FIB聚焦离子束系统招募公告-比地招标网

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公告内容：

发布企业：****威灵电机制造有限公司

寻源单号：******************

联系人：******

联系方式：***********

需求报名截止时间：****-**-** **:**:**

邮箱：****@*****.***

需求交付时间：****-**-**

招募项目：***聚焦离子束系统

货期要求：***天

付款比例：*:*:*:*（**%合同签订后预付款、**%初验收款、**%终验收款、**%质保尾款）甲方选择*个月承兑或美易单结算。

税率：**%增值税专用发票

技术要求：详见附件

行业：

规模：

企业所在地：

供货区域：

质保时间（单位：月）：

公司成立年限（单位：年）：

附件下载： ** ***聚焦离子束系统设备采购技术协议.***

更多咨询报价请点击： *****://********.********.***/#/***********?**=***************

***聚焦离子束系统技术协议

合同编号：

签约时间：

签约地点：中国********

设备清单

设备用途：用于金属、半导体、电介质、多层膜结构等固体样品上制备微纳结构。高质量定点***样品制备。化学和晶体结构*维形态分析。离子束刻蚀、离子束沉积、电子束沉积、高分辨扫描电镜等功能可对试样加工的同时进行实时观测。

序号	设备名称	品牌	规格型号	单位	数量
*	***聚焦离子束系统	/	/	台	*

仪器主要技术参数

*.*关键技术指标

序号	部件	参数	规格
*	电子束	电子枪类型	肖特基（**/）场发射灯丝
*	电子束	分辨率	在最佳工作距离：.@*；.*@；.*@*（减速模式）
*	电子束	交叉点工作距离	~***
*	电子束	放大倍率	×～***×
*	电子束	加速电压	***~*** (连续可调)
*	电子束	束流强度	*~***
*	电子束	物镜光阑	全自动光阑系统，具备可加热式物镜光阑
*	电子束	电子枪寿命	＞**个月
*	离子束	离子源种类	液态**离子源
*	离子束	离子源寿命	≥****小时
*	离子束	离子束分辨率	≤.@**
*	离子束	交叉点分辨率	. @ ** (采用统计平均值法测量)
*	离子束	放大倍率	*~,*倍
*	离子束	加速电压	.~**
*	离子束	束流强度	*~**
*	探测器	*次电子探测器	高真空模式下次电子探测器、极靴内探测器次电子探测器
*	探测器	背散射电子探测器	极靴内高灵敏度背散射电子探测器
*	探测器	样品电流探测器	精度可以到*级别
*	探测器	样品室红外***相机	用于检测样品台及探头的位置的状态
*	辅助气体注入系统	沉积材料	金属沉积系统，可在离子束、电子束诱导下进行*金属沉积
*	辅助气体注入系统	可扩充为独立的*路气体注入系统	可增加至种气体注入系统，拥有*种以上备选过程方案；每种气体配备独立的气体注入器，防止不同气体交叉污染
*	辅助气体注入系统	边切边看功能	具备实时观察离子束加工的监控功能
*	辅助气体注入系统	束流监测	具备束流测量装置
*	样品室以及样品台	样品室内部尺寸	内径&;***
*	样品室以及样品台	最大样品直径	不小于*****
*	样品室以及样品台	最大样品高度	样品台到束交叉点不小于****
*	样品室以及样品台	*轴马达驱动样品台	、方向移动范围不低于****，回复精度小于.微米 (在度倾斜)；方向移动范围不低于**，可绕轴旋转任意角度 (**度)
*	样品室以及样品台	倾角范围	-°/+°
*	样品室以及样品台	红外***相机	样品室内配置红外***相机
*	样品室以及样品台	样品室导航系统	具有光学摄像头导航系统
*	样品室以及样品台	接口	**+个可扩展附件/ 探测器接口
*	真空系统	完全无油真空系统	由机械干泵，磁悬浮涡轮分子泵和离子泵构成
*	真空系统	电子枪真空度	&;-***
*	真空系统	样品室真空度	&;-***
*	真空系统	换样时间	&*;.分钟
*	牛津能谱仪（**** ）	探测器	分析型*硅漂移电制冷探测器，*有效面积，**晶体面积，高分子超薄窗设计，无需液氮冷却，仅消耗电能
*	牛津能谱仪（**** ）	能量分辨率	保证优于***（@计数率,***）；以上探测器能量分辨率保证符合* ***:*标准
*	牛津能谱仪（**** ）	元素分析范围	～**
*	牛津能谱仪（**** ）	*峰修正功能	具备*峰修正功能，可以快速稳定谱峰，开机后无需重新修正峰位
*	牛津能谱仪（**** ）	能谱应用软件	采用最新的************平台，多线程设计
*	牛津能谱仪（**** ）	电脑配置	***** * * • 系统：* *• 处理器：* -**** . *** / * **, 核• 内存：* * • 显卡：* * ****** * (********)• 硬盘：**** ********* * * ** * **- .\"• 鼠标： * ***** *• 光驱： ** . * **** **• // (******/**/**) * ********
*	牛津能谱仪（**** ）	主要功能	***点扫描；***面扫描；******线扫描；元素自动识别及标定
*	****配件或参数	冷却水系统	空压机和冷却循环水系统，冷却***镜筒及其它部件
*	****配件或参数	等离子清洗器	配置样品仓等离子清洗器
*	****配件或参数	电子束和离子束夹角	**°
*	****配件或参数	***	功率不小于***，续航小时左右，山特品牌
*	控制系统	电脑	惠普电脑，内存，* 位系统，专业显卡，键盘，鼠标及用户界面，” 显示器（惠普）, * *****，硬盘，带***接口，带网卡接口
*	控制系统	图像处理	驻留时间：.~***/*，最高像素：*******像素，文件格式：** (, * 位)，*或*格式，单幅或幅显示；自带*位图像生成器
*	控制系统	运作模式	具备程序制定、改造软件，能控制镜筒，探测器，样品台等的运作模式
*	控制系统	**** 拼图软件	可实现大范围拼接并与*、*联用
*	控制系统	*******软件	可实现全自动横截面切割，无需人工干预得到批量测试结果，并后期可以搭配原厂的纳米机械手实现***样品制备
*	控制系统	软件****功能	智能扫描功能、漂移补偿帧积分功能****、蒙太奇导航功能
**	减震台	主要参数	，主动补偿自由度：，主动减振范围：.- ，系统结构：整体式，被动减振部分：空气弹簧，主动控制方式：主动减振系统中必须要有前置反馈，提高低频性能。，*以上减振幅度：≥%，静息时间：≤ ，最大制动推力：垂直方向；水平方向，系统载重范围：&;** ，承载尺寸：不小于*********(长宽)，磁场释出量：&; .******，最大允许位移：不小于 *

注：带*标识为设计指标，验收时提供产品说明凭证。

*.*设备清单：

序号	名称	型号	数量
*	主机	***聚焦离子束	*
*	****软件导入系统	**** * * *****	*
*	牛津能谱仪	**** 电脑配置： ***** * * • 系统：* *• 处理器：* -**** . *** / * **, 核• 内存：* * • 显卡：* * ****** * (********)• 硬盘：**** ********* * * ** * **- .\"• 鼠标： * ***** *• 光驱： ** . * **** **• // (******/**/**) * ********	*
*	全自动横截面切割软件	*******软件	*
*	*沉积系统	****** ******** (*)钨沉积	*
*	***	*（山特****）山特不间断稳压电源	*
*	探测器	镜筒内次电子、背散射电镜、舱室内次电子共*个独立探测器	*
*	电脑和显示器	惠普电脑，内存，* 位系统，专业显卡，键盘，鼠标及用户界面，” 显示器, * *****，硬盘，带***接口，带网卡接口	*
*	等离子清洗器	集成式	*
**	单支气体注入，**	集成式	*
**	*次电子探测器	集成式	*
**	全无油真空系统	集成式	*
**	样品室内彩色***相机	集成式	*
**	空压机	集成式	*
**	导电胶	双面碳导电胶带、银导电胶	*
**	防静电桌椅	集成式	*

*、设备验收

*.*设备的验收包括在卖方工厂进行的初步验收（根据实际情况确认，在卖方工厂预验收）、在买方工厂进行的初验收、以及设备的最终验收。

*.*设备初步验收:设备安装调试完成后,并进行试运行，可进行卖方指定检测样品检测，在卖方工厂进行初步验收。

*.*初步验收内容包括：设备主体结构、配置验收，设备附件等的验收、设备部件型号选配备件、设备的安全性、设备精度、设备基础管理的验收。

序号	要求和验收标准	验收结果	验收方式	验收人
*	电子枪类型
*	加速电压
*	离子源种类
*	探测器
*	电子枪真空度
*	冷却水系统
*	主机控制系统
*	能量分辨率
*	元素分析范围
**	减震台

*、其它约定事项

*.*提供相关测试设备及其附件的操作、维护及精度检查说明书。

*.*乙方负责对甲方设备使用人员进行免费培训，讲解设备正确使用方法、故障排除方法、

及保养维护等事项。

*.*设备保修期：最终验收合格后*年。正常使用产生的各种损坏由乙方负责免费维修。

*.*甲方通知后，乙方售后服务人员应在**小时内到达现场。

*.*乙方负责对保修期过后的设备各种故障进行有偿的终身维修。

*.*最终验收服务时间：*人**天，费用由卖方承担。

*.*最终到货地、收货人：买方指定工厂

*.*设备到厂后，买方通知厂家来厂进行安装调试，厂家在接到买方安装调试通知后在*天

内到达买方工厂，不得以任何理由拖延。

*.*设备保修期：最终验收合格后*年。

*.**未尽设备技术事宜，双方协商解决，但必须以书面方式确认。

*.**本技术附件*式*份；买卖方各持*份，合同生效之日起与合同具有同等法律效力。

买方:卖方:

代表:代表:

日期:日期:

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