光刻机（XF-WSBX-2400039）成交结果公告

项目名称：****

项目编号：**-****-*******

公告开始日期：****-**-**

公告截止日期：****-**-**

采购单位：****大学

付款方式：货到付款，甲方在到货验收后**日内向乙方*次性支付本项目的总额

联系人：

联系电话：

签约时间要求：成交后*个工作日内

到货时间要求：签约后**个工作日内

预算总价：******元

收货地址：****大学紫金港校区海纳苑*幢负*层超净室。供方负责免费送货并免费完成安装调试。

供应商资质要求：符合《政府采购法》第***条规定的供应商基本条件

采购清单*

采购商品：****

采购数量：*

计量单位：台

所属分类：其他光学仪器

预算单价：******.*

技术参数及配置要求：*、技术参数 *、设备参数: 曝光面积：*英寸 曝光波长：***** 分辨力： *.*** 对准精度：±*.*** 掩模样片整体运动范围： *:****；*:**** 掩模尺寸：*.*英寸、３英寸、*英寸、*英寸 样片尺寸：直径****--直径*****(各种不规则片) 厚度*.***--***(可扩展为****) 曝光方式:定时(倒计时方式)和定剂量 具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光,及接近式曝光*种功能 照明不均匀性:*%(直径*****范围) 双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准,也可通过***+显示器对准,光学合像,光学最大倍数***倍,光学+电子放大***倍 物镜*对:* 倍、**倍、**倍 目镜*对:**倍、**倍、**倍 调平接触压力通过传感器保证重复 数字设定对准间隙和曝光间隙 具备压印模块接口,也具备接近模块接口 掩模相对于样片运动行程：*:±***；*:±***；*:±*° 最大焦厚:*****（***胶，用户提供检测条件） 光源平行性:*.*° 曝光能量密度:&**;****/***,照明面温度&**;**° 单层曝光*键完成 采用球气浮自动找平 汞灯功率:****(直流,进口欧司朗品牌汞灯) *、外形尺寸:约******(长)×*****(宽)×*****(高) *、设备配置 品牌：*** 型号：*******/** (*)曝光头： 冷光椭球镜 ****进口直流高压汞灯(进口欧司朗品牌)*只 ***汞灯调节台 冷却风扇 光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜*、准直镜镜*、蝇眼透镜组(**个透镜)、*线滤光片、场镜*、冷光反射镜*、反射镜* (*)对准工件台: 掩模样片整体运动台 掩模样片相对运动台 转动台 样片调平机构,自动完成 基片抽拉式上下机构 样片调焦机构，电机自动调节 承片台*个:*.*英寸方片、*英寸圆片、*英寸圆片、*英寸圆片 掩模夹*个:*.*英寸、*英寸、*英寸、*英寸 (*)对准显微镜： 光源(配备品*只)、电源 双目双视场对准显微镜主体 目镜*对(**倍、**倍、**倍,共*个) 物镜*对(* 倍、**倍、**倍,共*个) ***对准系统,**寸液晶显示器 (*)电控系统： 汞灯触发电源(****直流汞灯) 单片机控制系统 控制柜桌 (*)气动系统： 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等 电磁阀驱动 气动仪表 (*)其他附件： 真空泵*台 空压机*台 管道 (*)技术资料： 使用维修说明书 显微镜使用说明书 *、付款方式 需方在所有设备到货且验收成功，且收到供方开具的增值税专用发票后**个工作日内通过电汇支付全部***%货款。 *、服务要求 *、交付时间：签订合同后**天内交货。 *、交付地点：需方指定地点：****省杭州市西湖区余杭塘路***号****大学紫金港西区化学楼海纳苑*幢负*层超净室。供方负责免费送货至需方指定交货地点，并免费完成安装调试。 *、质保期： * 年，终身维修，保修期从验收合格后开始计算。 *、服务标准、期限、效率： （*）质保期：质保期内供方对货物出现的质量及安全问题负责处理解决并承担*切费用，因货物自身造成的质量问题，供方负责免费更换并维修，无条件提供质保维修，直至设备恢复正常；若货物出现无法排除的故障，供方无条件为需方更换同型号产品，以确保需方的正常使用；因人为原因造成货物损坏的，供方负责更换并维修，按照本次成交价折扣率折算配件价格，或按照本次成交价更换整机。 质保期外供方应继续为需方服务，货物出现问题，供方为需方提供配件，按照本次成交价折扣率折算配件价格，免人工费和差旅费。 （*）售后：提供现场免费技术培训；提供系统软件终身免费升级；****小时电话支持；如不需返厂维修，供方**小时内协助解决处理问题；如需返厂维修，报修后**小时内安排专人指导打包寄回原厂；额外赠送*只****进口欧司朗品牌直流高压汞灯；**年内提供*次免费移机服务。 *、验收标准 招标文件、投标文件、谈判记录、合同（协议）、磋商文件、响应文件。 *、培训 （*）需方安排技术人员，现场进行免费技术培训。 （*）需方提供该设备的技术使用说明书及外购配件仪器仪表说明书。 （*）培训地点：安装现场；培训时间：设备安装完成起*-*天；受训人员：需方指定。 （*）培训内容： ①设备结构、运行工作原理和设备控制工艺等内容介绍； ②设备操作规程、设备维护保养方法和设备运行参数调整等内容； ③设备*般性故障的诊断、定位和排除方法； ④指导*般操作人员的现场工作等。

更多咨询报价请点击：****（**-****-*******）成交结果公告