多度舱和法兰对接，可以实现箱体之间的互传。箱体背部可对接真空镀膜机；*、箱体要求：该系统由*个惰性箱体组成,该系统可用于钙钛矿太阳能电池实验及测试分析，锂电制备（需提供箱体的方案介绍）*、能源器件制备系统（*工位）*、技术要求项目需求和技术方案要求
*、非集成电池阀；▲*、照明自动控制系统；*、真空系统自动休眠；▲*、铝合金手套口，由实心棒材加工而成，经原色氧化防腐处理，手套与手套口之间采用微负压抽真空密封，达到无泄漏（提供证明文件，提供官网介绍图片并加盖供应商公章）；*、*个过度舱；▲*、可拆卸的安全玻璃视窗，钢化玻璃厚度***，视窗与箱体之间的密封使用双层封技术，达到无泄漏（提供详细的技术方案介绍）；
*、净化系统：（可对接已有的手套箱）**、需确保该系统与真空镀膜机设备连用。**、*个空调：安装在箱体上，控制箱体内温度，**-**℃；**、泄露率﹤*.******%/*；*、套快开视窗；*、箱体平衡模块；
*、可自动监测手套箱泄漏率：设定自动监测，***将根据用户的设定，每天自动在设定的时间对箱体的泄漏进行检测和报告泄漏率，如超过设定值，系统会弹出窗口，警告用户泄漏率超标（提供第*方证明文件）检测范围*-*******，精度*.****；专为手套箱气氛设计，耐腐蚀，***集成控制，感测数据直接显示在主机屏幕上，氧探头为化学燃料电池（不接受氧化锆探头）（提供厂家官网探头介绍图片），提供相关国家权威部门出具的探头精准度检测报告；▲*、氧探头（*套）氧化铝薄膜探头（不接受*氧化*磷探头）检测范围*-*******（可转化为***在触摸屏上显示)，精度*.****；专为手套箱气氛设计，耐腐蚀，***集成控制，感测数据直接显示在主机屏幕上，设计寿命≥*年，提供相关国家权威部门出具的探头精准度检测报告；*、水探头（*套）▲*、净化系统，自动循环：循环风机无需连续运转，由水氧分析仪控制，通常每小时只需工作*分钟，使得气体纯化系统无需水冷却。（提供详细的方案介绍）
*、能源器件制备系统（单工位**）*、***﹤****，**﹤****流量****/*，极限真空****-*毫巴，配备油雾过滤器。*、真空泵（*台）：*、箱体内部定制*套***的不锈钢钢管，用于手套口和箱体的抽真空。*、除尘模块≥*套
▲*、铝合金手套口，由实心棒材加工而成，经原色氧化防腐处理，手套与手套口之间采用微负压抽真空密封，达到无泄漏（提供证明文件，提供官网介绍图片并加盖供应商公章）；*、*个过度舱；▲*、可拆卸的安全玻璃视窗，倾斜设计的操作面，钢化玻璃厚度***，视窗与箱体之间的密封使用双层封技术，达到无泄漏（提供详细的技术方案介绍）；*、*个不锈钢箱体，设备长度&**;******，通过多度舱和法兰对接，可以实现箱体之间的互传。箱体背部可对接真空镀膜机；*、箱体要求：该系统由*个惰性箱体组成,该系统可用于钙钛矿太阳能电池、有机薄膜晶体管等实验及测试分析，锂电制备（需提供箱体的方案介绍）
**、泄露率﹤*.******%/*；*、套快开视窗；*、箱体平衡模块；*、非集成电池阀；▲*、照明自动控制系统；*、真空系统自动休眠；
▲*、氧探头（*套）氧化铝薄膜探头（不接受*氧化*磷探头）检测范围*-*******（可转化为***在触摸屏上显示)，精度*.****；专为手套箱气氛设计，耐腐蚀，***集成控制，感测数据直接显示在主机屏幕上，设计寿命≥*年，提供相关国家权威部门出具的探头精准度检测报告；*、水探头（*套）▲*、净化系统，自动循环：循环风机无需连续运转，由水氧分析仪控制，通常每小时只需工作*分钟，使得气体纯化系统无需水冷却；（提供详细的方案介绍）*、净化系统：（可对接已有的手套箱）**、*个加热过渡仓，最高温度≥***℃
流量****/*，极限真空****-*毫巴，配备油雾过滤器；*、真空泵（*台）：*、箱体顶内定制*套***的不锈钢钢管，用于手套口和箱体的抽真空；*、除尘模块*套；*、可自动监测手套箱泄漏率：设定自动监测，***将根据用户的设定，每天自动在设定的时间对箱体的泄漏进行检测和报告泄漏率，如超过设定值，系统会弹出窗口，警告用户泄漏率超标（提供第*方证明文件）；检测范围*-*******，精度*.****；专为手套箱气氛设计，耐腐蚀，***集成控制，感测数据直接显示在主机屏幕上，氧探头为化学燃料电池（不接受氧化锆探头）（提供厂家官网探头介绍图片），提供相关国家权威部门出具的探头精准度检测报告；
*）极限真空：优于*×**-***（新设备）*、主要技术参数：金属热蒸发沉积镀膜设备，是在高真空条件下，通过加热材料的方法，在衬底上沉积各种金属单层或多层膜，主要用于有机太阳能电池，有机半导体材料的物理化学性能研究实验及金属材料的原理研究实验。可以蒸发**,**,**,等金属。其中金属源采用****水冷电极，丝舟兼容方式。除前开门位置为胶圈密封外，其他位置全部采用金属密封或磁偶合密封技术，所用电极采用陶封技术，运动采用金属焊接波纹管结构。*﹑实现功能：*、真空镀膜机*、***﹤****，**﹤****。
*）样品架与源表面距离：***~*****连续可调*）样品托尺寸：***×*****.*）样品尺寸：***×*****.*）系统保压：系统抽到极限后，停泵关机**小时后，系统真空度保持状态≤***。*）工作真空：*×**-***，从大气到工作真空时间＜**分钟（新设备冷态下）*）漏率：*.*×**-***·*/*
**）膜厚探头：水冷*只，安装在样品架下方。**）真空室开腔形式：手动前大开门结构**）样品台控温精度：±*℃**）样品台加热：室温~***℃*）样品台升降距离：单级升降±****，电动升降*）蒸发源：金属源×*套。
*）真空获得系统：腔室配有独立真空抽气系统，由机械泵和涡轮分子泵组成。*）前门观察窗：分为上下观察窗，上观察窗为*****×****，胶圈密封，用于样品架运动观察。下观察窗为****.胶圈密封，用于蒸发台观察。下观察窗上安装*个转动的遮片挡板。*）蒸发屏蔽板：真空室侧壁，底板，上板。*）蒸发室：由单真空腔体构成，腔体材质为不锈钢******，前后开门结构。真空室尺寸为***×***×*****。前开门嵌套在手套箱内，侧滑门结构。后开门是折页开门结构。真空室底板安装*套金属蒸发源和*个备用口，底板安装带防污分子泵抽气口，真空室顶板安装样品架和总挡板。真空室底部安装金属蒸发源电动挡板，侧壁上方安装膜厚探头法兰，规管法兰，备用法兰等。前开门为合金铝材料，氟胶圈密封方式。安装上下*套观察窗。分别观察样品架和蒸发台。真空室内壁及前门，安装有不锈钢屏蔽板。蒸发室，工作台*大部分。工作台内安装各种电器部件。*﹑需求概述
配置放气阀≥*支；配置Ф**波纹管管路*.**，≥*只；配置****全金属气动角阀≥*只；配置*****气动插板阀≥*套；配置机械泵*台，极限分压力-关闭气镇：****⁻²**，极限全压力-关闭气镇****⁻¹**，极限全压强-开启气镇****⁻¹**，抽速：**（*.*）*³/*（*/*）；配置分子泵*台，抽速速率（*/*）：**：******：*****：*****：****；
*）金属源及挡板：*套，金属源直接安装在真空室底板上。水冷结构，可以用舟蒸发金属类材料。*只电极间距为****。配有*套电动旋转磁力耦合挡板，安装于真空室侧壁或者底板。加热电极有预留的加长功能。*）样品架挡板：气动/磁力耦合原理，与样品架同时升降，在真空室外有位置限制。*）样品架：单级电动升降±**，用于调整蒸发间距。蒸发源和样品距离为*****至*****连续可调。在升降架侧安装有指示标尺。样品架可旋转，转速手动可调整。室温～***℃，电动旋转*～**转/分。每次可安装***********样品*片。采用铠装丝加热器。烘烤灯组件：烘烤与照明灯分开。*只烘烤灯，*只照明灯。配置****气动角阀≥*支。配置****电磁压差阀≥*支；
**）金属蒸发电源：开关电源原理，总功率*.***，**/****，*带*输出方式，*台。**）室烘烤照明电源：控制真空室内*只照明灯，*只烘烤灯的供电。**）样品架加热电源：样品台旋转控制，最高温度***℃。控温精度±*℃。导电控温仪,控温精度±*℃，*.***,**）真空控制单元：***+触摸屏控制：机械泵运行，前级阀运行，样品架的升降，旋转和掩膜板的升降。**）工作台：工作台是该设备的骨架，安装着支撑部件，方管焊成结构，台面铺有不锈钢装饰板，表面静电喷涂处理，*周有方便拆卸的围板，工作台内部安装设备真空控制单元，样品架加热电源，室烘烤照明电源,分子泵电源,有机源电源，金属蒸发电源、频率计、真空计****等。*）膜厚探头：*套，国产膜厚探头，配有气动小挡板。****，水冷结构，用于测量蒸发速率。安装在真空室侧壁上，标配*只，并且安装有挡板。用于测量膜厚和蒸发速率，*只专用于减反膜的测试，另*只测量其他金属的膜厚，测量精度*.**Å。
**.*）******程序用于开发，测试，和下载工艺过程，和将仪器数据记录至**上，用于过程分析与质量控制。**.*）易设置和操作，有“快速设置”菜单，*个上下文-敏感的按钮，和参数设定旋钮。**.*）标准**-***和***（有以太网选件）。**.*）高亮度，***活性点阵彩色***显示器–可显示英文或中文。**）膜厚仪：配置*台进口品牌膜厚仪实时显示膜厚以及沉积速率（明确品牌型号）**）复合真空计：*低*高；*路连接电阻规，*路连接金属电离规，复合模式，量程自动切换。
“▲”为“评分细则”中重要指标项。*、商务要求**）频率计转化器：****，频率转换启振稳定，通用接口。**.*）用单传感器或多传感器监测源材料，提供精确的源分布监测。**.*）贮存容量高至***个工艺过程，****个膜层，**个膜系。**.*）精确的过程控制，尤其用于低淀积率，在**读值／秒时的分辨率为±*.****，在*至**°*温度范围内的频率稳定性为±****。
*、交付日期：签订合同后**个日历日内安装调试完毕，交付使用。*、本项目为“交钥匙”工程，含设备、主件、包装、运输、装卸、安装、调试、验收、安全、培训、技术服务、售后服务等设备安装及相关软件部署调试全部费用。*、供应商提供针对本项目设备的售后服务承诺书并加盖公章。
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