项目分析报告

1、预测项目潜在投标单位,提前了解潜在投标单位的项目竞争力;

2、分析招标单位同类项目成交价格、规模趋势,让投标报价更加科学精准;

3、分析招标单位同类项目历史合作方,快速了解您的竞争对手;

4、洞悉同类项目主要供应商市场占有量,全面掌握市场最新最新动态。

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企业分析报告

企业分析报告是什么?

企业报告是通过海量招标采购项目信息和企业主体信息,多维度分析企业招投标市场规模、业务分布、关联主体、违规失信风险情况的实时企业大数据报告。

企业情报分析报告
业主版分析报告的作用:

1、帮助您分析招标单位的项目规模趋势和预算节约率,为企业开发客户、投标报价提供参考,让投标更有针对性;

2、帮助您分析招标单位的采购行业品类,帮助企业拓宽相关业务;

3、帮助您分析招标单位的主要合作供应商和合作代理机构,帮助企业了解同行竞争实力水平,结合供应商报告定位自身企业优劣势,找到更多商机;

4、帮助您分析招标单位的违规失信风险,提高自身风险防范能力。

供应商分析报告的作用:

1、帮助您分析同行或者自身的中标金额趋势、项目规模和报价下浮率,为企业投标、报价提供参考,让投标决策更合理;

2、帮助您分析企业的招投标区域优劣势,扬长避短赢得更多市场机会;

3、帮助您分析企业的主要竞争对手、主要合作业主,从竞争对手、合作业主的优劣势比较中,找到自身企业优势和合作商机;

4、帮助您分析企业最新的信用风险记录,为企业投诉,维护自身合法竞争权益提供参考线索。

代理机构版分析报告的作用:

1、帮助您了解代理机构项目概况、业主发展趋势、项目结构等基本情况,为招投标市场拓展提供参考;

2、帮助您了解代理机构的项目分布情况(包括采购系统和地区),分析目标企业的市场占比,寻找更多市场机会;

3、帮助您了解代理机构所代理的项目预算节约度,从而分析与目标企业的服务差距,优化自身服务能力;

4、帮助您了解代理机构的重点客户情况,帮助企业了解同行的合作情况,提高自身竞争力;

5、帮助您了解代理机构的各项经营风险,防范自身信用风险,提高风险防范能力。

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北京大学重庆碳基集成电路研究院CMP设备采购项目公开招标公告

项目编号 - 资质要求
招标/采购内容 预算金额
获取标书截止时间 投标截止时间
招标单位 招标联系人/电话
代理机构 代理联系人/电话
潜在投标单位
潜在中标单位
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公告内容:

********碳基集成电路研究院***设备采购项目****公告

项目概况
********碳基集成电路研究院***设备采购项目 招标项目的潜在投标人应在登录东方招标平台****://***.*******.***/注册并购买。获取招标文件,并于****年**月**日 **点**分(北京时间)前递交投标文件。

*、项目基本情况

项目编号:****-**********

项目名称:********碳基集成电路研究院***设备采购项目

预算金额:****.****** *元(人民币)

最高限价(如有):****.****** *元(人民币)

采购需求:

包号

品目号

货物名称

数量

简要说明

是否允许采购进口产品

采购

预算

*

*

碳基氧化膜***设备

*台设备

*.*具备*英寸全自动加工能力;

*.*具备全自动处理功能,晶圆干进干出;

*.*具备化学机械研磨抛光模块、晶圆清洗系统模块、****模块、******模块

*.* 具备人机界面的多分布式系统控制;

*.* 具备研磨和清洗*部分模块,*个模块之间完全自动化;

*.*具备终点检测能力(选配);

*.*至少具备*个上下料平台,可按照上料先后进行加工

*.*具备研磨头分区精密控制研磨压力的能力;

*.*具备*个及以上研磨抛光平台,支持多步复杂抛光工艺

*.**能在操作界面显示晶圆每*片的具体位置;

*.**具备全自动加工模式,能够实现全自动传片及全自动进行工艺流程作业,

*.**具有各种报警功能,进行报警提醒;

*.**需要支持半导体设备标准通讯****/***协议。

****

*元

*

碳****属***设备

*台设备

*.*具备*英寸全自动加工能力;

*.*具备全自动处理功能,晶圆干进干出;

*.*具备化学机械研磨抛光模块、晶圆清洗系统模块、****模块、******模块

*.* 具备人机界面的多分布式系统控制;

*.* 具备研磨和清洗*部分模块,*个模块之间完全自动化;

*.*具备终点检测能力(选配);

*.*至少具备*个上下料平台,可按照上料先后进行加工

*.*具备研磨头分区精密控制研磨压力的能力;

*.*具备*个及以上研磨抛光平台,支持多步复杂抛光工艺

*.**能在操作界面显示晶圆每*片的具体位置;

*.**具备全自动加工模式,能够实现全自动传片及全自动进行工艺流程作业,

*.**具有各种报警功能,进行报警提醒;

*.**需要支持半导体设备标准通讯****/***协议。

****

*元

注:

*)投标人须对整个包中全部内容进行投标,不得转包、分包。评标、授标以整个包为单位。具体技术要求详见招标公告所附附件(即,本招标文件第*章)。

合同履行期限:自合同签订后的*个月内完成设备交货,设备装机与调试不超过**个工作日。

本项目(不接受 )联合体投标。

*、申请人的资格要求:

*.满足《中华人民共和国****法》第***条规定;

*.落实****政策需满足的资格要求:

本项目不属于专门面向中小微企业、监狱企业、残疾人福利性单位采购的项目。

*.本项目的特定资格要求:*) 投标人须符合《中华人民共和国****法》第***条的规定;(具体为供应商参加****活动应当具备下列条件:(*)具有独立承担民事责任的能力;(*)具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度;(*)具有履行合同所必需的设备和专业技术能力;(*)有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录;(*)参加****活动前*年内,在经营活动中没有重大违法记录;(*)法律、行政法规规定的其他条件。)*) 投标人须在中华人民共和国境内合法注册、有法人资格并符合工商局或相关行业主管部门核准的经营范围或经营许可;*) 投标人按照招标公告要求购买了招标文件;*) 投标人不得为列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、****严重违法失信行为记录名单的供应商。*) 为本项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商,不得参加本项目投标;*) 投标单位负责人为同*人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商,不得参加同*合同项下的****活动;*)本项目不接受联合体投标。

*、获取招标文件

时间:****年**月**日 至****年**月**日,每天上午*:**至**:**,下午**:**至**:**。(北京时间,法定节假日除外)

地点:登录东方招标平台****://***.*******.***/注册并购买。

方式:登*“东方招标”平台(****://***.*******.***/),点击“获取采购文件”链接图标,或直接输入访问地址(****://***.*******.***/*****/****_**.****?****=****)完成投标人注册手续(免费),然后登*系统寻找有意向参与的项目,已注册的投标人无需重新注册。招标文件售价:每包人民币*** 元。如决定购买招标文件,请完成标书款缴费及标书下载手续。

售价:¥***.* 元,本公告包含的招标文件售价总和

*、提交投标文件截止时间、开标时间和地点

提交投标文件截止时间:****年**月**日 **点**分(北京时间)

开标时间:****年**月**日 **点**分(北京时间)

地点:北京市海淀区丹棱街*号互联网金融中心**层东方厅(*)

*、公告期限

自本公告发布之日起*个工作日。

*、其他补充事宜

*、投标文件递交地点:北京市海淀区丹棱街*号互联网金融中心**层东方厅(*)

*、招标文件采用网上电子发售购买方式:

*)登*“东方招标”平台(****://***.*******.***/),点击“获取采购文件”链接图标,或直接输入访问地址(****://***.*******.***/*****/****_**.****?****=****)完成投标人注册手续(免费),然后登*系统寻找有意向参与的项目,已注册的投标人无需重新注册。招标文件售价:每包人民币***元。如决定购买招标文件,请完成标书款缴费及标书下载手续。

*)投标人可以电汇的形式支付标书款、保证金(应以公司名义汇款至下述指定账号)。

开户名称:****

开户行:招商银行北京西*环支行

账 号:***************

*)投标人应在平台上填写开票信息。在投标人足额缴纳标书款后,标书款电子发票将发送至投标人在平台上登记的电子邮箱,投标人自行下载打印。

*、以电汇方式购买招标文件和递交投标保证金的,须在电汇凭据附言栏中写明招标编号、包号及用途(如未标明招标编号,有可能导致投标无效)。

*、采购项目需要落实的****政策:

(*)****促进中小企业发展

(*)****支持监狱企业发展

(*)****促进残疾人就业

(*)****鼓励采购节能环保产品

*、对本次招标提出询问,请按以下方式联系。

*.采购人信息

名 称:********碳基集成电路研究院     

地址:****市****区西永大道**号附*号研发楼*期*号楼*层        

联系方式:**** **********@********.***.**      

*.采购代理机构信息

名 称:****            

地 址:北京市海淀区丹棱街*号互联网金融中心**层            

联系方式:王军、李雯、郭宇涵、****; ***-********;***- ********            

*.项目联系方式

项目联系人:王军

电 话:  ***-********

 

公告概要:
公告信息:
采购项目名称 ********碳基集成电路研究院***设备采购项目
品目

货物/设备/仪器仪表/其他仪器仪表

采购单位 ********碳基集成电路研究院
行政区域 ****市 公告时间 ****年**月**日 **:**
获取招标文件时间 ****年**月**日至****年**月**日
每日上午:*:** 至 **:**下午:**:** 至 **:**(北京时间,法定节假日除外)
招标文件售价 ¥***
获取招标文件的地点 登录东方招标平台****://***.*******.***/注册并购买。
开标时间 ****年**月**日 **:**
开标地点 北京市海淀区丹棱街*号互联网金融中心**层东方厅(*)
预算金额 ¥****.*******元(人民币)
联系人及联系方式:
项目联系人 王军
项目联系电话 ***-********
采购单位 ********碳基集成电路研究院
采购单位地址 ****市****区西永大道**号附*号研发楼*期*号楼*层
采购单位联系方式 **** **********@********.***.**
代理机构名称 ****
代理机构地址 北京市海淀区丹棱街*号互联网金融中心**层
代理机构联系方式 王军、李雯、郭宇涵、****; ***-********;***- ********
附件:
附件* 第*章 技术要求****.****
第*章技术要求
*、货物需求*览表
包号 品目号 货物名称 数量 简要说明 是否允许采购进口产品 采购预算
* * 碳基氧化膜***设备 *台设备 *.*具备*英寸全自动加工能力;*.*具备全自动处理功能,晶圆干进干出;*.*具备化学机械研磨抛光模块、晶圆清洗系统模块、****模块、******模块*.* 具备人机界面的多分布式系统控制;*.* 具备研磨和清洗*部分模块,*个模块之间完全自动化;*.*具备终点检测能力(选配);*.*至少具备*个上下料平台,可按照上料先后进行加工*.*具备研磨头分区精密控制研磨压力的能力;*.*具备*个及以上研磨抛光平台,支持多步复杂抛光工艺*.**能在操作界面显示晶圆每*片的具体位置;*.**具备全自动加工模式,能够实现全自动传片及全自动进行工艺流程作业,*.**具有各种报警功能,进行报警提醒;*.**需要支持半导体设备标准通讯****/***协议。 *****元
* 碳****属***设备 *台设备 *.*具备*英寸全自动加工能力;*.*具备全自动处理功能,晶圆干进干出;*.*具备化学机械研磨抛光模块、晶圆清洗系统模块、****模块、******模块*.* 具备人机界面的多分布式系统控制;*.* 具备研磨和清洗*部分模块,*个模块之间完全自动化;*.*具备终点检测能力(选配);*.*至少具备*个上下料平台,可按照上料先后进行加工*.*具备研磨头分区精密控制研磨压力的能力;*.*具备*个及以上研磨抛光平台,支持多步复杂抛光工艺*.**能在操作界面显示晶圆每*片的具体位置;*.**具备全自动加工模式,能够实现全自动传片及全自动进行工艺流程作业,*.**具有各种报警功能,进行报警提醒;*.**需要支持半导体设备标准通讯****/***协议。 *****元
*.主要技术指标(需实现的功能或者目标、需满足的质量、安全、技术规格、物理特性等)
第*包
品目*碳基氧化膜***设备
*.设备功能及用途
*.设备主要功能
化学机械研磨***(***************************)是利用旋转的抛光头以*定的压力将*****压在旋转的抛光垫上,通过化学去膜和机械去膜的交替过程中实现全局平坦化,是集成电路制造中的常用工艺。利用***设备可以实现**器件全局平坦化,实现更小的设计图形,更多层的金属互连,提高电路的可靠性、速度和良品率。
*.设备名称、型号、规格及数量
*.*.设备名称:********
*.*.设备状态:全新,国产化
*.*.设备数量:*台
*.*.总体配置:
*.机台具备*英寸*****晶圆全自动加工处理的能力,晶圆干进干出;
*.主设备满足*相****或*相****,附属设备满足单相****的供电要求;
*.具备化学机械研磨抛光模块、晶圆清洗系统模块、****模块、******模块,模块之间完全自动化,且****&***;晶圆清洗系统模块应包含配套的*****参数调试工具(************或**);
*.具备人机界面的多分布式系统控制;
*.********模块具备******&***;***************;
*.*******需支持***************-*******,其他******需支持**************;
*.*********&***;研磨头具备≥*****分区精密控制研磨压力的能力,且交付研磨头的每个****的测漏压力应≤*.*****,其中研磨头数量至少为***(满足用*备*原则);
*.各研磨头应具备晶圆*******侦测传感器;
*.***************具备************&***;************,且具备******&***;***************;
**.具备关键制程和硬件数据实时分析系统;
**.具备*台**显示器,且至少包含*台显示器小推车;
**.具备至少*个*****************,可按照上料先后进行加工;
**.具有****-****式的圆片传送识别装置;
**.********************支持********************(***),*****************及*************;
**.具备***********************&***;************;
**.*******应具备*******;
**.********应支持****************************;
**.支持************************(**)****:**~******/***,************************(氨水)****:**~*****/***;
**.主设备应包含*********;
**.具备终点检测能力(选配);
**.支持标准的****/***通讯协议,并支持与***连接;
**.设备控制电脑(或******)支持双硬盘备份(支持***读写功能),操作记录、工艺记录、报警记录等存储时长≥*个月;
**.研磨头测漏仪器(**********,研磨头倒装台式)*套(可支持*-****或*-****);
**.工作区域配置高清录像监控功能(至少涵盖*******、********、****区域),存储时长不少于**天;
**.中国大*装机量&**;**台;
**.配备全套研磨液自动供液系统**套,(满足*供*原则),相关单元及配置如下表:
序号 项目 描述
* 设备主体
*.** 设备主体结构 框架式设计,******骨架包覆**/***板材
*.** 分隔式设计 设备分为*个部分组成:*.原液桶单元(双****原液供给)*.混液及供液单元
*.** 设备尺寸: *.原液桶单元:趋近于*******************,误差≤*****.混液及供液单元:趋近于*******************
*.** 可拆卸式门窗设计 设备部份门窗均为可拆卸设计,缩小维修空间,进*步缩小占用无尘室空间
*.** 管道桶槽区透明***门窗设计 设备的管道桶槽区采用透明***门窗设计,无需开启门窗则可了解内部设备运行状况,安全可靠。
* 原液单元设计
*.** 原液桶规格 *************(兼容***),每套设备需配*个桶盖接头和*个原液桶桶盖开启器及原液桶运输推车(含固定装置)
*.** 原液输送形式 可参考风囊泵-圣戈班-***/***,其他等同能力原液供应泵且使用寿命更长久的泵更佳;注意:若提供非风囊泵-圣戈班-***/***(***泵),须提供*** 同型原液供应泵(用*备*)
*.** 原液判空功能 ***** ******在线判空功能
*.** 原液桶滚轮功能 具备滚轮
*.** 原液桶循环功能 ****循环(循环间隔时间可设定)
*.** 原液桶*****搅拌功能 应支持
* 混料单元设计
*.** 混料方式 称重(配液完毕后,称重回*及时,不应有延迟报警)称重单元配备校准件或提供可校准方法,定期校准。应支持循环泵混料。
*.** 混料桶规格 标定********
*.** 混料精度 +/-*%以内,混料量可设置(最大每次可混***)
*.** 混料速度 ≦*.*升每分钟
* 供应桶设计
*.** 供应桶规格,材质 标定********;最大可对应*台***,单台***的研磨液使用时流量≥**** ****,每个供应点压力大于*****
*.** 循环功能 设备主管道循环功能;供应桶内循环管路需足够长,避免桶壁反溅结晶。
*.** 液位侦测 **** ****实时液位侦测
*.** 密封设计 密封设计(顶部预留可视观察口)
*.** 搅拌功能 附搅拌功能,搅拌速度可设定(变频控制);搅拌桨足够长,需起到充分搅拌效果。
*.** 输出流量在线检测功能 基恩士非接触式流量计
*.** 输出压力在线检测功能 有该功能
*.** 研磨液调和槽保湿功能 保证调和槽内湿度大于**%,每小时水滴下量小于***,具备可调节湿度和进气量大小功能
* 辅助功能
*.** 和主机台主要参数信号联运功能 有该功能
*.** ****需求 需要****配比功能,且根据工艺配比,可自由设定****比例,监测****浓度配比情况。
*.** 防倾倒装置 支持
* 供应管道设计
*.** 管道材质 外管:透明****,内管***
*.** 供应压力 在线** ******检测
*.** 供应泵 可参考********** ******(***/***)电磁悬浮泵,其他等同能力电磁悬浮泵且使用寿命更长久的泵更佳;注意:须满足跨楼层**米垂直高度供应要求(供应压力≥*****,流量≥**** ****且****** ***单路输出误差<****),若提供非********** ******(***/***)电磁悬浮泵,须提供*** 同型电磁悬浮供应泵(用*备*)
*.** 供应***点数 ********
*.** ******设计 *.***端安装****** ***;*.****** 前后要装手动阀及压力表;*.可兼容囊氏过滤器(过滤器由敏声科技提供);*.******与***主设备相连管路做*路扩管(该部分需加装*次过滤,过滤器由甲方提供);
* 系统侦测及报警(设备报警信息应及时联通到中控室)
*.** 系统泄漏侦测 静电容式漏液侦测器,可选联锁停机或不联锁停机
*.** 系统***紧急停止设计 危险状况可以第*时间停止设备运行
*.** 排气风压低报警设计 当系统排气过低时报警,可选择联锁停机或不联锁停机
*.** ***,**压力低预警 当***,**压力低时,系统预警,防止宕机
*.** 控制区火警侦测 当控制区域元器件损坏或燃烧,系统可侦测并报警
*.** 供应压力低预警 到侦测到供应压力低时,系统预警,通知操作人员检查现场
*.** 配料错误报警 检测到进料比例不对时,系统报警,并可选择继续混料还是重新混料
*.** 液位感应侦测 自动配液过程中,液位感应器侦测灵敏,功能完好
*.设备资料
*)*套纸质技术资料(涉及************,**********,*****************,**************************,****/*********,*************************等全套手册);
*)*套光盘技术资料(涉及************,**********,*****************,**************************,****/*********,*************************等全套手册);
*)设备配件清单及货号(原厂料号、描述及规格);
*.随机工具:
*)*****专用***校正工具*套
*)*****专用扭力套筒扳手*套(拆卸*****用)
*)*****专用扭力内*角螺丝刀套件*套(扭力单位为**/***)
*)*****专用***********校准工具*套
*)*****专用***平整器*个
*)*****专用**********************&***;**************各*套
*)*****专用***********(双向,精度*.****)*套(***)
备注:*台***设备中配送*套涵盖以上*项工具即可。
*.交期及质保
*)自合同签订后的*个月内完成设备交货,设备装机与调试不超过**个工作日;(如有装机计划,可同步反馈)
*)保修期自设备安装调试验收合格之日起算≥**个月。在保修期内所有备件损坏或不能正常使用将由设备厂家更换新件,属耗材类*部件除外。
*)保修期内设备出现故障,如需原厂技术人员到厂服务,要求**小时内原厂安排人员携带相关*****或工具到厂维修。
*.设备技术指标
*.*************工艺技术要求
**. **** **** ********* &***; ******
* ******* ********* % ** (* *****) % ***-********** *** ******* *****). ************ ***:*** ****-****, **** ********* ****). **% = (***/****) × ***
*-* ***** *** **%***** *** ****-**** ***** ≤*%&**;*****
* ******* ****
*-**-* ***** *** ******* ******** ** **** ** ***** *****-*****/***≤*% ****** **** ****** ** ******&***;********* */* ********* ******* **********/********= (σ / ****) × ***
* ******** ******* ******* ******** ********). *********** **** ********* * ***). ******** **** ≥ *.*㎛ *). **** *****: **** ******** *.*** **** *). *********: ***-****** ****
*-* ******* ******** (***** ****, ** ******,**** *** *****) ≤ **** (*****)
*-* ******** **** (**** *** *****) &**;**** (*****)
*-* ******* ** *******
* ********* ≤*.***/≤*** *** * ***/**** * ****
* ********** ********** ******* **********/********= **** ****** ***** ******* **** ** *** **** ******'-. ********** ******* **** **** ******** ** ****** ******** *********** *** *****.
*-* ***** ***: ***** ****** *** ≥ ** ***/**
*.*************设备技术要求
**. 设备性能 性能说明
* ***** ********** ******** ******** *** 位于机台顶部
* 主电脑控制系统 *********
* ****** 流量控制 ***流量控制
* ********流量控制 ***流量控制
* ***** 运行平稳无卡顿,带配套***** *******(或**)
* 晶圆尺寸 *”*****
* ****** ≥**%
* **** ≥********
** **** ≤* *****
** 监控系统 机台运行时,重要参数实时反馈并具有报警功能功,包括********、******流量,****、******转速, **** 各****的压力、*** *********压力 等
*.设备验收方案
*.*.设备的开箱和硬件系统安装
********** ***** ******* *** ******** ****** ******
包装箱 设备包装箱不能任何损坏
资料文件 应该包含以下文件: ****** ******, **** ******, *********** ******, ******** ************ ******, ****/*** ******, ********* ********** ******.
备品备件 工具的配件齐全,不能出现短缺
机台到场 机台外观应保证完好,不能出现外观变形。机台部件不能出现锈蚀或损坏。
安装过程 安装过程都需要考虑设备安全性,不允许非法操作。
培训 培训工程师对设备进行工艺配方编辑,操作、校准和维护。
*.*.软件及自动化系统运行测试
********** ***** ******* *** ******** ****** ******
****/*** **** *** *********: **, ***, ***等
********* ********** *** ****** *** **** ****** ********** ************
******** ******** *** ***** *** *** ********
*.*.设备性能验收
*.化学机械研磨性能测试
目的:该测试是为了检查设备的工艺能力。
定义(********):使用*****.*********,********,测试*****后*.***以上********情况以及划伤情况。
**************(******):
**** **** ****** ******
******* ******** (***** ****, ** ******,**** *** *****) ≤ ****
******** **** (**** *** *****) &**;****
******* ** *******
********* **<*.***
定义(**********):
使用*****.*********,********,分别测试***/************初期、中期、末期的************,根据**********以及***&***;*****%,确定设备工艺稳定性。
***************************:
**** **** ****** ******
****** **** 根据实际******&***;******情况确认
*** **%((***/ ****) × ***) *%
*** **% (*** ******,*** */* ********* ******* **********/********= (σ / ****) × ***) *%
*.马拉松测试
目的:验证机械传动系统的稳定性。
定义:马拉松测试是为了确保机械传动系统在****片次循环中能够正常工作。
*****************:
**** **** ****** ******
******** &**;**** ****** ******* *****
*.*.设备厂家对我方技术人员进行设备结构、操作、维护、保养等方面的培训,培训时间不少于*周。
*.*.设备安装成功后,设备厂家负责设备的调试。要求各项性能达到“*、设备技术指标”中的规格,工艺指标的测试按照我方标准测试方法进行(详见验收方案);
*.**.达到性能指标后,考核运行*个月;
*.**.设备厂家制定验收报告,我方验收合格后完成签核。
*、指标重要性说明(投标商必须提供具体应答以及资料)
招标文件条目号 产品名称 招标规格 重要性说明
* 总体配置 设备状态为全新设备
设备及所有附属件符合****安全标准
设备及所有附属件符合****洁净标准
设备满足我方*相****/****的供电要求,且需提供****** ****套
适用于*** ** *****晶圆(**,***.*****),****-****式的圆片传送识别装置
设备支持标准的****/***通讯协议,并支持与***连接
设备控制电脑(或******)支持双硬盘备份(支持***读写功能),操作记录、工艺记录、报警记录等存储时长≥*个月
适用***** 晶圆盒的****或****的自动传片系统
设备包括化学机械研磨抛光模块、晶圆清洗系统模块、****模块、******模块,模块之间完全自动化,晶圆干进干出
********模块具备* ***** &***; * ***** *********
具备更多****的装载能力,每多装载*个****(非备品备件,须同时装载在机台上),多加分。具体见评分表。 评分项,具体见评分表
*** ****** &***; 研磨头具备≥* ****分区精密控制研磨压力的能力,且交付研磨头的每个****的测漏压力应≤*.*****,其中研磨头数量至少为* **(满足用*备*原则)
有工艺过程中的气体压力、纯水压力及流量、化学品流量、设备转速等参数实时监控功能
***全自动化量产机型,在大*出货量大于**台
设备自带上下料****/****** ****,每个****配备****
配置中应包含高清录像监控功能(至少涵盖*******、********、****区域),存储时长不少于**天
配置中应包含*套研磨液供应系统(详细配置及要求如标书中所述)
配置中应包含**** ******及**辅助或校准工具(详细配置及要求如标书中所述)
* 设备资料 *套纸质的设备资料(涉及操作,维修,保养,备件清单,通讯,工艺技术手册)
*套电子档设备资料(涉及操作,维修,保养,备件清单,通讯,工艺技术手册)
* 交期及质保 保修期自设备安装调试验收合格之日起算,为期**个月。在保修期内正常使用情况下所发生的设备*、部件更换及由此发生的全部费用将由设备厂家负担(耗材类费用除外)
保修期内设备出现故障,如经我方评估需原厂技术人员到厂服务,要求**小时内原厂安排人员到厂
* 设备硬件功能要求 马拉松传片测试:***** ******* 无***** 评分项,具体见评分表
适用于***** ********* ***~*****
软件操作系统流畅,运行正常,无卡顿,无频繁死机情况
********* ********* ****** (%; *******)≥**%
**** **** ******* ******* (****)≥****** 评分项,具体见评分表
**** **** ** ****** (****)≤**** 评分项,具体见评分表
***** ********≤*/*****
* 工艺能力 ***** *** **%((***/ ****) × ***)≤*%(** ***)***** *** ****-**** ***** &**;***** 评分项,具体见评分表
***** *** ******* **** *****-*****/*** 评分项,具体见评分表
**** ** **** ** *****≤*% 评分项,具体见评分表
** ******* 评分项,具体见评分表
*********:≤*.***/≤***(*** * ***/**** * ****) 评分项,具体见评分表
***** ***: ***** ****** ***≥ ** ***/**,每多*片加*分,最多加*分 评分项,具体见评分表
******** **** (**** *** *****,>*.***)&**;**** (*****) 评分项,具体见评分表
* 技术方案完整性及合理性 投标人根据本项目需求及特性,提供设备平台技术方案之完整性,可行性,适用度及投标人技术能力体现:技术方案完整,可行性强,具有业界*流技术能力;(优)技术方案基本完整或适用度较高、可行性较强;(良好)技术方案简略或有漏项或可行性不高,业界无量产经验得;(较差) 评分项,具体见评分表
* 开箱及硬件安装要求 设备包装箱不能任何损坏,内附装箱清单
机台内包装完好,不能出现外观变形,破损的情况。机台部件不能出现锈蚀,损坏等情况
设备维修,保养,校准专用工具配置齐全
安装调试过程符合安全规范,不允许非法操作
设备到场后,设备厂家负责设备的硬件,工艺调试
* 培训 设备厂家对我方技术人员进行设备结构、操作、维护、保养,工艺技术等方面的培训
培训时间不少于*周
* 设备验收 各项性能达到“*、设备技术指标”中的规格,工艺指标的测试按照我方标准测试方法进行
设备调试各项指标达到要求后,需稳定运行*个月后进行验收
设备厂家制定调试验收报告,我方验收合格后完成签核
品目*碳****属***设备
*.设备功能及用途
*.设备主要功能
化学机械研磨***(***************************)是利用旋转的抛光头以*定的压力将*****压在旋转的抛光垫上,通过化学去膜和机械去膜的交替过程中实现全局平坦化,是集成电路制造中的常用工艺。利用***设备可以实现**器件全局平坦化,实现更小的设计图形,更多层的金属互连,提高电路的可靠性、速度和良品率。
*.设备名称、型号、规格及数量
*.*.设备名称:********
*.*.设备状态:全新,国产化
*.*.设备数量:*台
*.*.总体配置:
*.机台具备*英寸*****晶圆全自动加工处理的能力,晶圆干进干出;
*.主设备满足*相****或*相****,附属设备满足单相****的供电要求;
*.具备化学机械研磨抛光模块、晶圆清洗系统模块、****模块、******模块,模块之间完全自动化,且****&***;晶圆清洗系统模块应包含配套的*****参数调试工具(************或**);
*.具备人机界面的多分布式系统控制;
*.********模块具备******&***;***************;
*.*******需支持***************-*******,其他******需支持**************;
*.*********&***;研磨头具备≥*****分区精密控制研磨压力的能力,且交付研磨头的每个****的测漏压力应≤*.*****,其中研磨头数量至少为***(满足用*备*原则);
*.各研磨头应具备晶圆*******侦测传感器;
*.***************具备************&***;************,且具备******&***;***************;
**.具备关键制程和硬件数据实时分析系统;
**.具备*台**显示器,且至少包含*台显示器小推车;
**.具备至少*个*****************,可按照上料先后进行加工;
**.具有****-****式的圆片传送识别装置;
**.********************支持********************(***),*****************及*************;
**.具备***********************&***;************;
**.*******应具备*******;
**.********应支持****************************;
**.支持************************(**)****:**~******/***,************************(氨水)****:**~*****/***;
**.主设备应包含*********;
**.具备终点检测能力(选配);
**.支持标准的****/***通讯协议,并支持与***连接;
**.设备控制电脑(或******)支持双硬盘备份(支持***读写功能),操作记录、工艺记录、报警记录等存储时长≥*个月;
**.研磨头测漏仪器(**********,研磨头倒装台式)*套(可支持*-****或*-****);
**.工作区域配置高清录像监控功能(至少涵盖*******、********、****区域),存储时长不少于**天;
**.中国大*装机量&**;**台;
**.配备全套研磨液自动供液系统**套,(满足*供*原则),相关单元及配置如下表:
序号 项目 描述
* 设备主体
*.** 设备主体结构 框架式设计,******骨架包覆**/***板材
*.** 分隔式设计 设备分为*个部分组成:*.原液桶单元(双****原液供给)*.混液及供液单元
*.** 设备尺寸: *.原液桶单元:趋近于*******************,误差≤*****.混液及供液单元:趋近于*******************
*.** 可拆卸式门窗设计 设备部份门窗均为可拆卸设计,缩小维修空间,进*步缩小占用无尘室空间
*.** 管道桶槽区透明***门窗设计 设备的管道桶槽区采用透明***门窗设计,无需开启门窗则可了解内部设备运行状况,安全可靠。
* 原液单元设计
*.** 原液桶规格 *************(兼容***),每套设备需配*个桶盖接头和*个原液桶桶盖开启器及原液桶运输推车(含固定装置)
*.** 原液输送形式 可参考风囊泵-圣戈班-***/***,其他等同能力原液供应泵且使用寿命更长久的泵更佳;注意:若提供非风囊泵-圣戈班-***/***(***泵),须提供*** 同型原液供应泵(用*备*)
*.** 原液判空功能 ***** ******在线判空功能
*.** 原液桶滚轮功能 具备滚轮
*.** 原液桶循环功能 ****循环(循环间隔时间可设定)
*.** 原液桶*****搅拌功能 应支持
* 混料单元设计
*.** 混料方式 称重(配液完毕后,称重回*及时,不应有延迟报警)称重单元配备校准件或提供可校准方法,定期校准。应支持循环泵混料。
*.** 混料桶规格 标定********
*.** 混料精度 +/-*%以内,混料量可设置(最大每次可混***)
*.** 混料速度 ≦*.*升每分钟
* 供应桶设计
*.** 供应桶规格,材质 标定********;最大可对应*台***,单台***的研磨液使用时流量≥**** ****,每个供应点压力大于*****
*.** 循环功能 设备主管道循环功能;供应桶内循环管路需足够长,避免桶壁反溅结晶。
*.** 液位侦测 **** ****实时液位侦测
*.** 密封设计 密封设计(顶部预留可视观察口)
*.** 搅拌功能 附搅拌功能,搅拌速度可设定(变频控制);搅拌桨足够长,需起到充分搅拌效果。
*.** 输出流量在线检测功能 基恩士非接触式流量计
*.** 输出压力在线检测功能 有该功能
*.** 研磨液调和槽保湿功能 保证调和槽内湿度大于**%,每小时水滴下量小于***,具备可调节湿度和进气量大小功能
* 辅助功能
*.** 和主机台主要参数信号联运功能 有该功能
*.** ****需求 需要****配比功能,且根据工艺配比,可自由设定****比例,监测****浓度配比情况。
*.** 防倾倒装置 支持
* 供应管道设计
*.** 管道材质 外管:透明****,内管***
*.** 供应压力 在线** ******检测
*.** 供应泵 可参考********** ******(***/***)电磁悬浮泵,其他等同能力电磁悬浮泵且使用寿命更长久的泵更佳;注意:须满足跨楼层**米垂直高度供应要求(供应压力≥*****,流量≥**** ****且****** ***单路输出误差<****),若提供非********** ******(***/***)电磁悬浮泵,须提供*** 同型电磁悬浮供应泵(用*备*)
*.** 供应***点数 ********
*.** ******设计 *.***端安装****** ***;*.****** 前后要装手动阀及压力表;*.可兼容囊氏过滤器(过滤器由敏声科技提供);*.******与***主设备相连管路做*路扩管(该部分需加装*次过滤,过滤器由甲方提供);
* 系统侦测及报警(设备报警信息应及时联通到中控室)
*.** 系统泄漏侦测 静电容式漏液侦测器,可选联锁停机或不联锁停机
*.** 系统***紧急停止设计 危险状况可以第*时间停止设备运行
*.** 排气风压低报警设计 当系统排气过低时报警,可选择联锁停机或不联锁停机
*.** ***,**压力低预警 当***,**压力低时,系统预警,防止宕机
*.** 控制区火警侦测 当控制区域元器件损坏或燃烧,系统可侦测并报警
*.** 供应压力低预警 到侦测到供应压力低时,系统预警,通知操作人员检查现场
*.** 配料错误报警 检测到进料比例不对时,系统报警,并可选择继续混料还是重新混料
*.** 液位感应侦测 自动配液过程中,液位感应器侦测灵敏,功能完好
*.设备资料
*)*套纸质技术资料(涉及************,**********,*****************,**************************,****/*********,*************************等全套手册);
*)*套光盘技术资料(涉及************,**********,*****************,**************************,****/*********,*************************等全套手册);
*)设备配件清单及货号(原厂料号、描述及规格);
*.随机工具:
*)*****专用***校正工具*套
*)*****专用扭力套筒扳手*套(拆卸*****用)
*)*****专用扭力内*角螺丝刀套件*套(扭力单位为**/***)
*)*****专用***********校准工具*套
*)*****专用***平整器*个
*)*****专用**********************&***;**************各*套
*)*****专用***********(双向,精度*.****)*套(***)
备注:*台***设备中配送*套涵盖以上*项工具即可。
**.交期及质保
*)自合同签订后的*个月内完成设备交货,设备装机与调试不超过**个工作日;(如有装机计划,可同步反馈)
*)保修期自设备安装调试验收合格之日起算≥**个月。在保修期内所有备件损坏或不能正常使用将由设备厂家更换新件,属耗材类*部件除外。
*)保修期内设备出现故障,如需原厂技术人员到厂服务,要求**小时内原厂安排人员携带相关*****或工具到厂维修。
*.设备技术指标
*.*************工艺技术要求
**. **** **** ********* &***; ******
* ******* ********* % ** (* *****) % ***-********** *** ******* *****). ************ ***:*** ****-****, **** ********* ****). **% = (***/****) × ***
*-* ***** *** **%***** *** ****-**** ***** ≤*%&**;*****
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* ********* ≤*.***/≤*** *******/*********
* ********** ********** ******* **********/********= **** ****** ***** ******* **** ** *** **** ******'-. ********** ******* **** **** ******** ** ****** ******** *********** *** *****.
*-* ***: ***** ****** *** ≥ ** ***/**
*.*************设备技术要求
**. 设备性能 性能说明
* ***** ********** ******** ******** *** 位于机台顶部
* 主电脑控制系统 *********
* ****** 流量控制 ***流量控制
* ********流量控制 ***流量控制
* ***** 运行平稳无卡顿,带配套***** *******(或**)
* 晶圆尺寸 *”*****
* ****** ≥**%
* **** ≥********
** **** ≤* *****
** 监控系统 机台运行时,重要参数实时反馈并具有报警功能功,包括********、******流量,****、******转速, **** 各****的压力、*** *********压力 等
*.设备验收方案
*.*.设备的开箱和硬件系统安装
********** ***** ******* *** ******** ****** ******
包装箱 设备包装箱不能任何损坏
资料文件 应该包含以下文件: ****** ******, **** ******, *********** ******, ******** ************ ******, ****/*** ******, ********* ********** ******.
备品备件 工具的配件齐全,不能出现短缺
机台到场 机台外观应保证完好,不能出现外观变形。机台部件不能出现锈蚀或损坏。
安装过程 安装过程都需要考虑设备安全性,不允许非法操作。
培训 培训工程师对设备进行工艺配方编辑,操作、校准和维护。
*.*.软件及自动化系统运行测试
********** ***** ******* *** ******** ****** ******
****/*** **** *** *********: **, ***, ***等
********* ********** *** ****** *** **** ****** ********** ************
******** ******** *** ***** *** *** ********
*.*.设备性能验收
*.化学机械研磨性能测试
目的:该测试是为了检查设备的工艺能力。
定义(********):使用*****.*********,********,测试*****后*.***以上********情况以及划伤情况。
**************(******):
**** **** ****** ******
******* ******** (***** ****, ** ******,**** *** *****) ≤****
******** **** (**** *** *****) &**;****
******* ** *******
********* **<*.***
定义(**********):使用*****.*********,********,分别测试***/************初期、中期、末期的************;******,分别测试***/************初期、中期、末期的***********;根据**********以及***&***;*****%,确定设备工艺稳定性。(说明:***&***;*****%主要通过测试************表征)
***************************:
**** **** ****** ******
****** **** 根据实际******&***;******情况确认
*** **%((***/ ****) × ***) *%
*** **% (*** ******,*** */* ********* ******* **********/********= (σ / ****) × ***) *%
*.马拉松测试
目的:验证机械传动系统的稳定性。
定义:马拉松测试是为了确保机械传动系统在****片次循环中能够正常工作。
*****************:
**** **** ****** ******
******** &**;**** ****** ******* *****
*.*.设备厂家对我方技术人员进行设备结构、操作、维护、保养等方面的培训,培训时间不少于*周。
*.*.设备安装成功后,设备厂家负责设备的调试。要求各项性能达到“*、设备技术指标”中的规格,工艺指标的测试按照我方标准测试方法进行(详见验收方案);
*.**.达到性能指标后,考核运行*个月;
设备厂家制定验收报告,我方验收合格后完成签核。
*、指标重要性说明(投标商必须提供具体应答以及资料)
招标文件条目号 产品名称 招标规格 评标标准分值
* 总体配置 设备状态为全新设备
设备及所有附属件符合****安全标准
设备及所有附属件符合****洁净标准
设备满足我方*相****/****的供电要求,且需提供****** ****套
适用于*** ** *****晶圆(**,***.*****),****-****式的圆片传送识别装置
设备支持标准的****/***通讯协议,并支持与***连接
设备控制电脑(或******)支持双硬盘备份(支持***读写功能),操作记录、工艺记录、报警记录等存储时长≥*个月
适用***** 晶圆盒的****或****的自动传片系统
设备包括化学机械研磨抛光模块、晶圆清洗系统模块、****模块、******模块,模块之间完全自动化,晶圆干进干出
********模块具备* ***** &***; * ***** *********
具备更多****的装载能力,每多装载*个****(非备品备件,须同时装载在机台上),多加分,具体见评分表。 评分项,具体见评分表
*** ****** &***; 研磨头具备≥* ****分区精密控制研磨压力的能力,且交付研磨头的每个****的测漏压力应≤*.*****,其中研磨头数量至少为* **(满足用*备*原则)
有工艺过程中的气体压力、纯水压力及流量、化学品流量、设备转速等参数实时监控功能
*寸***全自动化量产机型,在大*出货量大于**台
设备自带上下料****/****** ****,每个****配备****
配置中应包含高清录像监控功能(至少涵盖*******、********、****区域),存储时长不少于**天
配置中应包含*套研磨液供应系统(详细配置及要求如标书中所述)
配置中应包含**** ******及**辅助或校准工具(详细配置及要求如标书中所述)
* 设备资料 *套纸质的设备资料(涉及操作,维修,保养,备件清单,通讯,工艺技术手册)
*套电子档设备资料(涉及操作,维修,保养,备件清单,通讯,工艺技术手册)
* 交期及质保 保修期自设备安装调试验收合格之日起算,为期**个月。在保修期内正常使用情况下所发生的设备*、部件更换及由此发生的全部费用将由设备厂家负担(耗材类费用除外)
保修期内设备出现故障,如经我方评估需原厂技术人员到厂服务,要求**小时内原厂安排人员到厂
* 设备硬件功能要求 马拉松传片测试:***** ******* 无***** 评分项,具体见评分表
适用于***** ********* ***~*****
软件操作系统流畅,运行正常,无卡顿,无频繁死机情况
********* ********* ****** (%; *******)≥**%
**** **** ******* ******* (****)≥****** 评分项,具体见评分表
**** **** ** ****** (****)≤**** 评分项,具体见评分表
***** ********≤*/*****
* 工艺能力 ***** *** **%((***/ ****) × ***)≤*%(** ***)***** *** ****-**** ***** &**;***** 评分项,具体见评分表
* *** ******* **** *****-*****/***** *** ******* **** ****-*****/*** 评分项,具体见评分表
**** ** **** ** *****≤*% 评分项,具体见评分表
** ******* 评分项,具体见评分表
*********:≤*.***/≤***(*******/*********) 评分项,具体见评分表
***** ***: ***** ****** ***≥ ** ***/**,每多*片加*分,最多加*分 评分项,具体见评分表
******** **** (**** *** *****,>*.***)&**;**** (*****) 评分项,具体见评分表
* 技术方案完整性及合理性 投标人根据本项目需求及特性,提供设备平台技术方案之完整性,可行性,适用度及投标人技术能力体现:技术方案完整,可行性强,具有业界*流技术能力;(优)技术方案基本完整或适用度较高、可行性较强;(良好)技术方案简略或有漏项或可行性不高,业界无量产经验得;(较差) 评分项,具体见评分表
* 开箱及硬件安装要求 设备包装箱不能任何损坏,内附装箱清单
机台内包装完好,不能出现外观变形,破损的情况。机台部件不能出现锈蚀,损坏等情况
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设备到场后,设备厂家负责设备的硬件,工艺调试
* 培训 设备厂家对我方技术人员进行设备结构、操作、维护、保养,工艺技术等方面的培训
培训时间不少于*周
* 设备验收 各项性能达到“*、设备技术指标”中的规格,工艺指标的测试按照我方标准测试方法进行
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招标单位: 石柱土家族自治县发展和改革委员会 企业情报分析 企业情报报告下载

项目金额: 1.59万元

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