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集成电路制造物理气相沉积
教学模拟系统
**-********-***_甲方：
****职业技术大学_杭州朗迅
深科技股份有限公司
货物合同
合同编号：**-**********
项目名称：****职业技术大学集成电路制造物理气相沉积教学模拟系
统项目
甲方（采购人）：****职业技术大学
乙方（供应商）：****
****职业技术大学
第*页共**页
*****************************
货物合网
甲方（采购人）：****职业技术大学
乙方（供应商）：****
依据****年**月**日****职业技术大学****职业技术大学集成电路制造物理气相
沉积教学模拟系统项目（项目编号：***************）的招标（采购）结果，甲、乙双方在招
标文件和投标文件基础上，经友好协商，同意签订本合同。乙方投标文件已明确而本合同未约定
的内容，以投标文件为准：本合同约定的内容与投标文件不*致的，以本合同为准。
第*条货物清单：****职业技术大学集成电路制造物理气相沉积教学模拟系统项目
| 产品名称 |
品牌 |
型号 |
制造商 |
|
数量 |
单价（元） |
总价（元） |
| ***工艺模拟器硬件设备系统 |
朗迅科技 |
定制 |
**** |
套 |
* |
******.** |
******.** |
| ***设备运行维护实训系统 |
朗迅 |
定制 |
**** |
套 |
|
******.** |
******.** |
| ***工艺模拟器教学实训系统 |
朗迅科技 |
定制 |
**** |
套 |
* |
******.** |
******.** |
| 合同总价 |
￥（大写）：********元整 |
￥（大写）：********元整 |
￥（大写）：********元整 |
￥（大写）：********元整 |
￥（大写）：********元整 |
￥（小写）*******.** |
￥（小写）*******.** |
第*条质量及知识产权要求
（*）乙方提供完好、全新的原包装产品（包括*配件），随机技术资料齐全。产品符合国
家质量检测标准，必须具有生产日期、厂名、厂址、产品合格证等。
（*）乙方提供的产品不得侵害第*人的知识产权，否则，乙方应赔偿甲方因此遭受的*切
损失（包括但不限于赔偿金、违约金、律师费、调查取证费、差旅费等）。
第*条交货地点
****市南山区西丽湖****职业技术大学（校内具体地点由甲方指定）。
第*条交货期限
第*页共**页
合同签订后**个日历日内交货，产品的附件、备品备件及专用工具、技术文件和资料
等应随产品*同交付。
第*条运输及包装方式的要求
乙方负责产品正式验收合格前的*切费用（包括运输、包装、仓储、安装、保险等费用）。
包装方式按照原厂出厂原标准，乙方承担由于其包装或其防护措施不妥而引起货物锈蚀、损
坏和丢失等任何损失，并按照本合同第**条承担因此而发生的违约责任。
第*条安装、调试、验收及相关技术文件、资料
乙方将产品运输并卸至甲方指定地点，甲方将会同乙方及相关单位在到货后**个日历日
内共同进行开箱检验。
乙方负责免费安装、调试。安装、调试完成后，由甲方组织技术验收和商务验收，乙方做好
协助配合。验收合格后签署《验收报告》。产品质量和安装调试检验标准遵照国家相关规定和
最新标准执行。
验收中如发现有质量不合格或型号规格、数量等与合同货物清单不符、提交的技术文件和资
料不完整等情形，乙方应免费更换或补齐，并按照本合同第**条承担因此发生的违约责任。
乙方应向甲方提供但不限于如下技术文件和资料：
*.产品安装、操作和维修保养手册：
*.产品使用说明书：
*.产品出厂检验合格证
*.产品到货清单；
*.产品保修证明。
*．特种设备，有毒、有害、危险物品或特殊货物的生产许可证明，质量检测合格证明，销
售、运输许可证明等材料
第*条技术培训
乙方提供详细技术资料并免费对甲方*
*人进行*天技术培训
培训的内容及方案应由双方协商制定。乙方前来进行技术培训的人员的费用包括在合同总价
第*条售后服务
产品全部验收合格后（以技术验收合格签字为标准），乙方向甲方免费提供*年上门保
修服务、*年以上免费升级服务（免费升级服务适用于软件产品），质保期为*年。
质保期内，如因质量问题而引起产品损坏，乙方应对产品予以维修或更换，全部服务费和更
换产品或*配件的费用由乙方承担：乙方如不能修理或不能调换，按产品原价赔偿处理。
质保期内，乙方将向甲方提供优质的售后技术支持服务，开通**小时热线电话接受甲方
的电话技术咨询如故障不能排除，乙方应在**小时内提供现场服务，待产品运行正常后撤
离现场。
保修期内，乙方应定期对产品进行免费维护保养，维修或更换*配件。保修期满后，乙方必
须继续支持维修，并按成本价标准收取维修及*件费用。在整个产品运行过程中，乙方帮助甲方
解决在应用过程中遇到的各种技术问题。
第*条履约保证金（有，无口，勾选）
第*页共**页
自合同签订后_**个工作日内，乙方应按照采购文件约定向甲方支付本项目履约保证金
******元（大写：********元整，以履约保函的形式支付）。如乙方未能履行合同约
定的义务，甲方有权就其所遭受的损失与履约保证金作相应抵扣若乙方履行义务符合合同约定，
甲方将履药保证金无息退还乙方
第*条付款方式和时间安排
验收合格后，乙方提供全额含税发票及相关资料给甲方，甲方按要求进行审核，审批通过后
支付相应款项。
第**条违约责任
合同生效后，乙方逾期交付产品，应向甲方每日支付合同总价*分之*的违约金。验收合格
后，甲方逾期付款，应向乙方每日支付合同总价*分之*的违约金。
乙方所交付的产品品牌、型号、规格、质量不符合同规定标准的，甲方有权拒绝收货。乙方
不能交货或不能依约提供技术服务或单方终止合同，甲方可主张乙方向甲方支付不超过合同总价
*分之**的违约金并承担相应的违约责任。
乙方交付的产品存在甲方验收人员在验收时无法肉眼现场发现的质量问题，包括但不限于产
品技术质量问题、使用后才能发现的问题、专业仪器检测才能发现的问题、假冒产品经原厂或专
业部门检测后发现的问题等，甲方有权在质保期内向乙方主张退货或换货，并可主张乙方向甲方
支付不超过合同总价*分之**的违约金并承担相应的违约责任。
第**条不可抗力
签约双方任*方由于受到不可抗力的影响而不能执行合同时，应在不可抗力事件发生后尽快
用电报、传真或电传通知另*方，并于事件发生后**个日历日内将有关当局出具的证明文件用
特快专递寄给另*方审阅确认。履行合同的期限相应予以延长，其延长的期限相当于事件所影响
的时间。
不可抗力事件系指买卖双方在缔结合同时所不能预见的，并且它的发生及其后果是无法避免
和无法克服的事件，诸如战争、严重火灾、洪水、台风、癌疫、地震等。
第**条合同解除
下列情形之*的，当事人可以解除合同
（*）因不可抗力致使不能实现台同目的
（*）由于乙方的原因未能在本合同约定的交货期或工期交货或移交的，逾期超过**个
日历日仍不能交货或移交的，或乙方所交付的产品品牌、型号、规格、质量不符合同规定标准的，
并经过**个日历日整改仍不达标的，甲方有权单方解除合同并要求乙方承担相应的违约责任，
同时赔偿由此给甲方造成的其他经济损失。
（*）法律规定的其他情形。
第**条争议的解决
凡因本合同引起的或与本合同有关的任何争议，由双方友好协商解决。协商不成时，双方均
有权向****市南山区人民法院提起诉讼。
第**条
合同系甲乙双方协商的结果，本合同未尽事宜，双方可另行补充。本合同*式*份，双方
第*页共**页
签字并盖章之日起生效，具有同等法律效力。
甲方：****职业技术大学（盖章
地址：****省****市西丽湖****职技术
邮编：******
办公室电话：
福
办公室传真：
开户银行：平安银行****西丽支行
银行账号：*************
****
***********
甲方代表签字：手机号码：
签约时间：****年**月**日
乙方：****（盖章）
地址：杭州市滨江区*和路***号*幢
（南）*楼*****室
邮编：
办公室电话：
办公室传真
**
银行账号：**************
手机号码：**
乙方代表签字：*
签约时间：****年**月**日
签约地址：****
技术参数（与投标文件※※---※※页技术偏离表相*致，正偏离要体现出来）
乙方：（盖章）
第*页共**页
附件*：
| 序号 |
货物名称 |
技术参数 |
|
*.*系统规格需求：*.***工艺模拟器硬件设备应采用专用机柜，外观高仿通用溅射系统，机柜整体尺寸（长×宽×高单位**）为***×***×***或者*******×***，设备总重量*吨。*.***工艺模拟器硬件设备的电力供应系统，需配置*相电：******，****，*相*线制，*相输入总功率约****，至少有*个****极插座（供电回路具有过载保护措施），*火**，或者有*个****相空气开关。至少有*个***空气开关或插座。配线结构需要支持（*）火线+（*）*线+（*）地线，电源模块需要有漏电和带电保护装置，工作温度-*℃~+**℃。*.***工艺模拟器硬件设备的专用机柜需要配置工作指示灯，用于指示实训系统的工作状态，指示灯支持红黄蓝***，工作电压***，亮度不低于*****/*。*.***工艺模拟器硬件设备的操作显示面板，操作屏不低于**寸，分辩率不低于*********。*.***工艺模拟器硬件设备的控制系统需包括*台内置工控机，提供工控设备的管理维护与运行支持，该工控机需要有支持运行内存不低于***，提供存储空间不低于**。*.***全艺模拟器硬件设备的模拟真空室尺寸（长×宽×高单位**）***********或者***********。*.***工艺模拟器的进料系统（********/********），进料系统（********/********）可以容纳*寸的基片，进料机构应包括机械臂以确保基片的准确定位和平稳进料。*.***工艺模拟器具有完备的自锁、互锁保护系统，并对关键部件有完备的故障报警及报警动作保护措施，确保设备使用安全。 |
| * |
***工艺模拟器硬件设备系统 |
*.*系统定位：***工艺模拟器硬件设备系统，对标集成电路高端制造工艺通用溅射系统，包括真实机柜，操作显示面板，进料系统，模拟真空室，真空泵系统，模拟冷却系统，电力供应系统，控制系统。 |
| * |
***工艺模拟器硬件设备系统 |
*.*系统功能*.提供真实的机柜结构真实展示出设备的外观与结构，用于安装和组装***工艺模拟器的各个组件和系统，是设备维修和教学展示的载体。*.提供进料系统，用于安全且有效地引入基片到模拟器内部。可以包括进料机构、传送带或机械臂等，以确保基片的准确定位和平稳进料*.模拟真空室，还原晶圆的真空室内部结构，展示真实的***工艺过程；*.提供物理真空泵系统和冷却管路与控制系统，展示工艺中的器件模块之间的构造与运行原理。*.系统开机后界面应该显示“设备自检”界面，正常启动后，显示系统状态，真空控制，手工工艺，自动工艺，工艺曲线以及报警记录等界面支持在各个菜单之间进行自由切换。*.在真空控制界面下，支持对各级真空系统的控制操作，包括可控制机械泵与分子泵并，显示舱内气压。 |
|
|
*.*工业级模块配置*.智能温控系统模拟器内部安装有温、湿度探测装置，能够监测机柜内部环境温度和湿度，并将监测到的温度和湿度值实时显示在模拟器主控屏幕上，同时也可以通过模拟器器后台管理页面查看。*.模拟器设备舱内设置温湿度传感器，支持机柜内实时温湿度情况，为维护保养模拟器提供数据支持。*.当模拟器内温度高出正常值时机柜自动启动风扇进行排热，实现对抽真空泵和工控主机进行物理降温。*.温度、湿度越界向监控中心发出警告报警。*.温度越界自动启动散热单元或加热单元工作。*.智能照明系统：模拟器内部安装多路***照明模块。照明模块可根据柜门开启，柜内光线较暗时开启，方便操作和维护模拟器柜内设备。*.智能用电检测模拟器内部内嵌机柜供电检测状况，并实时显示电流和电压值。用电出现异常，机柜将自动进行显示与判断，电源异常将作为告警信息被采集。 |
| * |
***设备运行维护实训系统 |
*.*系统定位：***设备运行维护实训系统，模拟通用溅射系统，利用真实机箱，真实操作显示面板，围绕集成电路制造的***气相金属沉积工艺流程，并利用语音、图片、动画、视频、裸眼**等高新技术，以虚实结合的交互形式，展示晶圆在集成电路制造***薄膜环节的加工工艺流程、制造方法、生产设备操作过程。实训系统支持系统故障注入与排查，可以提高学生对***工艺模拟器系统的理解，并培养故障排除和维修能力，以准备处理实际生产环境中可能出现的问题，同时实训系统支持在知识点的学习过程中对整体学习效果进行考核与测评。 |
| * |
***设备运行维护实训系统 |
*.*系统规格需求：*.***运行维护实训系统需要在实物的基础上增加裸眼**展示设备，设备内嵌于实训系统的专用机柜中，设备的有效视场角水平和垂直范围不小于**度。*.***运行维护实训系统需要在实物的基础上增加壁挂式工艺教学展示屏幕，教学展示屏应不小于**寸，分辨率不低于*********，该屏幕用于教学展示并提供实训系统的配置操作。*.***运行维护实训系统需要包含真空泵和物理或者模拟的用于控制的温度，气压，流速传感器，真空泵和传感器的参数可以在实训操作屏进行控制，读取和展示，真空泵的抽气速度不低于**/*，极限压力不低于*.****。*.***运行维护实训系统需要包含模拟冷却系统，应包括冷却管路，传感器和控制电磁阀的物理设备。 |
| * |
***设备运行维护实训系统 |
*.*系统功能*.★提供裸眼**技术，以虚实结合的方式直接展示工艺中各环节的细节，能够展示气相沉积的原理与过程； |
第*页共**页
|
*.愉性气体模拟管路，支持通过物理按钮或者操作屏幕对设备的气压和气流速度调整。*.冷却系统可以通过程序控制方式引入故障，以便让学生了解和学习如何处理不同类型的故障，支持故障类型包括泵故障、冷却介质流量异常、温度控制失效等。*.提供不少于**套操作及维护实训项目，供教学老师在后台选择发放，并配有合理可编辑的权重计分系统。部分操作与维护实训项目列表如下：*.*.真空泵故障注入与排查实训*.*.温度传感器校准与故障排除实训*.*.气压控制系统维护与调试实训*.*.流速传感器故障排查与修复实训*.*.冷却系统管路检修与维护实训*.*.电磁阀故障注入与排查实训*.*.温度控制系统故障模拟与应急排除实训*.*.真空泵密封件更换与维护实训*.*.传感器信号读取与分析实训*.**.冷却液循环系统故障注入与排查实训*.**.电磁阀控制电路故障排查与维修实训*.**.***工艺模拟器系统软件更新与故障恢复实训*.**.鞭材更换与装载实训*.**膜层厚度测量与控制实训*.**.阱式靴材回收与再利用实训***.样品处理与清洗操作实训 |
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*.*级真空泵控制系统，*级真实真空泵，支持管路连接和管路故障物理触发和软件故障注入模拟。*级模拟真空泵，支持软件故障注入模拟，支持故障包括泵动力失效、气密性降低、漏气、泄露。 |
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*.*传感器与电路*.****工业控制系统，实时采集多路物理和模拟传感器的参数结果，实现对设备的高速控制，并实现*级真空泵的参数模拟与仿真，****主芯片应该提供不低于**，***个逻辑单元，支持至少支持******时钟频率，设接口支持****、***、以太网、***、****。*.真空泵控制电路，采用***闭环控制，用于控制*级真空泵中的*级物理真空泵的启停与运转，实现对抽真空状态的准确模拟。 |
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*.工业控制系统应包括物理温度传感器和模拟温度传感器，分别用于采集实时的工作环境温度和用于仿真各种不同工艺下的温度条件，为实时工艺仿真算法系统提供环境参数支持，模拟温度传感器支持编程控制可以仿真温度范围-**~***°℃ |
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*.★工业控制系统应包括物理气压传感器和模拟气压传感器，分别用于采集实时*级真空泵的真空系统内部的压力和用于仿真*级真空系统的模拟压力和气体密度参数，为实时工艺仿真算法系统提供环境参数支持。 |
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*.★工业控制系统应包模拟可编程流速计，用于模拟气体的流速测量，并可以通过编程方式支持参数的动态设置，支持速度控制*.***/*~***/**.△工业控制系统可以模拟舱内气压传感系统，并通过操作屏幕显示舱内气压变化，并能模拟舱内气压随工艺阶段、腔内温度和抽真空时间的变化 |
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*.*系统规格*.★教学实训系统需要包括机载系统和远程系统*个单元。机载系统可以支持直接操作，提供教学展示，可以支持实训系统的配置操作，远程系统需要提供和机载设备操作区*致的仿真环境，并能够支持基于*/*架构的***应用程序，可以实现远程访问和课堂教学展示的支持。 |
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*.教学实训系统需要包括仿真模拟软件系统，用于实时仿真工艺流程，展示***设备的工作原理和过程。 |
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*.★教学实训系统需要包括仿视觉仿真控制系统，支持裸眼**宣染技术虚实结合展示仿真结果。 |
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*.教学实训系统需要支持真空管路控制系统的模拟与仿真，支持真空泵等硬件设备管理与操作，实现抽真空仿真，模拟性气体的流动管路，包括气压和气流速度的调整模拟。 |
| * |
***工艺模拟器教学实训系统 |
*.*系统定位作为该模拟器的教学系统，主要负责向学生展示***设备的操作和维护流程及工作原理，并依托硬件系统提供的基础能力，实现设备操作，工艺仿真和故障实时注入等功能，并利用**和视觉效果精确展示设备维护所需的细节与原理，让学生如同操作真实的设备，并能够看到真实设备无法展示的设备细节，提升教学效果。教师可以通过设备的教学管理后台，选择教学内容和实训项目，用于指导学生结合理论推导报错原因，从实践中掌握技能。 |
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*.教学实训系统需要包括工艺仿真模拟系统，该系统可以仿真工艺参数调整对***薄膜形成的过程影响。并能够支持注入**模拟软件的故障模拟参数*.教学实训系统需要支持***工艺流程生产车间的仿真，主设备以及配套设备的仿真，需要包括教学知识点和相关的技术视频。 |
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*.△教学实训系统需要支持***上下游相关工艺的仿真与介绍，帮助学生系统了解集成电路制造工艺的全流程知识，加深对***过程在全流程中作用的认知。 |
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*.教学实训系统需要支持教学管理后台支持教学内容和实训项目的选择，学生管理，教学管理，能够支持实训定制，并对实训结果进行自动评分，同时支持班级维度的分数的统计与记录。 |
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*.*教学模块*.支持***产品设计工程师教学培养*.提供根据***工艺设计活页式讲义，***等授课资源内容；*．提供***工艺的交互学习动画，能直观的展现***工艺多层镀膜原理的动画资源；*.提供多种行业里***工艺的学习视频资源，包括真空蒸镀，直流***，磁控溅射***，离子化***等：*）镀前处理工艺规范/视频介绍*）装炉，鞭材金属安装，调试规范/视频介绍*）抽真空工艺规范/视频介绍*.*仿真工艺参数*.工艺模式：可模拟至少*种***工艺模式，真空蒸镀，直流***，磁控溅射***，离子化***。 |
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*.仿真形式：提供裸眼**技术，以虚实结合的方式直接展示工艺中各环节的细节展示，并能够展示气相沉积的原理与过程； |
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*）离子溅射工艺规范/视频介绍*）镀料预融工艺规范/视频介绍*）蒸发沉积工艺规范/视频介绍*）冷却出炉工艺规范/视频介绍*）后处理清洗规范/视频介绍*提供根据知识技能点设计开发了多样的考核方式，支持教学巩固考核的资源：*提供实验过程数据采集和数据分析处理工具，支持学生学习工艺优化和参数设计的案例。 |
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*.温度模拟调节控制：室温～***°*提供温度对***真空蒸镀蒸发源材料的蒸发速度、沉积膜的晶粒大小和取向、沉积速率等方面的影响模拟。*.真空压力调节控制提供抽真空对气相沉积沉积速率，薄膜均匀性，薄膜表面光滑程度影响的模拟*.进气管压力调节控制：提供进气压力对沉积速率，薄膜均匀性，薄膜表面光滑程度影响的模拟。*.溅射：直径为*-**英寸（**-***毫米），厚度为*.***-*英寸（*.***-**.*毫米）溅射靴材质：支持金属**、**、**、**、**、化合物：******、****、***等工艺加工工艺的模拟。*基台冷却：需要支持冷却介质水冷方式，冷却水流量支持*-**/***模拟调节。*.基距***需要支持*-****可调节**.鞭材和基台角度需要支持*-**度可调节**.基片转速需要支持**-***转可调节 |
| 其他要求 |
其他要求 |
提供具有研发能力的工程师负责模拟***设备的操作与维护实训项目的升级工作。 |
第**页共**页
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