第*章技术要求
*、货物需求*览表
包号 |
品目号 |
货物名称 |
数量 |
简要说明 |
是否允许采购进口产品 |
采购预算 |
* |
* |
碳基氧化膜***设备 |
*台设备 |
*.*具备*英寸全自动加工能力;*.*具备全自动处理功能,晶圆干进干出;*.*具备化学机械研磨抛光模块、晶圆清洗系统模块、****模块、******模块*.* 具备人机界面的多分布式系统控制;*.* 具备研磨和清洗*部分模块,*个模块之间完全自动化;*.*具备终点检测能力(选配);*.*至少具备*个上下料平台,可按照上料先后进行加工*.*具备研磨头分区精密控制研磨压力的能力;*.*具备*个及以上研磨抛光平台,支持多步复杂抛光工艺*.**能在操作界面显示晶圆每*片的具体位置;*.**具备全自动加工模式,能够实现全自动传片及全自动进行工艺流程作业,*.**具有各种报警功能,进行报警提醒;*.**需要支持半导体设备标准通讯****/***协议。 |
否 |
*****元 |
|
* |
碳****属***设备 |
*台设备 |
*.*具备*英寸全自动加工能力;*.*具备全自动处理功能,晶圆干进干出;*.*具备化学机械研磨抛光模块、晶圆清洗系统模块、****模块、******模块*.* 具备人机界面的多分布式系统控制;*.* 具备研磨和清洗*部分模块,*个模块之间完全自动化;*.*具备终点检测能力(选配);*.*至少具备*个上下料平台,可按照上料先后进行加工*.*具备研磨头分区精密控制研磨压力的能力;*.*具备*个及以上研磨抛光平台,支持多步复杂抛光工艺*.**能在操作界面显示晶圆每*片的具体位置;*.**具备全自动加工模式,能够实现全自动传片及全自动进行工艺流程作业,*.**具有各种报警功能,进行报警提醒;*.**需要支持半导体设备标准通讯****/***协议。 |
否 |
*****元 |
*.主要技术指标(需实现的功能或者目标、需满足的质量、安全、技术规格、物理特性等)
第*包
品目*碳基氧化膜***设备
*.设备功能及用途
*.设备主要功能
化学机械研磨***(***************************)是利用旋转的抛光头以*定的压力将*****压在旋转的抛光垫上,通过化学去膜和机械去膜的交替过程中实现全局平坦化,是集成电路制造中的常用工艺。利用***设备可以实现**器件全局平坦化,实现更小的设计图形,更多层的金属互连,提高电路的可靠性、速度和良品率。
*.设备名称、型号、规格及数量
*.*.设备名称:********
*.*.设备状态:全新,国产化
*.*.设备数量:*台
*.*.总体配置:
*.机台具备*英寸*****晶圆全自动加工处理的能力,晶圆干进干出;
*.主设备满足*相****或*相****,附属设备满足单相****的供电要求;
*.具备化学机械研磨抛光模块、晶圆清洗系统模块、****模块、******模块,模块之间完全自动化,且****&***;晶圆清洗系统模块应包含配套的*****参数调试工具(************或**);
*.具备人机界面的多分布式系统控制;
*.********模块具备******&***;***************;
*.*******需支持***************-*******,其他******需支持**************;
*.*********&***;研磨头具备≥*****分区精密控制研磨压力的能力,且交付研磨头的每个****的测漏压力应≤*.*****,其中研磨头数量至少为***(满足用*备*原则);
*.各研磨头应具备晶圆*******侦测传感器;
*.***************具备************&***;************,且具备******&***;***************;
**.具备关键制程和硬件数据实时分析系统;
**.具备*台**显示器,且至少包含*台显示器小推车;
**.具备至少*个*****************,可按照上料先后进行加工;
**.具有****-****式的圆片传送识别装置;
**.********************支持********************(***),*****************及*************;
**.具备***********************&***;************;
**.*******应具备*******;
**.********应支持****************************;
**.支持************************(**)****:**~******/***,************************(氨水)****:**~*****/***;
**.主设备应包含*********;
**.具备终点检测能力(选配);
**.支持标准的****/***通讯协议,并支持与***连接;
**.设备控制电脑(或******)支持双硬盘备份(支持***读写功能),操作记录、工艺记录、报警记录等存储时长≥*个月;
**.研磨头测漏仪器(**********,研磨头倒装台式)*套(可支持*-****或*-****);
**.工作区域配置高清录像监控功能(至少涵盖*******、********、****区域),存储时长不少于**天;
**.中国大*装机量&**;**台;
**.配备全套研磨液自动供液系统**套,(满足*供*原则),相关单元及配置如下表:
序号 |
项目 |
描述 |
* |
设备主体 |
*.** |
设备主体结构 |
框架式设计,******骨架包覆**/***板材 |
*.** |
分隔式设计 |
设备分为*个部分组成:*.原液桶单元(双****原液供给)*.混液及供液单元 |
*.** |
设备尺寸: |
*.原液桶单元:趋近于*******************,误差≤*****.混液及供液单元:趋近于******************* |
*.** |
可拆卸式门窗设计 |
设备部份门窗均为可拆卸设计,缩小维修空间,进*步缩小占用无尘室空间 |
*.** |
管道桶槽区透明***门窗设计 |
设备的管道桶槽区采用透明***门窗设计,无需开启门窗则可了解内部设备运行状况,安全可靠。 |
* |
原液单元设计 |
*.** |
原液桶规格 |
*************(兼容***),每套设备需配*个桶盖接头和*个原液桶桶盖开启器及原液桶运输推车(含固定装置) |
*.** |
原液输送形式 |
可参考风囊泵-圣戈班-***/***,其他等同能力原液供应泵且使用寿命更长久的泵更佳;注意:若提供非风囊泵-圣戈班-***/***(***泵),须提供*** 同型原液供应泵(用*备*) |
*.** |
原液判空功能 |
***** ******在线判空功能 |
*.** |
原液桶滚轮功能 |
具备滚轮 |
*.** |
原液桶循环功能 |
****循环(循环间隔时间可设定) |
*.** |
原液桶*****搅拌功能 |
应支持 |
* |
混料单元设计 |
*.** |
混料方式 |
称重(配液完毕后,称重回*及时,不应有延迟报警)称重单元配备校准件或提供可校准方法,定期校准。应支持循环泵混料。 |
*.** |
混料桶规格 |
标定******** |
*.** |
混料精度 |
+/-*%以内,混料量可设置(最大每次可混***) |
*.** |
混料速度 |
≦*.*升每分钟 |
* |
供应桶设计 |
*.** |
供应桶规格,材质 |
标定********;最大可对应*台***,单台***的研磨液使用时流量≥**** ****,每个供应点压力大于***** |
*.** |
循环功能 |
设备主管道循环功能;供应桶内循环管路需足够长,避免桶壁反溅结晶。 |
*.** |
液位侦测 |
**** ****实时液位侦测 |
*.** |
密封设计 |
密封设计(顶部预留可视观察口) |
*.** |
搅拌功能 |
附搅拌功能,搅拌速度可设定(变频控制);搅拌桨足够长,需起到充分搅拌效果。 |
*.** |
输出流量在线检测功能 |
基恩士非接触式流量计 |
*.** |
输出压力在线检测功能 |
有该功能 |
*.** |
研磨液调和槽保湿功能 |
保证调和槽内湿度大于**%,每小时水滴下量小于***,具备可调节湿度和进气量大小功能 |
* |
辅助功能 |
*.** |
和主机台主要参数信号联运功能 |
有该功能 |
*.** |
****需求 |
需要****配比功能,且根据工艺配比,可自由设定****比例,监测****浓度配比情况。 |
*.** |
防倾倒装置 |
支持 |
* |
供应管道设计 |
*.** |
管道材质 |
外管:透明****,内管*** |
*.** |
供应压力 |
在线** ******检测 |
*.** |
供应泵 |
可参考********** ******(***/***)电磁悬浮泵,其他等同能力电磁悬浮泵且使用寿命更长久的泵更佳;注意:须满足跨楼层**米垂直高度供应要求(供应压力≥*****,流量≥**** ****且****** ***单路输出误差<****),若提供非********** ******(***/***)电磁悬浮泵,须提供*** 同型电磁悬浮供应泵(用*备*) |
*.** |
供应***点数 |
******** |
*.** |
******设计 |
*.***端安装****** ***;*.****** 前后要装手动阀及压力表;*.可兼容囊氏过滤器(过滤器由敏声科技提供);*.******与***主设备相连管路做*路扩管(该部分需加装*次过滤,过滤器由甲方提供); |
* |
系统侦测及报警(设备报警信息应及时联通到中控室) |
*.** |
系统泄漏侦测 |
静电容式漏液侦测器,可选联锁停机或不联锁停机 |
*.** |
系统***紧急停止设计 |
危险状况可以第*时间停止设备运行 |
*.** |
排气风压低报警设计 |
当系统排气过低时报警,可选择联锁停机或不联锁停机 |
*.** |
***,**压力低预警 |
当***,**压力低时,系统预警,防止宕机 |
*.** |
控制区火警侦测 |
当控制区域元器件损坏或燃烧,系统可侦测并报警 |
*.** |
供应压力低预警 |
到侦测到供应压力低时,系统预警,通知操作人员检查现场 |
*.** |
配料错误报警 |
检测到进料比例不对时,系统报警,并可选择继续混料还是重新混料 |
*.** |
液位感应侦测 |
自动配液过程中,液位感应器侦测灵敏,功能完好 |
*.设备资料
*)*套纸质技术资料(涉及************,**********,*****************,**************************,****/*********,*************************等全套手册);
*)*套光盘技术资料(涉及************,**********,*****************,**************************,****/*********,*************************等全套手册);
*)设备配件清单及货号(原厂料号、描述及规格);
*.随机工具:
*)*****专用***校正工具*套
*)*****专用扭力套筒扳手*套(拆卸*****用)
*)*****专用扭力内*角螺丝刀套件*套(扭力单位为**/***)
*)*****专用***********校准工具*套
*)*****专用***平整器*个
*)*****专用**********************&***;**************各*套
*)*****专用***********(双向,精度*.****)*套(***)
备注:*台***设备中配送*套涵盖以上*项工具即可。
*.交期及质保
*)自合同签订后的*个月内完成设备交货,设备装机与调试不超过**个工作日;(如有装机计划,可同步反馈)
*)保修期自设备安装调试验收合格之日起算≥**个月。在保修期内所有备件损坏或不能正常使用将由设备厂家更换新件,属耗材类*部件除外。
*)保修期内设备出现故障,如需原厂技术人员到厂服务,要求**小时内原厂安排人员携带相关*****或工具到厂维修。
*.设备技术指标
*.*************工艺技术要求
**. |
**** |
**** |
********* &***; ****** |
* |
******* ********* % ** (* *****) |
|
% ***-********** *** ******* *****). ************ ***:*** ****-****, **** ********* ****). **% = (***/****) × *** |
*-* |
***** *** **%***** *** ****-**** ***** |
≤*%&**;***** |
|
* |
******* **** |
|
|
*-**-* |
***** *** ******* ******** ** **** ** ***** |
*****-*****/***≤*% |
****** **** ****** ** ******&***;********* */* ********* ******* **********/********= (σ / ****) × *** |
* |
******** ******* |
|
******* ******** ********). *********** **** ********* * ***). ******** **** ≥ *.*㎛ *). **** *****: **** ******** *.*** **** *). *********: ***-****** **** |
*-* |
******* ******** (***** ****, ** ******,**** *** *****) |
≤ **** (*****) |
|
*-* |
******** **** (**** *** *****) |
&**;**** (*****) |
|
*-* |
******* |
** ******* |
|
* |
********* |
≤*.***/≤*** |
*** * ***/**** * **** |
* |
********** |
|
********** ******* **********/********= **** ****** ***** ******* **** ** *** **** ******'-. ********** ******* **** **** ******** ** ****** ******** *********** *** *****. |
*-* |
***** ***: ***** ****** *** |
≥ ** ***/** |
|
*.*************设备技术要求
**. |
设备性能 |
性能说明 |
* |
***** ********** ******** |
******** *** 位于机台顶部 |
* |
主电脑控制系统 |
********* |
* |
****** 流量控制 |
***流量控制 |
* |
********流量控制 |
***流量控制 |
* |
***** |
运行平稳无卡顿,带配套***** *******(或**) |
* |
晶圆尺寸 |
*”***** |
* |
****** |
≥**% |
* |
**** |
≥******** |
** |
**** |
≤* ***** |
** |
监控系统 |
机台运行时,重要参数实时反馈并具有报警功能功,包括********、******流量,****、******转速, **** 各****的压力、*** *********压力 等 |
*.设备验收方案
*.*.设备的开箱和硬件系统安装
********** ***** |
******* *** ******** |
****** |
****** |
包装箱 |
设备包装箱不能任何损坏 |
|
|
资料文件 |
应该包含以下文件: ****** ******, **** ******, *********** ******, ******** ************ ******, ****/*** ******, ********* ********** ******. |
|
|
备品备件 |
工具的配件齐全,不能出现短缺 |
|
|
机台到场 |
机台外观应保证完好,不能出现外观变形。机台部件不能出现锈蚀或损坏。 |
|
|
安装过程 |
安装过程都需要考虑设备安全性,不允许非法操作。 |
|
|
培训 |
培训工程师对设备进行工艺配方编辑,操作、校准和维护。 |
|
|
*.*.软件及自动化系统运行测试
********** ***** |
******* *** ******** |
****** |
****** |
****/*** |
**** *** *********: **, ***, ***等 |
|
|
********* ********** |
*** ****** *** **** ****** ********** ************ |
|
|
******** |
******** *** ***** *** *** ******** |
|
|
*.*.设备性能验收
*.化学机械研磨性能测试
目的:该测试是为了检查设备的工艺能力。
定义(********):使用*****.*********,********,测试*****后*.***以上********情况以及划伤情况。
**************(******):
**** |
**** |
****** |
****** |
******* ******** (***** ****, ** ******,**** *** *****) |
≤ **** |
|
|
******** **** (**** *** *****) |
&**;**** |
|
|
******* |
** ******* |
|
|
********* |
**<*.*** |
|
|
定义(**********):
使用*****.*********,********,分别测试***/************初期、中期、末期的************,根据**********以及***&***;*****%,确定设备工艺稳定性。
***************************:
**** |
**** |
****** |
****** |
****** **** |
根据实际******&***;******情况确认 |
|
|
*** **%((***/ ****) × ***) |
*% |
|
|
*** **% (*** ******,*** */* ********* ******* **********/********= (σ / ****) × ***) |
*% |
|
|
*.马拉松测试
目的:验证机械传动系统的稳定性。
定义:马拉松测试是为了确保机械传动系统在****片次循环中能够正常工作。
*****************:
**** |
**** |
****** |
****** |
******** |
&**;**** ****** ******* ***** |
|
|
*.*.设备厂家对我方技术人员进行设备结构、操作、维护、保养等方面的培训,培训时间不少于*周。
*.*.设备安装成功后,设备厂家负责设备的调试。要求各项性能达到“*、设备技术指标”中的规格,工艺指标的测试按照我方标准测试方法进行(详见验收方案);
*.**.达到性能指标后,考核运行*个月;
*.**.设备厂家制定验收报告,我方验收合格后完成签核。
*、指标重要性说明(投标商必须提供具体应答以及资料)
招标文件条目号 |
产品名称 |
招标规格 |
重要性说明 |
|
|
|
|
* |
总体配置 |
设备状态为全新设备 |
★ |
|
|
设备及所有附属件符合****安全标准 |
★ |
|
|
设备及所有附属件符合****洁净标准 |
★ |
|
|
设备满足我方*相****/****的供电要求,且需提供****** ****套 |
★ |
|
|
适用于*** ** *****晶圆(**,***.*****),****-****式的圆片传送识别装置 |
★ |
|
|
设备支持标准的****/***通讯协议,并支持与***连接 |
★ |
|
|
设备控制电脑(或******)支持双硬盘备份(支持***读写功能),操作记录、工艺记录、报警记录等存储时长≥*个月 |
★ |
|
|
适用***** 晶圆盒的****或****的自动传片系统 |
★ |
|
|
设备包括化学机械研磨抛光模块、晶圆清洗系统模块、****模块、******模块,模块之间完全自动化,晶圆干进干出 |
★ |
|
|
********模块具备* ***** &***; * ***** ********* |
★ |
|
|
具备更多****的装载能力,每多装载*个****(非备品备件,须同时装载在机台上),多加分。具体见评分表。 |
评分项,具体见评分表 |
|
|
*** ****** &***; 研磨头具备≥* ****分区精密控制研磨压力的能力,且交付研磨头的每个****的测漏压力应≤*.*****,其中研磨头数量至少为* **(满足用*备*原则) |
★ |
|
|
有工艺过程中的气体压力、纯水压力及流量、化学品流量、设备转速等参数实时监控功能 |
★ |
|
|
***全自动化量产机型,在大*出货量大于**台 |
★ |
|
|
设备自带上下料****/****** ****,每个****配备**** |
★ |
|
|
配置中应包含高清录像监控功能(至少涵盖*******、********、****区域),存储时长不少于**天 |
★ |
|
|
配置中应包含*套研磨液供应系统(详细配置及要求如标书中所述) |
★ |
|
|
配置中应包含**** ******及**辅助或校准工具(详细配置及要求如标书中所述) |
★ |
* |
设备资料 |
*套纸质的设备资料(涉及操作,维修,保养,备件清单,通讯,工艺技术手册) |
★ |
|
|
*套电子档设备资料(涉及操作,维修,保养,备件清单,通讯,工艺技术手册) |
|
* |
交期及质保 |
保修期自设备安装调试验收合格之日起算,为期**个月。在保修期内正常使用情况下所发生的设备*、部件更换及由此发生的全部费用将由设备厂家负担(耗材类费用除外) |
★ |
|
|
保修期内设备出现故障,如经我方评估需原厂技术人员到厂服务,要求**小时内原厂安排人员到厂 |
★ |
* |
设备硬件功能要求 |
马拉松传片测试:***** ******* 无***** |
评分项,具体见评分表 |
|
|
适用于***** ********* ***~***** |
★ |
|
|
软件操作系统流畅,运行正常,无卡顿,无频繁死机情况 |
★ |
|
|
********* ********* ****** (%; *******)≥**% |
★ |
|
|
**** **** ******* ******* (****)≥****** |
评分项,具体见评分表 |
|
|
**** **** ** ****** (****)≤**** |
评分项,具体见评分表 |
|
|
***** ********≤*/***** |
★ |
* |
工艺能力 |
***** *** **%((***/ ****) × ***)≤*%(** ***)***** *** ****-**** ***** &**;***** |
评分项,具体见评分表 |
|
|
***** *** ******* **** *****-*****/*** |
评分项,具体见评分表 |
|
|
**** ** **** ** *****≤*% |
评分项,具体见评分表 |
|
|
** ******* |
评分项,具体见评分表 |
|
|
*********:≤*.***/≤***(*** * ***/**** * ****) |
评分项,具体见评分表 |
|
|
***** ***: ***** ****** ***≥ ** ***/**,每多*片加*分,最多加*分 |
评分项,具体见评分表 |
|
|
******** **** (**** *** *****,>*.***)&**;**** (*****) |
评分项,具体见评分表 |
* |
技术方案完整性及合理性 |
投标人根据本项目需求及特性,提供设备平台技术方案之完整性,可行性,适用度及投标人技术能力体现:技术方案完整,可行性强,具有业界*流技术能力;(优)技术方案基本完整或适用度较高、可行性较强;(良好)技术方案简略或有漏项或可行性不高,业界无量产经验得;(较差) |
评分项,具体见评分表 |
* |
开箱及硬件安装要求 |
设备包装箱不能任何损坏,内附装箱清单 |
★ |
|
|
机台内包装完好,不能出现外观变形,破损的情况。机台部件不能出现锈蚀,损坏等情况 |
★ |
|
|
设备维修,保养,校准专用工具配置齐全 |
★ |
|
|
安装调试过程符合安全规范,不允许非法操作 |
★ |
|
|
设备到场后,设备厂家负责设备的硬件,工艺调试 |
★ |
* |
培训 |
设备厂家对我方技术人员进行设备结构、操作、维护、保养,工艺技术等方面的培训 |
★ |
|
|
培训时间不少于*周 |
★ |
* |
设备验收 |
各项性能达到“*、设备技术指标”中的规格,工艺指标的测试按照我方标准测试方法进行 |
★ |
|
|
设备调试各项指标达到要求后,需稳定运行*个月后进行验收 |
|
|
|
设备厂家制定调试验收报告,我方验收合格后完成签核 |
|
品目*碳****属***设备
*.设备功能及用途
*.设备主要功能
化学机械研磨***(***************************)是利用旋转的抛光头以*定的压力将*****压在旋转的抛光垫上,通过化学去膜和机械去膜的交替过程中实现全局平坦化,是集成电路制造中的常用工艺。利用***设备可以实现**器件全局平坦化,实现更小的设计图形,更多层的金属互连,提高电路的可靠性、速度和良品率。
*.设备名称、型号、规格及数量
*.*.设备名称:********
*.*.设备状态:全新,国产化
*.*.设备数量:*台
*.*.总体配置:
*.机台具备*英寸*****晶圆全自动加工处理的能力,晶圆干进干出;
*.主设备满足*相****或*相****,附属设备满足单相****的供电要求;
*.具备化学机械研磨抛光模块、晶圆清洗系统模块、****模块、******模块,模块之间完全自动化,且****&***;晶圆清洗系统模块应包含配套的*****参数调试工具(************或**);
*.具备人机界面的多分布式系统控制;
*.********模块具备******&***;***************;
*.*******需支持***************-*******,其他******需支持**************;
*.*********&***;研磨头具备≥*****分区精密控制研磨压力的能力,且交付研磨头的每个****的测漏压力应≤*.*****,其中研磨头数量至少为***(满足用*备*原则);
*.各研磨头应具备晶圆*******侦测传感器;
*.***************具备************&***;************,且具备******&***;***************;
**.具备关键制程和硬件数据实时分析系统;
**.具备*台**显示器,且至少包含*台显示器小推车;
**.具备至少*个*****************,可按照上料先后进行加工;
**.具有****-****式的圆片传送识别装置;
**.********************支持********************(***),*****************及*************;
**.具备***********************&***;************;
**.*******应具备*******;
**.********应支持****************************;
**.支持************************(**)****:**~******/***,************************(氨水)****:**~*****/***;
**.主设备应包含*********;
**.具备终点检测能力(选配);
**.支持标准的****/***通讯协议,并支持与***连接;
**.设备控制电脑(或******)支持双硬盘备份(支持***读写功能),操作记录、工艺记录、报警记录等存储时长≥*个月;
**.研磨头测漏仪器(**********,研磨头倒装台式)*套(可支持*-****或*-****);
**.工作区域配置高清录像监控功能(至少涵盖*******、********、****区域),存储时长不少于**天;
**.中国大*装机量&**;**台;
**.配备全套研磨液自动供液系统**套,(满足*供*原则),相关单元及配置如下表:
序号 |
项目 |
描述 |
* |
设备主体 |
*.** |
设备主体结构 |
框架式设计,******骨架包覆**/***板材 |
*.** |
分隔式设计 |
设备分为*个部分组成:*.原液桶单元(双****原液供给)*.混液及供液单元 |
*.** |
设备尺寸: |
*.原液桶单元:趋近于*******************,误差≤*****.混液及供液单元:趋近于******************* |
*.** |
可拆卸式门窗设计 |
设备部份门窗均为可拆卸设计,缩小维修空间,进*步缩小占用无尘室空间 |
*.** |
管道桶槽区透明***门窗设计 |
设备的管道桶槽区采用透明***门窗设计,无需开启门窗则可了解内部设备运行状况,安全可靠。 |
* |
原液单元设计 |
*.** |
原液桶规格 |
*************(兼容***),每套设备需配*个桶盖接头和*个原液桶桶盖开启器及原液桶运输推车(含固定装置) |
*.** |
原液输送形式 |
可参考风囊泵-圣戈班-***/***,其他等同能力原液供应泵且使用寿命更长久的泵更佳;注意:若提供非风囊泵-圣戈班-***/***(***泵),须提供*** 同型原液供应泵(用*备*) |
*.** |
原液判空功能 |
***** ******在线判空功能 |
*.** |
原液桶滚轮功能 |
具备滚轮 |
*.** |
原液桶循环功能 |
****循环(循环间隔时间可设定) |
*.** |
原液桶*****搅拌功能 |
应支持 |
* |
混料单元设计 |
*.** |
混料方式 |
称重(配液完毕后,称重回*及时,不应有延迟报警)称重单元配备校准件或提供可校准方法,定期校准。应支持循环泵混料。 |
*.** |
混料桶规格 |
标定******** |
*.** |
混料精度 |
+/-*%以内,混料量可设置(最大每次可混***) |
*.** |
混料速度 |
≦*.*升每分钟 |
* |
供应桶设计 |
*.** |
供应桶规格,材质 |
标定********;最大可对应*台***,单台***的研磨液使用时流量≥**** ****,每个供应点压力大于***** |
*.** |
循环功能 |
设备主管道循环功能;供应桶内循环管路需足够长,避免桶壁反溅结晶。 |
*.** |
液位侦测 |
**** ****实时液位侦测 |
*.** |
密封设计 |
密封设计(顶部预留可视观察口) |
*.** |
搅拌功能 |
附搅拌功能,搅拌速度可设定(变频控制);搅拌桨足够长,需起到充分搅拌效果。 |
*.** |
输出流量在线检测功能 |
基恩士非接触式流量计 |
*.** |
输出压力在线检测功能 |
有该功能 |
*.** |
研磨液调和槽保湿功能 |
保证调和槽内湿度大于**%,每小时水滴下量小于***,具备可调节湿度和进气量大小功能 |
* |
辅助功能 |
*.** |
和主机台主要参数信号联运功能 |
有该功能 |
*.** |
****需求 |
需要****配比功能,且根据工艺配比,可自由设定****比例,监测****浓度配比情况。 |
*.** |
防倾倒装置 |
支持 |
* |
供应管道设计 |
*.** |
管道材质 |
外管:透明****,内管*** |
*.** |
供应压力 |
在线** ******检测 |
*.** |
供应泵 |
可参考********** ******(***/***)电磁悬浮泵,其他等同能力电磁悬浮泵且使用寿命更长久的泵更佳;注意:须满足跨楼层**米垂直高度供应要求(供应压力≥*****,流量≥**** ****且****** ***单路输出误差<****),若提供非********** ******(***/***)电磁悬浮泵,须提供*** 同型电磁悬浮供应泵(用*备*) |
*.** |
供应***点数 |
******** |
*.** |
******设计 |
*.***端安装****** ***;*.****** 前后要装手动阀及压力表;*.可兼容囊氏过滤器(过滤器由敏声科技提供);*.******与***主设备相连管路做*路扩管(该部分需加装*次过滤,过滤器由甲方提供); |
* |
系统侦测及报警(设备报警信息应及时联通到中控室) |
*.** |
系统泄漏侦测 |
静电容式漏液侦测器,可选联锁停机或不联锁停机 |
*.** |
系统***紧急停止设计 |
危险状况可以第*时间停止设备运行 |
*.** |
排气风压低报警设计 |
当系统排气过低时报警,可选择联锁停机或不联锁停机 |
*.** |
***,**压力低预警 |
当***,**压力低时,系统预警,防止宕机 |
*.** |
控制区火警侦测 |
当控制区域元器件损坏或燃烧,系统可侦测并报警 |
*.** |
供应压力低预警 |
到侦测到供应压力低时,系统预警,通知操作人员检查现场 |
*.** |
配料错误报警 |
检测到进料比例不对时,系统报警,并可选择继续混料还是重新混料 |
*.** |
液位感应侦测 |
自动配液过程中,液位感应器侦测灵敏,功能完好 |
*.设备资料
*)*套纸质技术资料(涉及************,**********,*****************,**************************,****/*********,*************************等全套手册);
*)*套光盘技术资料(涉及************,**********,*****************,**************************,****/*********,*************************等全套手册);
*)设备配件清单及货号(原厂料号、描述及规格);
*.随机工具:
*)*****专用***校正工具*套
*)*****专用扭力套筒扳手*套(拆卸*****用)
*)*****专用扭力内*角螺丝刀套件*套(扭力单位为**/***)
*)*****专用***********校准工具*套
*)*****专用***平整器*个
*)*****专用**********************&***;**************各*套
*)*****专用***********(双向,精度*.****)*套(***)
备注:*台***设备中配送*套涵盖以上*项工具即可。
**.交期及质保
*)自合同签订后的*个月内完成设备交货,设备装机与调试不超过**个工作日;(如有装机计划,可同步反馈)
*)保修期自设备安装调试验收合格之日起算≥**个月。在保修期内所有备件损坏或不能正常使用将由设备厂家更换新件,属耗材类*部件除外。
*)保修期内设备出现故障,如需原厂技术人员到厂服务,要求**小时内原厂安排人员携带相关*****或工具到厂维修。
*.设备技术指标
*.*************工艺技术要求
**. |
**** |
**** |
********* &***; ****** |
* |
******* ********* % ** (* *****) |
|
% ***-********** *** ******* *****). ************ ***:*** ****-****, **** ********* ****). **% = (***/****) × *** |
*-* |
***** *** **%***** *** ****-**** ***** |
≤*%&**;***** |
|
* |
******* **** |
|
|
*-**-* |
***** *** ******* ****** *** ******* **** **** ** **** ** ***** |
*****-*****/******-*****/***≤*% |
****** **** ****** ** ******&***;********* */* ********* ******* **********/********= (σ / ****) × *** |
* |
******** ******* |
|
******* ******** ********). *********** **** ********* * ***). ******** **** ≥ *.*㎛ *). **** *****: **** ******** *.*** **** *). *********: ***-****** **** |
*-* |
******* ******** (***** ****, ** ******,**** *** *****) |
≤ **** (*****) |
|
*-* |
******** **** (**** *** *****) |
&**;**** (*****) |
|
*-* |
******* |
** ******* |
|
* |
********* |
≤*.***/≤*** |
*******/********* |
* |
********** |
|
********** ******* **********/********= **** ****** ***** ******* **** ** *** **** ******'-. ********** ******* **** **** ******** ** ****** ******** *********** *** *****. |
*-* |
***: ***** ****** *** |
≥ ** ***/** |
|
*.*************设备技术要求
**. |
设备性能 |
性能说明 |
* |
***** ********** ******** |
******** *** 位于机台顶部 |
* |
主电脑控制系统 |
********* |
* |
****** 流量控制 |
***流量控制 |
* |
********流量控制 |
***流量控制 |
* |
***** |
运行平稳无卡顿,带配套***** *******(或**) |
* |
晶圆尺寸 |
*”***** |
* |
****** |
≥**% |
* |
**** |
≥******** |
** |
**** |
≤* ***** |
** |
监控系统 |
机台运行时,重要参数实时反馈并具有报警功能功,包括********、******流量,****、******转速, **** 各****的压力、*** *********压力 等 |
*.设备验收方案
*.*.设备的开箱和硬件系统安装
********** ***** |
******* *** ******** |
****** |
****** |
包装箱 |
设备包装箱不能任何损坏 |
|
|
资料文件 |
应该包含以下文件: ****** ******, **** ******, *********** ******, ******** ************ ******, ****/*** ******, ********* ********** ******. |
|
|
备品备件 |
工具的配件齐全,不能出现短缺 |
|
|
机台到场 |
机台外观应保证完好,不能出现外观变形。机台部件不能出现锈蚀或损坏。 |
|
|
安装过程 |
安装过程都需要考虑设备安全性,不允许非法操作。 |
|
|
培训 |
培训工程师对设备进行工艺配方编辑,操作、校准和维护。 |
|
|
*.*.软件及自动化系统运行测试
********** ***** |
******* *** ******** |
****** |
****** |
****/*** |
**** *** *********: **, ***, ***等 |
|
|
********* ********** |
*** ****** *** **** ****** ********** ************ |
|
|
******** |
******** *** ***** *** *** ******** |
|
|
*.*.设备性能验收
*.化学机械研磨性能测试
目的:该测试是为了检查设备的工艺能力。
定义(********):使用*****.*********,********,测试*****后*.***以上********情况以及划伤情况。
**************(******):
**** |
**** |
****** |
****** |
******* ******** (***** ****, ** ******,**** *** *****) |
≤**** |
|
|
******** **** (**** *** *****) |
&**;**** |
|
|
******* |
** ******* |
|
|
********* |
**<*.*** |
|
|
定义(**********):使用*****.*********,********,分别测试***/************初期、中期、末期的************;******,分别测试***/************初期、中期、末期的***********;根据**********以及***&***;*****%,确定设备工艺稳定性。(说明:***&***;*****%主要通过测试************表征)
***************************:
**** |
**** |
****** |
****** |
****** **** |
根据实际******&***;******情况确认 |
|
|
*** **%((***/ ****) × ***) |
*% |
|
|
*** **% (*** ******,*** */* ********* ******* **********/********= (σ / ****) × ***) |
*% |
|
|
*.马拉松测试
目的:验证机械传动系统的稳定性。
定义:马拉松测试是为了确保机械传动系统在****片次循环中能够正常工作。
*****************:
**** |
**** |
****** |
****** |
******** |
&**;**** ****** ******* ***** |
|
|
*.*.设备厂家对我方技术人员进行设备结构、操作、维护、保养等方面的培训,培训时间不少于*周。
*.*.设备安装成功后,设备厂家负责设备的调试。要求各项性能达到“*、设备技术指标”中的规格,工艺指标的测试按照我方标准测试方法进行(详见验收方案);
*.**.达到性能指标后,考核运行*个月;
设备厂家制定验收报告,我方验收合格后完成签核。
*、指标重要性说明(投标商必须提供具体应答以及资料)
招标文件条目号 |
产品名称 |
招标规格 |
评标标准分值 |
|
|
|
|
* |
总体配置 |
设备状态为全新设备 |
★ |
|
|
设备及所有附属件符合****安全标准 |
★ |
|
|
设备及所有附属件符合****洁净标准 |
★ |
|
|
设备满足我方*相****/****的供电要求,且需提供****** ****套 |
★ |
|
|
适用于*** ** *****晶圆(**,***.*****),****-****式的圆片传送识别装置 |
★ |
|
|
设备支持标准的****/***通讯协议,并支持与***连接 |
★ |
|
|
设备控制电脑(或******)支持双硬盘备份(支持***读写功能),操作记录、工艺记录、报警记录等存储时长≥*个月 |
★ |
|
|
适用***** 晶圆盒的****或****的自动传片系统 |
★ |
|
|
设备包括化学机械研磨抛光模块、晶圆清洗系统模块、****模块、******模块,模块之间完全自动化,晶圆干进干出 |
★ |
|
|
********模块具备* ***** &***; * ***** ********* |
★ |
|
|
具备更多****的装载能力,每多装载*个****(非备品备件,须同时装载在机台上),多加分,具体见评分表。 |
评分项,具体见评分表 |
|
|
*** ****** &***; 研磨头具备≥* ****分区精密控制研磨压力的能力,且交付研磨头的每个****的测漏压力应≤*.*****,其中研磨头数量至少为* **(满足用*备*原则) |
★ |
|
|
有工艺过程中的气体压力、纯水压力及流量、化学品流量、设备转速等参数实时监控功能 |
★ |
|
|
*寸***全自动化量产机型,在大*出货量大于**台 |
★ |
|
|
设备自带上下料****/****** ****,每个****配备**** |
★ |
|
|
配置中应包含高清录像监控功能(至少涵盖*******、********、****区域),存储时长不少于**天 |
★ |
|
|
配置中应包含*套研磨液供应系统(详细配置及要求如标书中所述) |
★ |
|
|
配置中应包含**** ******及**辅助或校准工具(详细配置及要求如标书中所述) |
★ |
* |
设备资料 |
*套纸质的设备资料(涉及操作,维修,保养,备件清单,通讯,工艺技术手册) |
★ |
|
|
*套电子档设备资料(涉及操作,维修,保养,备件清单,通讯,工艺技术手册) |
|
* |
交期及质保 |
保修期自设备安装调试验收合格之日起算,为期**个月。在保修期内正常使用情况下所发生的设备*、部件更换及由此发生的全部费用将由设备厂家负担(耗材类费用除外) |
★ |
|
|
保修期内设备出现故障,如经我方评估需原厂技术人员到厂服务,要求**小时内原厂安排人员到厂 |
★ |
* |
设备硬件功能要求 |
马拉松传片测试:***** ******* 无***** |
评分项,具体见评分表 |
|
|
适用于***** ********* ***~***** |
★ |
|
|
软件操作系统流畅,运行正常,无卡顿,无频繁死机情况 |
★ |
|
|
********* ********* ****** (%; *******)≥**% |
★ |
|
|
**** **** ******* ******* (****)≥****** |
评分项,具体见评分表 |
|
|
**** **** ** ****** (****)≤**** |
评分项,具体见评分表 |
|
|
***** ********≤*/***** |
★ |
* |
工艺能力 |
***** *** **%((***/ ****) × ***)≤*%(** ***)***** *** ****-**** ***** &**;***** |
评分项,具体见评分表 |
|
|
* *** ******* **** *****-*****/***** *** ******* **** ****-*****/*** |
评分项,具体见评分表 |
|
|
**** ** **** ** *****≤*% |
评分项,具体见评分表 |
|
|
** ******* |
评分项,具体见评分表 |
|
|
*********:≤*.***/≤***(*******/*********) |
评分项,具体见评分表 |
|
|
***** ***: ***** ****** ***≥ ** ***/**,每多*片加*分,最多加*分 |
评分项,具体见评分表 |
|
|
******** **** (**** *** *****,>*.***)&**;**** (*****) |
评分项,具体见评分表 |
* |
技术方案完整性及合理性 |
投标人根据本项目需求及特性,提供设备平台技术方案之完整性,可行性,适用度及投标人技术能力体现:技术方案完整,可行性强,具有业界*流技术能力;(优)技术方案基本完整或适用度较高、可行性较强;(良好)技术方案简略或有漏项或可行性不高,业界无量产经验得;(较差) |
评分项,具体见评分表 |
* |
开箱及硬件安装要求 |
设备包装箱不能任何损坏,内附装箱清单 |
★ |
|
|
机台内包装完好,不能出现外观变形,破损的情况。机台部件不能出现锈蚀,损坏等情况 |
★ |
|
|
设备维修,保养,校准专用工具配置齐全 |
★ |
|
|
安装调试过程符合安全规范,不允许非法操作 |
★ |
|
|
设备到场后,设备厂家负责设备的硬件,工艺调试 |
★ |
* |
培训 |
设备厂家对我方技术人员进行设备结构、操作、维护、保养,工艺技术等方面的培训 |
★ |
|
|
培训时间不少于*周 |
★ |
* |
设备验收 |
各项性能达到“*、设备技术指标”中的规格,工艺指标的测试按照我方标准测试方法进行 |
★ |
|
|
设备调试各项指标达到要求后,需稳定运行*个月后进行验收 |
|
|
|
设备厂家制定调试验收报告,我方验收合格后完成签核 |
|