合同编号：（由甲方手写）**月-***×***
*****
****
甲方（采购单位）：****
乙方（供货单位）：沈阳麦科诺科技有限公司
签订时间：****年山月_
签订地点：****省****市****区****
根据《中华人民共和国民法典》及****年**月**日中招国际招标有限公司关于中国
科学院赣江创新研究院高真空磁控溅射镀膜系统采购项目的成交结果和碳商文件（项目编号：
*********）的要求，经双方协商*致，签订本合同。详细价格、技术说明及其他有关合同货
物的特定信息由合同附件予以说明，所有附件及本项目的碳商文件、响应文件、会议纪要、协
议等均为本合同不可分割之*部分。
第*条合同货物（服务）
乙方根据甲方要求提供以下货物（服务）：
| 货物（服务）名称 |
规格型号 |
原产国 |
生产厂商 |
单位 |
数量 |
单价 |
| 高真空磁控溅射镀膜系统 |
****** |
中国 |
沈阳麦科诺科技有限公司 |
套 |
* |
******* |
| 合计（人民币） |
******元整 |
******元整 |
******元整 |
******元整 |
******元整 |
******* |
第*条合同总价
总价为人民币（大写）：_******元，即**********。该合同总价是全部货
物设计、制造、包装、仓储、运输、安装、调试、培训及验收合格之前及质保期内备品备件发
生的所有费用。本合同执行期间合同总价不变。
第*条专利权
乙方应保护甲方在使用该货物或其任何*部分时不受第*方提出侵犯专利权、商标权、著
作权或其它知识产权起诉的指控。如果任何第*方提出侵权指控，乙方须与第*方交涉并承担
可能发生的*切法律责任和费用。
第*条包装和装运标志
*.除合同另有规定外，乙方提供的全部货物（服务），均应采用国家或专业标准保护措施进行
包装，使包装应适应于海运、或空运、或*上长距离运输，并有良好的防潮、防震、防锈和防
粗暴装卸等保护措施，确保货物（服务）安全无损运抵现场。由于包装不善所引起的货物（服
务）锈蚀、损坏和损失造成的后果均由乙方承担。
*.每件包装箱内应附*份详细装箱单和质量合格证。
*.除合同另有规定外，装运标志均应采用国家或专业标准进行标志。由于标志不妥所造成货
物损坏和损失的后果均由乙方承担。
*.运输方式：*运。卖方负责将货物运至指定交货地点的*切事项和费用，*切风险由卖方
承担。
第*条质量
*.乙方须提供全新的、符合国家有关质量标准和规范、环保要求的货物（服务），其质量、规
格及技术特征符合合同附件的要求。
*.货物制造质量出现问题，乙方应负责*包（包修、包换、包退），费用由乙方负责。
*.货到现场后由于甲方保管不当造成的质量问题，乙方亦应负责修理，但费用由甲方负担。
第*条交货及验收
*.交货期：接采购人供货通知后*个月内到货。
交货及安装地点：****采购人指定地点。
*.中标厂家应协助用户进行安装前的准备工作，在合同签订*周内提供相关的布局图和设计要
求，提供实验室建设安装资料并作相应指导。
*.按照所需要的安装、校验、调试及验收的内容及技术要求由中标厂家在交货地点进行安装、
调试；验收的标准由中标厂家与最终用户共同决定，应该与产品说明书及标书中的技术指标*
致。
*.安装时间：仪器到货后*周内。
*.货物的到货验收包括：型号、规格、数量、外观质量及货物（服务）包装完整无损
*.货物和系统调试验收的标准：按行业通行标准、厂方出厂标准和乙方响应文件的承诺（详见
合同附件载明的标准，并不低于国家相关标准）。
*.国内产品或合资厂的产品必须具备出厂合格证和原厂保修卡。
*.乙方应将所提供货物的装箱清单、用户手册、原厂保修卡、随机资料及配件、随机工具等交
付给甲方；乙方不能完整交付货物及本款规定的单证和工具的，视为未按合同约定付货，乙方
必须负责补齐，因此导致逾期交付的，由乙方承担相关的违约责任。
第*条付款方式
双方合同签订后**个工作日内，成交供应商向采购人提交*%履约保证金（可以银行转账或银
行保函的形式），采购人向供应商支付合同价款的**%作为预付款；所有合同项下项目实施完
毕，并经采购人验收合格后，供应商向采购人提供符合国家规定的正规发票后，采购人向供应
商支付剩余**%的合同价款，在满足响应文件约定售后服务履约完成时间后，设备无质量问题
即无息返还*%履约保证金。
第*条售后服务
*.质保期：整套设备质保期**个月，质保期自设备验收合格之日起计算，质保期内提供全部
免费保修，包括人工费、仪器的全部*配件等。
*.维修响应时间：在*个工作日内对用户的服务要求作出响应，*般问题应在*个工作日内
解决，重大问题或其他无法迅速解决的问题，应在*个工作日内解决或提出明确的解决方案。
所有货物保修服务方式均为供应商上门保修，即由供应商派员到货物使用现场维修，由此产生
的*切费用均由供应商承担。若货物故障在检修*工作小时后仍无法排除，乙方应在**小
时内免费提供不低于故障货物规格型号档次的备用货物供甲方使用，直至故障货物修复。
*.供应商能够提供的全部技术资料，包括合同签订后提供设备的预安装要求说明书；随机提
供产品使用说明书和维护说明书。
*.在仪器使用年限内，软件免费升级，与之相关的硬件升级享受成本价，同时提供用户在整体
台架设计上的技术咨询。
*.仪器安装完成后中标厂家的安装调试人员应在现场就仪器的使用及维护对用户进行现场培
训。安装验收期间，在用户指定地对用户进行仪器操作和日常维护的现场培训，包括仪器原理、
使用方法和维护方法等，至买方能够独立掌握；仪器安装验收后，应用专家免费现场培训*-
*
*天。
工
*.仪器使用*-*个月后，供货厂商免费提供*次国内用户培训班的培训机会，每次*-*人，且
****
卖方无条件长期提供永久性技术及仪器支持。
*.质保期后的货物维护由双方协商再定。
第*条违约责任
*.甲方无正当理由拒收货物、拒付货款的，由甲方向乙方偿付合同总价的*%*的违约金。
*.甲方应在合同规定时间内向乙方支付货款，每逾期*天甲方向乙方偿付欠款总额的*%*滞
纳金，累计纳金总额不超过欠款总额的*%。
*.乙方不能交付货物，则由乙方向甲方支付合同总价的*%*的违约金。
*.乙方逾期交付货物的，每逾期*天，乙方向甲方偿付逾期交货部分货款总额的*%*的滞纳
金，累计纳金不超过逾期交货部分货款总额的*%，逾期交货超过**天，甲方有权终止合
同，并按第*条第*款处理。
*.乙方所交的货物品种、型号、规格不符合合同规定的，甲方有权拒收设备。乙方向甲方支付
货款总额的*%*的违约金。
*.如经乙方*次维修，货物仍不能达到合同约定质量标准，甲方有权退货，乙方退回全部货款，
并按第*条第*款处理，同时，乙方还须赔偿甲方因此遭受的损失。
*.乙方所供货物必须权属清楚，不得侵害他人的知识产权，否则构成对甲方违约，违约金按第
*条第*~*款执行。
第*条争议及仲裁
*
*.因货物的质量问题发生争议，由质量监督部门或其指定的质量鉴定单位进行质量鉴定。货物
符合标准的，鉴定费由甲方承担；货物不符合质量标准的，鉴定费由乙方承担。
*.因本合同引起的争议，甲、乙双方应首先通过友好协商解决，如果协商或调解不能解决争议，
则提请仲裁委员会按照其仲裁规则进行仲裁。
第**条其他
*.本合同*式*份，具有同等法律效力，甲、乙双方各执*份。合同自签字之日起即时生效。
*.本合同未尽事宜，由双方协商处理。
| 甲方 |
甲方 |
乙方 |
乙方 |
| 单位名称（章） |
**** |
单位名称（章） |
沈阳麦科诺科技有限公司 |
| 地址 |
****省****市****区储潭镇储潭圩科学院路*号 |
地址 |
沈阳市和平区秀岛路***-*号 |
| 法定代表人 |
齐涛 |
法定代表人 |
杨彦章* |
| 授权代表 |
手签） |
委托代理人 |
|
| 电话 |
****-******* |
电话 |
*********** |
| 邮编 |
******* |
邮编 |
****** |
| 开户银行 |
中国银行****市分行 |
开户银行 |
葫芦岛银行股份有限公司沈阳*好街支行 |
| 银行账号 |
************ |
银行账号 |
******************** |
| 税号 |
****************** |
税号 |
****************** |
| 日期 |
****年*月*日 |
|
****年*月*日 |
附件：
高真空磁控溅射镀膜系统*型号：******
设备系统用于直接磁控溅射的方式在基片上外延生长金属薄膜（**、**、*、**、**、**、**、**、**、
**等）；也可以反应磁控溅射的方式在基片衬底上外延生长化合物薄膜材料（****、*****、*****、*****、
*****、****、*****等）；结合其多鞭位的优势，可以外延生长多元稀土化合物薄膜（******、********、
*****、*******、*******等）。系统配置冷阴极离子源、射频离子源、翻转倒置阴极。
*.该系统为高真空带进样室多功能*靴（永磁靴）+*个离子源+*个射频离子源+*个翻转倒置阴极辅助
沉积磁控溅射镀膜系统，系统可用于开发纳米级的单层及多层功能膜和复合膜-可镀金属、合金、化
合物、半导体、陶瓷膜、介质复合膜和其它化学反应膜等。系统主要由溅射室、*英寸永磁磁控溅射
鞭（*个鞭）、冷阴极离子源、射频离子源、翻转倒置阴极、*****高功率高脉冲直流溅射电源（*
台）、*******全自动匹配射频电源（*台）、****中山凯美全自动匹配射频电源、*套离子源+*台
电源（****）、样品台、样品加热炉、泵抽系统、真空测量系统、气路系统、电控系统等组成。
*.溅射室极限真空度：≤*.******（经烘烤除气后)；
溅射室采用进口德国普发分子泵*********和机械泵（**/*）+*****电动插班阀
进样室采用********/**脂润滑分子泵+**/*机械泵，此配置具有抽速快，可获得高真空环境，提供
薄膜的洁净度。
系统真空检漏漏率：≤*.******.*/*；
系统从不暴露大气开始抽气：****可达到*.******
******可达到*.******
*****可达到*.******
系统停泵关机**小时后真空度：≤***
*．进样室极限真空度：≤*.******（经烘烤除气后）；
真空获得采用****/**脂润滑分子泵和优质机械泵（**/*）。
系统从暴露大气开始抽气：*****可达到*.******；
电动齿轮齿条样品传递机构：*套，采用电动齿轮齿条样品传递机构实现样品在进样室和溅射室之间
*.
的全自动传递。
上
*.溅射室中配有*套*英寸高性能永磁共焦磁控溅射靴（溅射靴角度可调），分布在*个圆周上，各靴可
独立/顺次/共同工作，磁控通水冷却，采用磁控在下，垂直向上溅射成膜方式，磁控靴**、**、
**兼容，可以溅射磁性材料，磁控靴配有********气缸**度翻转气动挡板结构。
*．样品台布置在真空室顶部，加热样品台可放置最大*英寸样品*片，样品连续旋转功能，旋转*—**转
/分可调；
*.加热装置在采用进口铁铬铝电阻丝进行加热，加热温度：室温—***°*（氧气环境下），由热电偶闭
环反馈控制，可控可调。
*.，真空测量采用进口*************复合真空规进行测量，进样室采用进口*************复合真空规
进行测量。
系统配有*路*********控制进气系统（**、**、**），流量分别为*******、******、******。
*.
**．镀膜工艺压力控制采用电动插板阀+***控制，保证镀膜镀膜工艺具有较高的可靠性、稳定性和重复
性。
**.系统配有*台*****高功率高脉冲直流溅射电源和*台*******全自动调谐射频电源+*台****中山凯美
全自动调谐射频电源+*台****离子源电源。
**.系统配置*套带电动样品传递功能电动升降样品台；
**.尺寸为*英寸的样品可均镀膜，不均匀性&**;±*%（*英寸）（稀土化合物薄膜验证）
**.系统配有*台阳极层高压气体离子源可对样品进行清洗和辅助沉积，离子源通入氮气和氧气。
**、系统配有*个射频离子源，离子源安装法兰为****.
**、系统配有*个翻转倒置阴极。
**.系统采用***+触摸屏全自动控制：
*．镀膜工艺采用全自动*键自动控制。
*.样品传输采用全自动*键自动控制。
、系统功能及构成
该系统为单室结构，主要由溅射真空室、磁控溅射靴、离子源、射频离子源、翻转倒置阴极、自转基
片台、加热系统、直流电源、射频电源、工作气路、真空获得系统、安装机台、真空测量、水冷却及报警
系统和控制系统等部分组成，可用于金属薄膜、介质膜等的制备。
*、系统的主要组成及技术指标
系统真空检漏漏率：≤*.****~**.*/*；
系统从不暴露大气开始抽气：****可达到*.******；
******可达到*.******
系统停泵关机**小时后真空度：≤***
*、溅射真空室*套
真空室为*形前开门结构，尺寸为***********，全不锈钢结构。选用不锈钢材料制造，氩弧焊接，
*
表面进行电化学抛光国内首家钝化处理，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封；前开门带气缸自锁结
构。
真空室组件上焊有各种规格的法兰接口如下：
*.*、*****法兰接口：*个（观察窗口）；
*.*、****法兰接口：*个（*路进气管路、放气阀）；
*.*、*****法兰接口：*个（接分子泵）；
*.*、底板法兰接口：*个（用来安装磁控和靴挡板）
*.*、顶部法兰接口：*个（用来安装样品台）
*.*、****法兰接口：*个（接高真空电离规管、旁抽口、陶封引线，离子源）；
*.*、****法兰接口：*个；
*、进样真空室*套
真空室为方形上前开门结构，尺寸*****************，上开盖结构。选用航空*****体成形铝腔
体，表面进行电化学抛光钝化处理，接口采用氟橡胶圈密封；
真空室组件上焊有各种规格的法兰接口如下：
*.*、*****法兰接口：*个（观察窗口）；
*.*、****法兰接口：*个（*路进气管路、放气阀和真空规）；
*.*、*****法兰接口：*个（接分子泵）；
*.*、侧面法兰接口：*个（用来对接进样室和电动齿轮齿条样品传递机构）；
*.*、顶部法兰接口：*个（用来上开盖组件）；
*、样品传递机构*套
*.*、传输结构采用电动齿轮齿条传输接头；
*.*、采用闭环步进电机精确定位方式；
*.*、、配合样品台升降实现样品全自动*键式传输；
*、磁控溅射系统*套
*.*、鞭材尺寸：①*英寸**;
*.*、提供材：不锈钢测试鞭材*块
*.*、永磁靴，射频溅射与直流溅射兼容，内水冷；
*.*、磁控靴磁钢与水与真空隔离，靴头尺寸****，屏蔽罩采用*段调节固定，摆头采用焊接波纹管
方式，调节角度*-**度。
*.*、********气动**度反转靴控制挡板组件：*套；
*******
采用金属波纹管焊接气缸，采用球冠全遮挡挡板，角度*-**度安装开具方向可调节，圆周位置
任意安装，气缸放置在真空内，气缸接口为直径***不锈钢管
*.*、靴在下，向上溅射，共焦磁控溅射靴（溅射靴角度可调），分布在*个圆周上，各鞭可独立/
顺次/共同工作；
*.*、高功率高脉冲直流电源*台（数字式电源）：
输出电压****，输出功率：***，平均电流***，频率：*****-*******连续可调；
脉冲电流：***，占空比：*-**%，液晶屏显示，带***通讯接口；
*.*、****全自动调谐射频电源*台（***品牌）；*台
功率：****，频率：**.*****,带全自动匹配器，带***通讯接口，射频电源输出频率误差值
为≤*.***%；匹配时间&**;*秒
*.*、****全自动调谐射频电源*台（中山凯美）；*台
*.*、磁控靴与基片的距离可调，调节距离为：**~*****。
*套
*、冷阴极离子源
*.*、离离子源尺寸：数量：*台，尺寸：****。
*.*、离子源具有清洗功能；
*.*、高压离子源电源：*台（****、输出电流**）
*.*、
工作压力：*.*×**-***－*.***
*.*、使用气体：氩气/氧气/氮气/氢气/烷类气体。
*.*、离子源电源：*台数字式电源，液晶屏显示****（****/**）
*套
*、旋转升降全自动交接基片台
*英寸加热样品台：*套
*.*基片尺寸和数量：*英寸样品*次放置*片。
*.*、基片通过进口加热丝加热方式，加热温度：室温—***°*（在氧气环境下），由热电偶闭环反
馈控制，可控可调；工
*.*、基片公转由闭环步进电机驱动，*—**转/分连续可调，转动速度
**********
*.*、样品台可电动升降，密封方式采用金属焊接波纹管密封方式。
*.*、样品台电动升降配合样品传递装置实现样品全自动传输。
*、射频离子源：*套
安装法兰：****法兰
超高真空密封
采用双层水冷***铜线圈
陶瓷蜗。
*套
*、翻转倒置阴极：
鞭材尺寸：*英寸
高均匀性、高效率（效率**%）反转倒置阴极。
直流、直流脉冲电源兼容。
*、窗口及法兰接口部件*套
*.*、*****玻璃窗口：*块；
*.*、*****陶瓷封接引线法兰：*个（照明及内烘烤引线）；
*.*、盲法兰：****:*个；****：*个。
**、加热装置*套
加热装置在真空室上法兰上，对基片托板进行加热，通过热电偶控制控温电源实现闭环控制，系
统由加热器和*个加热控温电源组成，加热电源配备控温表，控温方式为***自动控温及数字显示；样
品加热温度：室温～***°*，连续可调；
**、工作气路*套
*.*、*******/******/******质量流量控制器（******，气体质量流量计响应时间&**;*秒）、****
电动截止阀、管路、接头等：共*路
*.*日本***电充气阀、管路、接头等：*路（日本***）；
*套
**、抽气机组及阀门、管道
*
**.*、脂润滑复合分子泵及控制电源：*台（*********德国普发）；
**.*、脂润滑复合分子泵：*台（****/*****/*北京****）
**.*、机械泵：**/*（浙江卓捷）*台
**.*、机械泵：**/*（浙江卓捷）*台
**.*、****气动阀：*台；
**.*、机械泵与真空室之间的旁抽管路：*套；
**.*、*****电动闸板阀：*台（用于复合分子泵与真空室隔离****）；
**.*、*****气动闸板阀：*台（用于溅射室与进样室隔离****）
**.*、****旁抽角阀：*台（北京）；
**、安装机台架组件*套
优质铝型材欧标结构，快卸围板表面喷塑处理；机台表面用不锈钢蒙皮装饰：*只脚轮，可固定，
****
可移动。
**、真空测量*套
溅射室采用进口*************真空规进行测量。
溅射室采用进口*************真空规进行测量。
**、系统采用***+触摸屏控制方式
**.*真空抽气全自动*键操作
**.*镀膜工艺可储存配方全自动*键操作
**.*样品传输全自动*键操作
**.*全自动取/送样品，全自动储存镀膜工艺、*键式操作、摇臂设计
**.****可自动保留历史参数数据（含电源、流量计后台数据）
**、备品备件*套
**、高性能循环水冷却器：*台
**、空气压缩机：*台
《产品配置清单》
| 序号 |
名称 |
参数 |
数量 |
生产厂家 |
| * |
高真空不锈钢腔室 |
约*****×***** |
*套 |
沈阳麦科诺 |
| * |
****铝*体成型铝腔体 |
***************** |
*套 |
沈阳麦科诺 |
| * |
电动齿轮齿条传输装置 |
|
*套 |
沈阳麦科诺 |
| * |
腔体防污内衬 |
|
*套 |
沈阳麦科诺 |
| * |
观察窗及法兰 |
*****配衬玻璃防污 |
*套 |
沈阳麦科诺 |
| * |
腔室照明 |
|
*只 |
沈阳麦科诺 |
| * |
旋转升降样品台 |
直径*英寸 |
*套 |
沈阳麦科诺 |
| * |
闭环步进电机及电源 |
|
*套 |
沈阳麦科诺 |
| ** |
陶封电极 |
*****芯 |
*套 |
沈阳麦科诺 |
| ** |
德国普发分子泵 |
********* |
*台 |
德国普发-进口 |
| ** |
分子泵 |
***/* |
*台 |
北京**** |
| ** |
机械泵 |
**/* |
*台 |
浙江卓捷 |
| ** |
机械泵 |
**/* |
*台 |
浙江卓捷 |
| ** |
电动插板阀 |
**-*** |
*台 |
北京**** |
| ** |
气动插板阀 |
**-*** |
*台 |
北京**** |
| ** |
旁抽阀 |
**** |
*台 |
沈阳麦科诺 |
| ** |
气动截止阀 |
**** |
支 |
沈阳麦科诺 |
| ** |
电磁充气阀 |
**** |
*支 |
沈阳麦科诺 |
| ** |
电磁截止阀 |
*** |
*台 |
日本***-进口 |
| ** |
真空抽气管道 |
不锈钢*通及波纹管* |
*台 |
沈阳麦科诺 |
| ** |
溅射室真空规 |
****** |
*个 |
*******-进口 |
| ** |
进样室真空规 |
****** |
*个 |
*******-进口 |
| ** |
永磁靴 |
麦科诺 |
*只 |
沈阳麦科诺 |
| ** |
射频离子源 |
麦科诺 |
*个 |
沈阳麦科诺 |
| ** |
翻转倒置阴极 |
麦科诺 |
*个 |
沈阳麦科诺 |
| ** |
磁控靴接管组件 |
|
*只 |
沈阳麦科诺 |
| ** |
靴的挡板 |
********气动 |
*只 |
沈阳麦科诺 |
| ** |
高功率高脉冲直流溅射电源 |
***** |
*台 |
成都 |
| ** |
冷阴极离子源 |
**** |
*台 |
沈阳麦科诺 |
| ** |
离子源 |
**** |
*台 |
沈阳麦科诺 |
| ** |
****射频电源 |
全自动匹配 |
*台 |
*** |
| ** |
****射频电源 |
中山凯美 |
*台 |
中山凯美 |
| ** |
质量流量控制器 |
量程*-********-*******-************ |
*路 |
****** |
| ** |
控制电源 |
分子泵、机械泵、电磁阀、水压报警、照明烘烤，基片旋转、基体加热、连锁控制系统等。 |
*台 |
沈阳麦科诺 |
| ** |
***+触摸屏控制系统 |
|
*台 |
沈阳麦科诺 |
| ** |
水管、变通、接嘴、不锈钢球阀、气路卡套、管接头 |
不锈钢材质，配套合理管路 |
*套 |
沈阳麦科诺 |
| ** |
气管、变通、接头气体管道 |
金属管 |
*套 |
沈阳麦科诺 |
| ** |
安装机架 |
表面喷塑、配脚轮、配门 |
*台 |
沈阳麦科诺 |
| ** |
鞭材 |
测试鞭材 |
*块 |
沈阳麦科诺 |
| ** |
密封、连接件及其附件 |
金属密封（静密封）+氟胶圈密封 |
*批 |
沈阳麦科诺 |
| ** |
氟橡胶密封圈 |
相应规格的泵、阀、管路、各轴封处易损密封圈 |
*套 |
沈阳麦科诺 |
| ** |
无氧铜垫圈 |
|
*套 |
沈阳麦科诺 |
| ** |
气泵 |
|
|
外购 |
| ** |
冷水机 |
*** |
*台 |
沈阳麦科诺 |
只
*、供电电源：*相****，****，***空开
*****
*、接地（******)；
料
系统接地：*Ω以下线径*****×*
*、设备外形尺寸；*************
*
*、冷却水（************）:
压力：*.*～***/***,進出水口压力差***/***以上
流速：**～***/*过滤软水
温度：**～**℃
水质：过滤软水
接头规格：*”**内牙×*
*、技术服务及质量保证
*、按真空标准质量管理体系组织设计、加工、装调、检验、包装、运输；
*、提供该设备的技术使用说明书及外购配件仪器仪表说明书；
*、在甲方现场验收后，*年内免费维修正常使用出现的故障，非正常的故障维修只核收工本费，终
身维修只核收工本费；
*、培训
*、培训时间：*周
培训人数：*～*人
*、培训内容及要求：
*）、了解设备的工作原理、组成及各部组件、控制系统的工作原理和使用方法；
*）熟练掌握整套系统的操作规程
*）能够对设备的*般故障进行诊断和简单维修，进行易损件的更换；
*）对设备能够进行日常的维护和保养。
*******
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