东方招标
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化学气相沉积炉采购项目
招标文件
第*册
(专用册)
招标编号:****-**********
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中国·北京
****年*月
第*部分采购需求
货物需求*览表
包号 |
货物名称 |
数量 |
交货期 |
项目现场(交货地点) |
* |
化学气相沉积炉 |
*套 |
详见具体技术规格 |
注:投标人须对上述投标内容中完整的*包或几包进行投标,不完整的投标将视为非响应性投标予以拒绝。
总则
*、投标要求
*.*投标人在准备投标书时,务必在所提供的商品的技术规格文件中,标明型号、商标名称、目录号。
*.*投标人提供的货物须是成熟的全新的产品,其技术规格应符合招标文件的要求。如与招标文件的技术规格有偏差,应提供技术规格偏差的量值或说明(偏离表)。如投标人有意隐瞒对规格要求的偏差或在开标后提出新的偏差,买方有权扣留其投标保证金或/并拒绝其投标。
*.*投标人提供的产品样本,必须是“原件”而非复印件,图表、简图、电路图以及印刷电路板图等都应清晰易读。买方有权不付任何附加费用复制这些资料以供参考。
*.*投标人的投标产品应符合国家有关部门规定的相应技术、节能、安全和环保标准;如国家有关部门对投标人的投标产品有强制性规定或要求的,则投标人的投标产品必须符合相应规定或要求。
*、评标标准
*.*除招标文件中指定的附件和专用工具外,投标人应提供仪器设备的正常运行和常规保养所需的全套标准附件、专用工具和消耗品。投标人在投标书中需列出这些附件和工具的数量和单价的清单,这些附件和工具的报价的总值需计入投标价中。
*.*对于标书技术规范中已列出的作为查询选件的附件、*配件、专用工具和消耗品,投标书中应列明其数量、单价、总价供买方参考。投标人也可推荐买方没有要求的附件或专用工具作为选件,并列明其数量、单价、总价供买方参考。选件价格不计入评标价中。选件*旦为用户接受,其费用将加入合同价中。
*.*为便于用户进行接收仪器的准备工作,卖方应在合同生效后**天内向用户提供*套完整的使用说明书、操作手册、维修及安装说明等文件。另*套完整上述资料应在交货时随货包装提供给用户,这些费用应计入投标价中。
*.*关于设备的安装调试,如果有必要的安装准备条件,卖方应在合同生效后*个月内向买方提出详细的要求或计划。安装调试的费用应计入投标价中,并应单独列出,供评标使用。
*.*制造厂家提供的培训指的是涉及货物的基本原理、操作使用和保养维修等有关内容的培训。培训教员的培训费、旅费、食宿费等费用和培训场地费及培训资料费均应由卖方支付。
*.*在评标过程中,买方有权向投标人索取任何与评标有关的资料,投标人务必在接到此类要求后,在规定时间内予以答复。对于无答复的投标人,买方有权拒绝其投标。
*、工作条件
除非在技术规格中另有说明,所有仪器、设备和系统都应符合下列要求:
*.*适于在气温为摄氏-**℃~+**℃和相对湿度为**%的环境条件下运输和贮存。
*.*适于在电源****(**%)/****、气温摄氏+**℃~+**℃和相对湿度小于**%的环境条件下运行。能够连续正常工作。
*.*配置符合中国有关标准要求的插头,如果没有这样的插头,则需提供适当的转换插座。
*.*如产品达不到上述要求,投标人应注明其偏差。如仪器设备需要特殊工作条件(如水、电源、磁场强度、温度、湿度、动强度等)投标人应在投标书中加以说明。
*、验收标准
除非在技术规格中另有说明,所有仪器、设备和系统按下列要求进行验收:
*.*仪器设备运抵安装现场后,买方将与卖方共同开箱验收,如卖方届时不派人来,则验收结果应以买方的验收报告为最终验收结果。验收时发现短缺、破损,买方有权要求卖方负责更换。
*.*验收标准以中标人提供的投标文件中所列的指标为准(该指标应不低于招标文件所要求的指标)。任何虚假指标响应*经发现即作废标,卖方必须承担由此给买方带来的*切经济损失和其它相关责任。
*.*验收由采购人、中标人及相关人员依国家有关标准、合同及有关附件要求进行,验收完毕由采购人及中标人在验收报告上签名。
*、本技术规格书中标注“*”号的为实质性要求,不满足其投标将被拒绝。
*、如在具体技术规格中有本总则不*致之处,以具体技术规格中的要求为准。
*、具体技术规格
第*包化学气相沉积炉
技术要求:
工作条件:
项目 |
配置要求 |
场地要求 |
长×宽×高≤**×**×*.** |
环境条件 |
环境温度:*℃~+**℃海拔高度:≤*****环境相对湿度:≤**%(**℃)污染等级:Ⅲ级地震烈度:Ⅷ度 |
电力要求 |
****±***、*相*线制、****,整机配电功率≥**** |
压缩空气 |
压力:*.*~*.****;流量:≥*.* **/***压缩空气应为无油、干燥、干净的气体; |
设备用途:
*.设备用途
本次拟采购的设备为碳化硅沉积炉,该设备主要用于制备碳化硅复合材料化学气相渗透工艺(***)和化学气相沉积工艺(***)制备性能稳定的***基体和***涂层,同时具备碳化硅复合材料化学气相渗透工艺(***)制备氮化硼界面层。
*.设备组成
碳化硅沉积炉为立式结构,该设备须包含炉体系统、加热保温系统、沉积室系统、真空系统、副产物收集系统、尾气处理系统、工艺气路系统、气动系统、循环冷却水系统、操作平台和电气控制系统等组成部分。
技术规格:
*.*主要参数
**.*.*.工作区有效尺寸:Ф*.*****×*****(直径×高);
**.*.*.工作气氛:氩气、氢气、*氯甲基硅烷、*氯化硼、氨气;
**.*.*.最高温度:****℃;
#*.*.*.空载升温速率:**→***℃升温速率*-**℃/***可调;***℃→****℃升温速率*-*℃/***可调
#*.*.*.温度均匀性:±*℃(空炉升温至****℃保温*小时进行*点温度均匀性测试。);
#*.*.*.极限真空度:****;
#*.*.*.冷态压升率:≤***/*;
#*.*.*.工作炉压:工作沉积压力范围******-******;
*.*.*.长期使用温度:***℃~****℃;
*.*.**.仪表控温精度:±*℃;
*.*.**.抽气速率:空炉抽至极限真空度所需时间≤*****;
*.*.**.料台有效承载重量:****;
*.*.**.加热方式:电阻加热方式;
*.*.**.连续工作时间:≥***;
*.*.**.炉体表面温度:≤**℃;
*.*产品主体部分说明
*.*.*.炉体
炉体结构为立式双层水冷夹套结构,应配套维修操作平台,物料选用上装出料方式。
炉体材质:炉壳和炉盖内壁及法兰应选用不锈钢****材质,外壁应选用不锈钢***材质。
炉门开启方式:上炉门应设计为液压自动升降,操作方便可靠。
炉体密封件应选用耐腐蚀材质。
*.*.*.加热保温系统
加热保温系统由保温层框架、隔热保温层、加热元件、汇流排、电极、支撑料台和绝缘件等部分组成。
隔热保温层应选用整体成型方式并高温处理的进口硬质碳基隔热材料,厚度应不小于****,使用寿命应保证满足*年以上使用周期。
上下保温盖均应选用整体成型并高温处理的硬质碳基隔热材料,厚度应不小于****,使用寿命应保证满足*年以上使用周期。
隔热保温层外部需有结构可靠的金属承力框架,其材质应选用不锈钢****材质,隔热保温层与框架的连接组装应选用高强度***材料。
加热元件应选用进口优质等静压石墨材质,其它石墨件应选用进口模压石墨材质。
加热元件、隔热保温层等设计需考虑维护需要,应易于维护和更换。
加热元件与炉外低压电源需实现高温绝缘,确保高温加热下能稳定可靠运行。
系统配套绝缘件的选用应考虑炉内污染气氛,确保*年内不更换绝缘件。
*.*.*.沉积室系统
沉积室系统由石墨导气顶罩、石墨布气底板、沉积室等部分组成。
沉积室应选用进口高纯细颗粒石墨材质,其它石墨件应选用进口模压石墨材质。
沉积室需进行密封处理,减少沉积气体及挥发物对加热系统等的侵蚀,以提高发热体和隔热保温材料的使用寿命。
*.*.*.真空系统
真空系统应包含多套真空泵组、真空阀、波纹管、电容薄膜规、真空管路等,可确保单炉次沉积稳定运行**小时以上。
真空泵组应配套碳化硅/氮化硼沉积用液环罗茨真空泵组,每套泵组应包含*台液环泵(不小于****/*)和*台罗茨泵(不小于****/*),其中液环泵需选用不锈钢****材质,该泵组可在氯化氢、盐酸和碳化硅粉尘环境下长期稳定使用。
真空泵组应配套抽真空专用真空泵组,每套泵组应包含*台旋片泵(不小于***/*),该泵组可在真空环境下长期稳定使用。
真空泵需包含单向阀,防止突然停泵时真空泵油返回真空管道。
真空系统应满足含碳化硅沉积工况使用要求,单炉次稳定运行**小时以上。真空系统调节阀门的选择应实现炉内压力稳定控制和排气顺畅。
真空主管道上同时设计电动真空球阀和气动真空球阀,与传感器及仪表配合实现炉内沉积室压力自动控制。
真空管道上应设置**接口,用于系统检漏;真空抽气管路设计应便于清理和维护。
真空系统上所有管路、法兰、真空阀门、波纹管应全部选用不锈钢****材质。
*.*.*.副产物收集过滤系统
副产物收集过滤系统应由多级冷凝和多级过滤组成,相应的冷凝、过滤收集装置的设计应充分考虑易于清理和维护,同时确保人员无安全风险。
过滤系统应具备碳化硅沉积的副产物(如固体碳化硅粉尘和炭黑粉尘、焦油)的处理,确保环保。
过滤系统上所有管路、法兰、真空阀门应全部选用不锈钢****材质。
*.*.*.尾气处理系统
尾气处理系统应由碱液喷淋吸附装置、惰性气体导气装置组成,相应的喷淋吸附装置的设计应充分考虑易于清理和维护,同时确保人员无安全风险。
尾气处理应具备碳化硅沉积的副产物(如氯化氢、盐酸、氢气)的处理,确保安全和环保。
尾气处理系统上所有管路和法兰应全部选用不锈钢****材质,喷淋吸附装置应选用耐酸耐碱工况材质制作。
*.*.*.工艺气路系统
工艺气路系统需包含但不限于进气阀、体积流量计、质量流量计、*氯甲基硅烷储存罐、混气罐、缓冲罐、充气管路、油温恒温装置、压力传感器和气控柜等。
工艺气路系统应配套碳化硅沉积独立和氮化硼独立沉积的供气系统,应另外设置*路快速进气道,不经流量计,直通炉体。
工艺充气应选用质量流量计和体积流量计控制气体流量,根据气体特性选择相应标定的流量计,质量流量计前应加装过滤装置。
系统配备的*套*氯甲基硅烷储存罐、*套混气罐、*套缓冲罐,应设计保温功能,保温温度在**℃~**℃可调;同时*氯甲基硅烷储存罐还应具备称重读数功能。
系统操作区域内应安装氢气、氯化氢、氨气漏气探测及报警装置。
工艺气路系统应放置在气体防爆柜内,所有接管采用保护气氛下焊接而成,确保管路的洁净度,*氯化硼、氨气等管路应设有吹扫功能。气控柜具有供气监测和泄露监测功能。
充气所有管路应选用****无缝不锈钢管。因工艺需求部分管路需具备加热恒温功能,并做说明。
系统需说明进气方式,进气位置。
*.*.*.气动系统
气动系统为设备气动执行元件提供动力,选用集中式布置气动控制阀门。气动系统包括压缩空气油水过滤器、气源调压器、电磁换向阀、阀座、气管等。
*.*.*.循环冷却水系统
循环冷却水系统选用压力回水(闭式)结构,冷却水进口处带过滤网装置,便于拆卸清理,同时配套设备使用的水系统,可提供稳定温度和流量的冷却水供应。
进出水管路选用不锈钢硬管(非移动部位选用硬管)和耐温耐压水管(移动部位选用软管),每路冷却水应配有旋转手动阀,可调节水的流量;每个回路都配有可视流量监控窥镜和旋转手动阀。电极回水端应选用温度流量传感器,实时监测水温流量情况。
在总进水管路上应设有压力表和温度表检测进水压力和温度,并设缺水报警和超压、超温报警,确保设备安全。
*.*.**.操作平台
平台提供设备主体的安装,便于操作且安全可靠,布局合理。
平台立柱选用槽钢对扣或厚壁管焊接制作,平面上铺设网纹钢板,护栏和爬梯选用铝合金型材制作。
整个平台为可拆卸平台,立柱、梯子与平台的连接为螺栓连接。
*.*.**.电气控制系统
电气控制选用可编程控制器(***)和触摸屏进行控制,可实现泵、阀、加热等动作控制、参数设置、设备运行实时数据显示,温度、功率、压力等曲线显示,数据列表显示,具有记录、数据导出等功能;还可以实现权限管理,防止设备出现非授权操作。
温度控制选用进口品牌智能温控仪表对温度进行监控,并实现程序控温。
系统需选用钨铼型热电偶对炉内温度进行测量和监视(*监*控),热电偶热偶保护套管损坏时需对真空无影响。
控制柜、电源柜配置空调,满足防尘、防水,充分考虑碳粉尘的隔离,密封性良好。其电气元件应选用国际知名品牌。
设备控制系统需具有超温、断偶、过流和冷却水缺水、冷却水超压、冷却水超温、炉内超压报警功能,确保系统安全可靠运行。
系统具备远程监测功能,包括报警信号、设备运行状态、工艺参数的显示。
设备电气设计符合国家电气标准,应按国标包含齐全的水电气及安全警示标志。
产品配置要求
*.*主要部件配置要求
序号 |
主要部件名称 |
规格材质 |
原材料品牌 |
* |
炉壳、炉门 |
内壁、法兰及接管为不锈钢****材质、外壁为不锈钢***材质 |
太钢/宝钢/涟钢或优于该同级别厂家 |
* |
密封圈 |
耐腐蚀材质 |
真龙/康华/贝克或优于该同级别厂家 |
* |
保温层框架 |
不锈钢****材质 |
太钢/宝钢/涟钢或优于该同级别厂家 |
* |
碳基隔热材料 |
整体成型方式并经高温处理 |
西格里/东洋/吴宇或优于该同级别厂家 |
* |
紧固件 |
***材质 |
西格里/东洋/吴宇或优于该同级别厂家 |
* |
加热元件 |
等静压石墨 |
西格里/东洋/美尔森或优于该同级别厂家 |
* |
其它石墨件 |
模压石墨 |
西格里/东洋/美尔森或优于该同级别厂家 |
* |
沉积室 |
细颗粒石墨 |
西格里/东洋/美尔森或优于该同级别厂家 |
* |
化工泵 |
不小于****/*、不锈钢****材质 |
/ |
** |
罗茨泵 |
不小于****/* |
/ |
** |
旋片泵 |
不小于***/* |
成都南光/沈阳真龙/沈阳北辰鑫或优于该同级别厂家 |
** |
真空系列阀门 |
标准件 |
宁波仪表阀门/宁波泓科/北京阀隆兴或优于该同级别厂家 |
** |
电容薄膜规 |
系列 |
英福康/莱宝/正华或优于该同级别厂家 |
** |
多级冷凝器 |
不锈钢****材质 |
太钢/宝钢/涟钢或优于该同级别厂家 |
** |
多级过滤器 |
不锈钢****材质 |
太钢/宝钢/涟钢或优于该同级别厂家 |
** |
储存罐、混气罐、缓冲罐 |
不锈钢****材质 |
太钢/宝钢/涟钢或优于该同级别厂家 |
** |
抽真空管路 |
不锈钢****材质 |
太钢/宝钢/涟钢或优于该同级别厂家 |
** |
尾气管路 |
不锈钢****材质 |
太钢/宝钢/涟钢或优于该同级别厂家 |
** |
质量流量计 |
氩气、氢气、氨气、*氯化硼标定 |
*星华创/上海*诺/上海科隆或优于该同级别厂家 |
** |
体积流量计 |
氩气、氢气、氨气标定 |
双环/青岛*安/北方大河或优于该同级别厂家 |
** |
压力传感器 |
系列 |
弗赛德/***/博世或优于该同级别厂家 |
** |
称重系统 |
定制 |
瑞士梅特勒托利多/石田/西德力或优于该同级别厂家 |
** |
气氛柜 |
防爆 |
/ |
** |
油温加热装置 |
定制 |
/ |
** |
气体泄漏报警装置 |
定制 |
/ |
** |
充气管路 |
不锈钢***材质,确保洁净度 |
太钢/宝钢/涟钢或优于该同级别厂家 |
** |
闭式冷却水系统 |
***³/* |
**/方舟/佳禾或优于该同级别厂家 |
** |
温度流量传感器 |
系列 |
德国图尔克/美国伊玛/美国威盾或优于该同级别厂家 |
** |
水冷管路 |
不锈钢***材质 |
太钢/宝钢/涟钢或优于该同级别厂家 |
** |
*** |
**-****系列 |
西门子/欧姆龙/*菱或优于该同级别厂家 |
** |
触摸屏 |
**寸 |
西门子/欧姆龙/昆仑通态或优于该同级别厂家 |
** |
控温仪表 |
*.*级 |
英国欧*/日本岛电/日本横河或优于该同级别厂家 |
** |
控压仪表 |
*.*级 |
英国欧*/日本岛电/日本横河或优于该同级别厂家 |
** |
热电偶 |
钨铼型 |
大正/博圣/*里行或优于该同级别厂家 |
** |
电气元件 |
标准件 |
西门子/施耐德/***或优于该同级别厂家 |
** |
电源柜 |
≥**** |
英杰电气/东方*通/中亚特变或优于该同级别厂家 |
** |
电控柜(含空调) |
标准柜 |
威图/施耐德/***或优于该同级别厂家 |
*.*要求的附件、专用工具和消耗品
*.*.*为保证乙方提供的设备附件及资料能够满足甲方试验研究的需求,需乙方提供的设备附件及资料包括:
序号 |
名称 |
规格 |
数量 |
备注 |
* |
热电偶 |
件 |
* |
设备附件 |
* |
密封圈 |
套 |
* |
设备附件 |
* |
绝缘件 |
件 |
* |
设备附件 |
* |
发热体 |
件 |
* |
设备附件 |
* |
汇流排 |
件 |
* |
设备附件 |
* |
石墨电极 |
件 |
* |
设备附件 |
* |
熔断器 |
个 |
* |
设备附件 |
* |
平面布置图及地基施工图 |
份 |
* |
设备资料 |
* |
使用说明书 |
份 |
* |
设备资料 |
** |
外购件使用说明书 |
份 |
* |
设备资料 |
** |
设备铭牌 |
份 |
* |
设备资料 |
** |
产品合格证 |
份 |
* |
设备资料 |
如有设备附件为设备运行所必须,或为保证设备长期运行所必须配备(易损坏部件),而以上表格描述部件未能全部涵盖,仍然需要乙方进行补充提供。 |
*.*其它保证仪器设备的正常运行和常规保养所需的附件、专用工具和消耗品。(由投标人提供,请参考总则第*.*条)
*.技术文件:
*.*请参考总则第*.*条。
提供设备相关图纸和技术资料,包括但不限于:
(*)设备使用说明书,设备基础图、设备总装图等。
(*)设备电气使用说明书(包括电气原理图、电器连接图)。
(*)设备各外购件(机械及电器)使用说明书、出厂合格证。
(*)随机提供设备机械电器备品备件清单。
(*)随机提供设备出厂验收合格证书。
(*)设备发货清单。
*.*请参考总则第*.*条。
(*)质保及售后服务:
*.*设备安装调试(请参考总则第*.*条)
*.*.*乙方负责本装置的装卸车、运输、安装、调试和项目现场的就位
*.*.*乙方负责在甲方现场对操作、维修人员进行免费的技术培训,培训时间不少于*个工作日,直至操作人员达到基本正常使用该设备为止。
*.*技术培训(请参考总则第*.*条)
*.*.*乙方应保证对甲方设备操作人员提供技术培训,并在现场进行必要的操作培训。培训内容包括设备的构造、原理,工艺调整、参数设定,操作规程,紧急事故处理,电控系统的使用,设备维护、保养、注意事项,常见故障及排除,易损件的更换等。
乙方需提供详细的产品(设备和软件)使用说明,并对甲方的用户进行相关的技术培训,使用户能掌握有关该系统的使用、维护和管理的必要技能,达到能够独立进行日常维护和系统管理的目标,并保障所提供的设备能够正常、安全地运行。
*.*保修期
设备质保期自双方签署安装调试服务报告后*年。
*.*维修响应时间
在设备保修期内,如设备出现故障,在甲方提出维修要求后,乙方必须在*个工作日内做出维修响应,*-*个工作日内到达用户现场,并免费对设备进行维修和部件的更换;不在设备保质期内,如设备出现故障,在甲方提出维修要求后,乙方必须在*个工作日内做出维修响应,*-*个工作日内到达用户现场,乙方应先对设备进行维修和部件的更换,产生的费用在设备正常运行后,由甲方付给乙方。
*.*要求卖方提供的其它技术服务内容(如软、硬件升级要求等)
甲方在使用期间如出现任何技术问题,乙方应提供必要的技术支持。
(*)订货数量:
化学气相沉积炉*套
(*)交货地:
****省****市****区储潭镇科学院路*号
(*)交货日期:
合同签署生效后*个月内。
(*)执行的相关标准
产品应满足相关国家标准及行业标准。