【分散采购备案单】射频电源与匹配器

服务名称:射频电源与适配器 --

数量:* --

计量单位:套 --

预算单价(元):***** --

技术参数:*、射频电源 输出频率：**.*****±***** 最小功率：*** 最大功率：***** 最大反射功率：****，如果反射功率大于****，射频电源会降低输出，保持 反射不大于****。 输出阻抗：**Ω 谐波：≤-***** 功率误差：*%设置功率，或者*.*%最大功率。（取最大值） 功率稳定度：*%设置功率，或者*.*%最大功率。（取最大值） *** 输入信号：标准正弦波射频信号。（输入信号功率：****±*.****） *** 输出信号：标准正弦波射频信号。（输出信号功率：*.****±*.****） 冷却类型：风冷 *.* 输入电源特性： 电压范围：******±**%（******～******）,*线，带地线（**）。 频率范围：****～**** 输入电流：***@****** 浪涌电流：冷启动：***@****** 功率因数：**≥*.**@******（最大功率输出时） 效率：≥**%（输出功率大于****，并且负载为标准**Ω时） 过流保护：用户必须安装 *** 慢断型的保险丝。 *.* 结构及接口 大小：标准**吋机箱外壳,不包含接口：**吋**************** 重量：净重**.*** **输入：****** ***连接器，标准**接口。 **输出：标准*型连接器，母头(******)。 用户端口：用户端口(**** ****)使用标准 ****母头(******) 通信接口：标准***母头(******)，包含*****以及***** 通信信号 匹配器接口：标准****母头(******) *****：标准***母头(******) ******：标准***母头(******) 前面板开关：船型开关，带电源指示灯。 前面板显示：******* ***图形显示器。 *、匹配器 匹配器类型：单频 负载属性：*** 射频输入频率：**.***** 功率范围：**-***** 最大传输功率：***** 最大反射功率：&**;**或*%输入功率 最大输出电流：*** 最大输出电压：***** 驻波比 &**;*.* 匹配方式：自动/手动 匹配范围：(*)*(*.*～**)Ω+**(-***～**)Ω； (*)*(*.*～**)Ω+**(-***～**)Ω 匹配时间：&**;**(预设点小于**) 冷却方式：风冷 高频可调电容器：真空可调电容 工作环境：*~**℃,湿度&**;**%（不结露） 工作电流：*.** 工作电压：******±**% 目标阻抗：**Ω **输入接口：*母接头 **输出接口：底部铜片、侧面削边铜柱或定制 尺寸（宽*深*高）：************* 重量：&**;**克 应用行业：磁控溅射/半导体 --