南方科技大学SUSTech-2020-103电子系感应耦合等离子体刻蚀机采购项目公开招标公告

***********-****-*** 电子系感应耦合等离子体刻蚀机采购项目****公告

公告信息：
采购项目名称	*******-****-*** 电子系感应耦合等离子体刻蚀机采购项目
品目	货物/****/专用仪器仪表/其他专用仪器仪表
采购单位	****
行政区域	****省	公告时间	****年**月**日 **:**
获取招标文件时间	****年**月**日 **:**至****年**月**日 **:**
招标文件售价	￥*
获取招标文件的地点	****://*************.*******.***.**/******/****/**/****/***/*
开标时间	****年**月**日 **:**
开标地点	****创园*栋***开标室
预算金额	￥***.*******元（人民币）
联系人及联系方式：
项目联系人	****
项目联系电话	****-********
采购单位	****
采购单位地址	****创园*栋采购与招标管理部
采购单位联系方式	陈老师 ****-********
代理机构名称	详见公告正文
代理机构地址	详见公告正文
代理机构联系方式	详见公告正文
附件：
附件*	*******-****-*** 电子系感应耦合等离子体刻蚀机采购项目.***

序号	货物名称	数量	单位
*	感应耦合等离子体刻蚀机	*	台

详细地址：****市****区西丽学苑大道****号

邮 编：******

联 系 人：【陈老师】（报名咨询）/ 【****】（项目咨询）

电 话：****-******** / ****-********

传 真：****-********

电子信箱：******@ *******.***.**

条款号	内容
*.*	招标人：名 称：****地 址：****市****区西丽学苑大道****号联系人：【陈老师】（报名咨询）/【****】（项目咨询）电 话：****-******** / ****-********传 真：****-********
**.*	投标文件的提供：投标人应提供投标文件正本*份、副本*份、“投标*览表”信封（内容见**.*条）*份。投标文件必须装订牢固,且逐页标注连续页码。
**.*	小签的要求：招标文件要求由投标人的法定代表人或其授权代表在投标文件上签字和加盖公章的部分。
**	投标文件的密封和标记及单独提交“投标*览表”信封：
**.*	投标文件须密封，且须在密封封口处加盖投标单位公章或有效签字，否则不予受理。
**.*	投标人须将投标文件正本和副本密封装在信封中（副本可密封装在*个或几个信封中），且在信封上标明“正本”“副本”字样。投标人须将“投标*览表”、“法定代表人证明书”（含身份证复印件）、“法定代表人授权委托书”（含身份证复印件）、“社保部门出具的被授权人近*个月社保证明资料”、“投标文件电子文档”（使用****、*****、***或*******格式刻录的只读光盘）各*份装入*个密封信封内，信封上标明“投标*览表”字样，在投标时单独提交，资料不齐全者，做废标处理。以上格式均需按招标文件中格式填写，不得修改。
**.*	投标文件的密封信封均应注明：项目编号：*******-****-*** 项目名称：电子系感应耦合等离子体刻蚀机采购项目 “在【****】年【**】月【**】日**:**（北京时间）之前不得启封”的字样。
注：本表是对“投标人须知”对应条款的具体补充和修改，如有矛盾应以本专用表为准。

第*节 说明
*. 资金来源
*.*	招标人已获得采购资金，招标人计划将*部分资金用于支付本次招标后所签订的合同项下的款项。
*. 招标人
*.*	招标人是指获得资金并依法提出招标项目、进行招标的国家机关、企事业单位或者其他社会组织，或称采购人、买方。本次招标的招标人名称、地址、联系人、电话、传真见第*章“投标人须知专用表”。
*. 合格的投标人
*.*	投标人是响应招标的法人或其它组织。法定代表人为同*个实际控制人控制或同*个法定代表人的*个及*个以上法人，母公司、全资子公司及其控股公司，不可在本招标中同时投标。
*.*	只有在法律上和财务上独立、合法运作并独立于招标人的供货人才能参加投标。招标人的任何不具独立法人资格的附属机构（单位），无资格参加该项目的投标。
*. 保密及知识产权
*.*	本招标项目为由投标人为满足招标文件要求而提供的服务以及其他伴随服务。
*.*	由招标人向投标人提供的图纸、详细资料、样品、模型、模件和所有其他资料，被视为保密资料，仅被用于它所规定的用途，除非得到招标人的同意，不能向任何第*方透露或将其用于本次投标以外的任何用途。开标完成后，应招标人要求，投标人应归还所有从招标人处获得的保密资料，并销毁所有需保密的备份文件和资料。
*.*	投标人应保证，招标人在中华人民共和国使用该货物或货物的任何*部分时，免受第*方提出的侵犯其专利权、商标权或工业设计权的起诉。
*. 投标费用
*.*	不投标结果如何，投标人应承担其编制投标文件与递交投标文件所涉及的*切费用。
*. 其他注意事项
第*节 招标文件
*. 招标文件构成
*.*	要求提供的货物、招标过程和合同条件在招标文件中均有说明。招标文件共*章，内容如下：第*章 招标公告第*章 投标人须知第*章 招标需求要览第*章 合同格式第*章 投标文件格式
*.*	投标人应认真阅读招标文件中所有的事项、格式、条款和技术规范等。投标人没有按照招标文件要求提交全部资料，或者投标没有对招标文件在各方面都作出实质性响应是投标人的风险，并可能导致其投标被拒绝。
*. 招标文件的澄清
*.*	任何要求对招标文件进行澄清的投标人，均应以书面形式通知招标人。招标人对其在投标截止期*天以前收到的对招标文件的澄清要求均以书面形式予以答复，同时将书面答复发给每个已报名的投标人（答复中不包括问题的来源）。
*. 招标文件的修改
*.*	投标截止期前的任何时候，无论出于何种原因，招标人可主动地或在解答投标人提出的澄清问题时对招标文件进行修改。
*.*	招标文件的修改将以书面形式通知所有购买招标文件的投标人，并对其具有约束力。投标人在收到上述通知后，应立即向招标人回函确认。
*.*	为使投标人准备投标时有充分时间对招标文件的修改部分进行研究，招标人将按规定和需要适当推迟投标截止期。
第*节 投标文件的编制
**. 投标的语言
**.*	投标人提交的投标文件以及投标人与招标人就有关投标的所有来往函电均应使用中文书写。对于任何非中文的资料，都应提供中文翻译本，在解释时以翻译本为准。
**. 投标文件构成
**.*	投标人编写的投标文件应包括下列部分：*）投标书（见格式*）*）投标*览表（见格式*）*）投标分项报价表（见格式*）*）货物说明*览表（见格式*）*）技术性能参数的详细描述（见格式*）*）技术规格响应/偏离表（见格式*）*）商务条款响应/偏离表（见格式*）*）公司情况介绍（见格式*）*）售后服务计划（见格式*）**）法定代表人证明书（见格式**）**）法定代表人授权书（见格式**）**）资格证明文件（见格式**）**）诚信情况承诺函（见格式**）**）安全文明施工保障措施（见格式**）**）服务方案（见格式**）**）投标文件电子文档（使用****、*****、*******格式刻录的只读光盘）；**）符合“招标文件”规定的证明文件及投标方认为需加以说明的其他内容。
**.*	投标方应将“投标文件”装订成册，不得出现重页或缺页，并在投标文件中标明页码及索引，以便于评标委员会的查阅。
**. 投标文件格式
**.*	投标人应按招标文件第*章提供的“投标文件格式”完整地填写投标文件及招标文件规定的其它内容。未按规定格式填写，内容不全或关键字迹模糊、无法辨认的按废标处理。
**. 投标报价和货币
**.*	投标报价为包干价。
**.*	货币类型为人民币。
**. 投标人资格的证明文件
**.*	投标人应提交证明其有资格参加投标和中标后有能力履行合同的文件，并作为其投标文件的*部分。
**.*	投标人提交的资格证明文件应符合招标人的要求。
**.*	投标人提交的证明其中标后能履行合同的资格证明文件应包括下列文件：*) 投标人已具备履行合同所需的财务、技术和生产能力；*) 投标人应满足招标文件第*章中规定的资格标准；*）招标文件中要求的其它资格证明文件；*）法律法规规定的其他情形。
**. 知识产权
**.*	投标人必须保证，招标人在中华人民共和国境内接受投标服务时，享有不受限制的无偿使用，不会产生因第*方提出侵犯其知识产权而引起的法律或经济纠纷。如投标人不拥有相应的知识产权，则在投标报价中必须包括合法获取该知识产权的*切相关费用。
**. 投标保证金（本项目不适用）
**.*	投标人应按“投标人须知”规定的时间、金额提交投标保证金，并作为其投标的*部分。
**.*	投标保证金是为了保护招标人免遭因投标人的行为而蒙受损失。招标人在因投标人的行为受到损害时可根据本须知第**.*条的规定没收投标人的投标保证金。
**.*	投标保证金应用投标货币即人民币，以银行转账（从投标人基本账户转出）方式提交，并到达****银行账户，否则将导致投标人当次投标无效。不按要求填写项目编号，导致无法识别归属项目，由此造成的损失由投标人自行承担。投标保证金金额：小写：¥**,***.**（大写：人民币**元整）户名：****账号：*******************开户银行：中信银行****分行营业部备注：投标保证金-项目名称-项目编号联系方式：*******@ *******.***.**（邮件主题模板：投标保证金-项目名称-项目编号-公司名称）
**.*	凡没有根据本须知第**.*和**.*条的规定随附有效的投标保证金的投标，应按本须知第**条的规定视为非响应性投标予以拒绝。
**.*	投标人的投标保证金，按照本须知**.*的要求办理保证金退还手续后，尽速退还。
**.*	中标人的投标保证金，在中标人按本须知第**规定签订合同后予以退还或转为履约保证金。
**.*	下列任何情况发生时，投标保证金不予退还：*.投标人已递交投标书，并在投标截止时间之后，撤销投标的；*.中标人无正当理由未在规定期限内签订合同的；*.投标人提供虚假投标文件或虚假澄清补充文件的；*.在招标期间采用不正当手段影响评标结果或谋取中标的；*.法律法规和招标文件中规定的其他情形。
**.*	退还投标保证金所需提供资料*.退还投标保证金的函（模板见****招标办公室部门网站“资料下载”栏）*.投标保证金缴纳凭证*.中标单位需提交采购合同复印件
**. 投标有效期
**.*	投标应在本须知**.*条规定的开标日后**个日历日内保持有效，否则将导致废标。
**.*	特殊情况下，在原投标有效期截止之前，招标人可要求投标人同意延长投标有效期。这种要求与答复均应以书面形式提交。投标人可拒绝招标人的这种要求，其投标保证金将不会被没收（如有）。接受延长投标有效期的投标人将不会被要求和允许修正其投标，而只会被要求相应地延长其投标保证金的有效期（如有）。在这种情况下，本须知第**条有关投标保证金的退还和没收的规定将在延长了的有效期内继续有效。
**. 投标文件的式样和签署
**.*	投标人应准备“投标人须知专用表”规定数目的正本、副本及“投标*览表”信封（内容见**.*条），投标文件须清楚地标明“正本”或“副本”。若正本和副本不符，以正本为准；纸质文件和电子文档内容不*致时，以纸质文件为准。投标文件必须装订牢固,且逐页标注连续页码。
**.*	投标文件的正本需打印，并由投标人法定代表人或经其正式授权并对投标人有约束力的代表在投标文件上签字（简称：有效签字）和加盖公章。授权代表须将以书面形式出具的“法定代表人授权书”附在投标文件中。投标文件应按招标文件要求的范围由投标人法定代表人或其授权代表用姓或首字母签字（简称：小签，在要求小签页盖章或签字视同小签）。投标文件的副本可采用正本的复印件。
**.*	任何行间插字、涂改和增删，必须由投标文件签字人用姓或首字母在旁边签字才有效。**
第*节 投标文件的递交
**. 投标文件的密封和标记
**.*	投标文件须密封，且须在密封封口处加盖投标单位公章或有效签字。
**.*	投标人须将投标文件正本和所有的副本分开密封装在信封中（副本可密封装在*个或几个信封中），且在信封上标明“正本”“副本”字样。投标人须将“投标*览表”、“法定代表人证明书”（含身份证复印件）、“法定代表人授权委托书”（含身份证复印件）、“社保部门出具的被授权人近*个月社保证明资料”、“投标文件电子文档”（使用****、*****、***或*******格式刻录的只读光盘）、各*份装入*个密封信封内，信封上标明“投标*览表”字样，在投标时单独提交，资料不齐全者，做废标处理。以上格式均需按招标文件中格式填写，不得修改。
**.*	信封均应：*)清楚标明递交至：“招标公告”指明的投标地点。*)注明项目编号、项目名称 “在（“招标公告”规定的开标日期和时间）之前不得启封”的字样。
**. 投标截止期
**.*	投标人应在不迟于“招标公告”中规定的投标截止时间和投标地点将投标文件递交至招标人，逾期送达或未送达指定地点的不予受理。
**.*	招标人可以按本须知第*条规定，通过修改招标文件自行决定酌情延长投标截止期。在此情况下，招标人和投标人受投标截止期制约的所有权利和义务均应延长至新的截止期。
**.*	招标人于开标前**分钟开始接收投标文件。
**. 迟交的投标文件
**.*	招标人将拒绝并原封退回在本须知第**条规定的截止时间后收到的任何投标文件。
**. 投标文件的修改与撤回
**.*	投标人在递交投标文件后，可以修改或撤回其投标，但招标人必须在第**条规定的投标截止期之前，收到修改或撤回的书面通知。
**.*	投标人的修改或撤回通知应按本须知第**条规定编制、密封、标记和递交。
**.*	在投标截止期之后，投标人不得对其投标做任何修改。
**.*	从投标截止期至投标人在投标书格式中确定的投标有效期之间的这段时间内，投标人不得撤回其投标，否则其投标保证金将按照本须知第**.*条的规定被没收。
**. 评标委员会
**.*	依法组成评标委员会，评标委员会由招标人和有关技术、经济等方面的专家组成，成员人数为不少于*人以上单数，其中技术、经济等方面的专家不少于成员总数的*分之*。
第*节 开标与评标
**. 开标
**.*	招标人在“招标公告”规定的时间和地点组织公开开标。开标时需有投标人代表参加。参加开标的代表应签名报到以证明其出席。
**.*	开标时，招标人当众宣读投标人名称、修改和撤回投标的通知、投标价格、折扣声明、是否提交了投标保证金，以及招标人认为合适的其他内容。除了按照本须知第**条的规定原封退回迟到的投标之外，开标时将不得拒绝任何投标。
**.*	招标人将做开标记录。
**.*	投标人代表对开标过程和开标记录有疑义，以及认为采购人相关工作人员有需要回避的情形的，应当场提出询问或者回避申请。
**. 投标文件的澄清
**.*	在评标期间，评标委员会可要求投标人对其投标文件进行澄清，但不得寻求、提供或允许对投标价格等实质性内容做任何更改。
**. 投标文件的初审
**.*		评标委员会将审查投标文件是否完整、总体编排是否有序、文件签署是否合格、投标人是否提交了投标保证金、有无计算上的错误等。
**.*		投标文件报价出现前后不*致的，除专用条款另有规定外，按照下列规定修正：
**.*.*		投标文件中开标*览表内容与投标文件中相应内容不*致的，以开标*览表为准；
**.*.*		大写金额和小写金额不*致的，以大写金额为准；
**.*.*		单价金额小数点或者*分比有明显错位，以开标*览表的总价为准，并修改单价；
**.*.*		总价金额与按单价汇总金额不*致的，以单价金额计算结果为准；
**.*.*		同时出现*种以上不*致的，按照前款规定的顺序修正。修正后的报价经投标人确认后产生约束力，投标人不确认的，其投标无效。
**.*		对于投标文件中不构成实质性偏差的不正规、不*致或不规则，评标委员会可以接受，但这种接受不能损害或影响任何投标人的相对排序。
**.*		评标委员会将要审查每份投标文件是否实质上响应了招标文件的要求。实质上响应的投标应该是与招标文件要求的全部条款、条件和规格相符，没有重大偏离的投标。对关键条文的偏离、保留或反对，例如关于投标保证金、适用法律、税等内容的偏离将被认为是实质上的偏离。评标委员会决定投标的响应性只根据投标本身的内容，而不寻求外部的证据。
**.*		实质上没有响应招标文件要求的投标将被拒绝。投标人不得通过修正或撤消不合要求的偏离或保留从而使其投标成为实质上响应的投标。如发现下列情况之*的，其投标将被拒绝：*）投标人的投标书或资格证明文件未提供或不符合招标文件要求的；*）投标文件中要求法人代表签字和加盖公章的文件无法人代表签字或公章的，或签字人无法人代表有效委托的；*）投标报价有严重缺漏项目的； *）投标文件的响应与事实不符或虚假投标的；*）投标人复制招标文件的技术规格相关部分内容作为其投标文件中*部分的；*）投标文件符合招标文件中规定废标的其他因素的。
**.*		备选方案及其他额外的评标因素和标准，除非需求明细中另有规定，只允许投标人有*个投标方案，否则，其投标将被拒绝。如果需求明细中规定允许有备选方案，在需求明细中将对备选方案的要求作出具体说明。 其他额外的评标因素和标准将在需求明细中详细规定。
**. 评标
见招标文件：第*章“第*节 评标办法”
**. 资格后审
**.*	招标人将审查评标排序第*的投标人是否有能力令人满意地履行合同。包括对该投标人的规模、人员、场地、货物等方面的核实或现场考察。
**.*	授标决定时还将考虑投标人的财务、技术和生产能力在招标期间是否有实质性变化。其基础是审查投标人按照本须知第**条规定提交的资格证明文件和招标人认为必要的、合适的其它资料。
**.*	如果审查通过，招标人将把合同授予该投标人；如果审查没有通过，评标委员会将拒绝其投标，并对排序下*个的投标人能否令人满意地履行合同作类似的审查。
**. 与招标人的接触
**.*	除本须知第**.*条的规定外，从开标之日起至授予合同期间，投标人不得就与其投标有关的事项与招标人和评标委员会接触。
**.*	投标人试图对招标人和评标委员会的评标或授予合同的决定进行影响，都可能导致其投标被拒绝。
第*节 授予合同
**. 接受和拒绝任何或所有投标的权利
**.*	招标人保留在授标之前任何时候接受或拒绝任何投标，以及宣布招标程序无效或拒绝所有投标的权利，对受影响的投标人不承担任何责任。
**. 中标结果公告
**.*	评标结果公示期满，招标人、投标人、有关部门无质疑，或质疑已处理完毕后，将在****官网（****://***.*******.***.**）发布中标结果公告。
**. 中标通知书
**.*	中标人确定后，招标人将向中标人发出中标通知书。
**.*	中标通知书是合同的*个组成部分。
**. 签订合同
**.*	中标人应在收到《中标通知书》后*个工作日内，与买方签订合同。否则招标人有权取消中标人的中标资格。
**.*	“招标文件”、中标方的“投标文件”及其澄清文件等，均为签订经济合同的依据。中标人不得与招标人再订立背离合同实质性内容的其他协议。
**. 履约担保
**.*	不适用。
**. 招标文件的解释权**.* 本招标文件的解释权归****。

序号	招标商务要求
*	投标产品必须是全新、未使用过的原装合格正品（包括*部件），如安装或配置了软件的，须为正版软件。如为进口产品，必须具有合法的进口手续和途径，在供货时必须提供原产地证明及相关进口资料。不接受贴牌及非正当进货渠道产品。
*	投标人提供的产品及其有关服务必须符合中华人民共和国的设计和制造生产标准或行业标准。
*	投标产品是合法注册有效周期内该品牌最新型号的产品，其产品符合国家有关安全规定。不得提供已停产或淘汰的产品，否则将按未响应技术参数要求处理。
*	中标人无偿提供验收测试报告，所供货的产品必须符合中国电源标准及规范国际接插头，如不符合，中标人必须无偿更换，配齐相关的水电气接插件，并符合上述标准。
*	交货期：签订合同后***天内。
*	交货地点：****工学院南楼*楼。
*	★设备免费保修期：设备免费保修*年。保修期内，中标人所提供的系统设备各部件发生非人为故障的，中标人应免费上门维修。保修期内，必须保证设备**％以上工作日正常工作，同*硬件*个月内连续*次或以上出现同*故障，中标人须无偿更换同*型号全新设备，并承诺系统设备终身维护。在无故障的情况下，每年定期上门对机器进行检测，运行调节，内部清洁等。保修期内，中标人对设备维修不收取任何费用，包括但不限于以下费用：*配件成本费、人工费、维修费等相关费用。保修期过后，设备维修只收取*配件成本费，不收取人工费、维修费等其他费用。
*	设备维修响应：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，*小时内响应，**小时内派员上门现场维护，并在**小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。若中标人不能按照上述要求进行维修，导致设备故障维修不及时，且无法提供代用设备的，按维修时间每超过*天赔偿合同总金额的*.*%（最高处罚不超过合同总金额的*%）或按实际损失赔偿。情节严重者，招标人将诉诸法律程序。
*	验收要求：中标人将所有货物完好无损地送到招标人指定地点且负责安装、调试、试运行，在未发现中标人有违反售后服务承诺或质量问题的前提下，并经招标人验收合格。
**	培训：中标人在设备安装调试完成前交付使用说明书、维修手册、图纸等相关资料。同时承诺免费对招标人进行专业的设备操作、维护、维修培训及指导，直至其完全掌握货物的功能应用及基本故障处理技术。
**	付款方式：合同签订且收到发票后支付合同总价的**%为进度款，货到指定地点、安装验收合格后支付**%，余款*%待质保期满，无质量问题且经招标人确认后无息支付。
**	国产货物：招标人指定地点交货，投标总价为人民币包干价，包括但不限于：货物（含设备费、软件费、辅材费等）价款、包装、运输、装卸、安装、调试、技术指导、培训、咨询、服务、保险、检测、验收合格交付使用之前及技术和售后服务等其他各项有关费用，以及*切不可预见费等，项目结算时不做任何单价或费用的调整。进口货物：***招标人指定地点，投标总价为人民币包干价，符合国家科教仪器免税政策的设备应报人民币免税价，包括但不限于：货物（含设备费、软件费、辅材费等）价款、包装、运输、装卸、安装、调试、技术指导、培训、咨询、服务、保险、检测、验收合格交付使用之前以及技术和售后服务等其他各项有关费用，以及*切不可预见费等。为规范办理进出口业务，确保货物与进口清关单据保持唯*对应关系，即单单相符、单证相符、单货相符，办理进口代理及相关服务的单位必须为招标人所指定或认可，投标报价包含进口代理费以及发生的其他所有相关费用。汇率风险由中标人承担。

序号	货物名称	数量	单位
*	感应耦合等离子体刻蚀机	*	台

序号	货物名称	技术参数或功能要求
*	感应耦合等离子体刻蚀机	该设备主要由刻蚀腔体、进样室、下电极、射频等离子体源及自动匹配单元、气路系统、真空系统、冷水机、***刻蚀模块、控制单元等组成. 设备功能：通过感应耦合（***）方式产生高密度等离子体，采用氯基工艺气体，实现对*** **** 等材料的刻蚀
*	感应耦合等离子体刻蚀机	*.* 工艺腔体及下电极
*	感应耦合等离子体刻蚀机	*.*刻蚀反应腔体为内圆柱形由整块铝锭制成，无焊缝，保证低的真空漏率
*	感应耦合等离子体刻蚀机	*.* 刻蚀反应腔室具备加热功能，可加热至最高****，加热区域包括腔体壁、真空管道、阀等
*	感应耦合等离子体刻蚀机	▲*.* 下电极为流体制冷/电加热式有内置***控制加热器，温度控制范围为-**度至***度，温度控制精度为+/-*度
*	感应耦合等离子体刻蚀机	*.*下电极具备样品氦气背冷功能，同时配置独立冷却机用于下电极的循环冷却，温度控制范围-**度到**度，控制精度±*.*度
*	感应耦合等离子体刻蚀机	*.*刻蚀腔体留有观察窗
*	感应耦合等离子体刻蚀机	▲*.* 下电极直径*****，支持*寸到*寸规则晶圆，同时通过托盘可以处理不规则晶圆，*寸到*寸为单片处理，小于*寸或碎片可根据情况处理多片
*	感应耦合等离子体刻蚀机	*．射频源系统
*	感应耦合等离子体刻蚀机	▲*.* ***源：功率**瓦，频率****，采用管式*** 源设计，配备自动匹配单元匹配时间&**;*秒，采用水冷，连接机台上电极
*	感应耦合等离子体刻蚀机	*.* **射频源：功率***瓦，频率**.*****，配备自动匹配单元，采用风冷，连接机台下电极
*	感应耦合等离子体刻蚀机	*．真空系统
*	感应耦合等离子体刻蚀机	*.* 腔体与进样室采用独立的前级干泵，其中刻蚀工艺腔干泵，抽速不小于***立方每小时；进样室干泵，抽速不小于**立方每小时
*	感应耦合等离子体刻蚀机	▲*.* 刻蚀腔室配置防腐蚀，磁悬浮涡轮分子泵带阀体加热，抽速****升每秒
*	感应耦合等离子体刻蚀机	*.*刻蚀腔高真空闸阀采用***快速开关闸阀，开断时间*秒
*	感应耦合等离子体刻蚀机	*.*刻蚀腔体极限真空度：**-***，漏率**-*****.*/*
*	感应耦合等离子体刻蚀机	*.*进样室极限真空度：****，漏率**-*****.*/*
*	感应耦合等离子体刻蚀机	*.*进样室传样杆使用伺服电机马达驱动
*	感应耦合等离子体刻蚀机	*.* 抽气管道及前级管道带电加热组件可加热至最高**度，有助于减少管道种副产物的沉积
*	感应耦合等离子体刻蚀机	*. 气路系统
*	感应耦合等离子体刻蚀机	*.* 采用最多可以配置*路气体气盒，配置*路气体：****, ***, ***, **, **
*	感应耦合等离子体刻蚀机	*.*腐蚀性气体气路配置防腐蚀质量流量计及旁路设计、颗粒过滤器气动截止阀；其余气路需配置质量流量计***、颗粒过滤器和气动截止阀.
*	感应耦合等离子体刻蚀机	*.*采用***数字型***，控制范围为满量程的*%~***%，控制精度：+/-*%设定值（**~***%量程）；+/-*.*%设定值（*~**%量程）
*	感应耦合等离子体刻蚀机	*.*单独配置*路辅助气体：吹扫用氮气气路和背冷用氦气气路
*	感应耦合等离子体刻蚀机	*. 真空量测系统
*	感应耦合等离子体刻蚀机	*.* 工艺腔体配置********电容式真空量测计，范围*~********及潘宁规用于量测工艺腔室极限真空
*	感应耦合等离子体刻蚀机	*.* 进样室配置皮拉尼真空计用于大气到低真空量测
*	感应耦合等离子体刻蚀机	*．原子层刻蚀模块
*	感应耦合等离子体刻蚀机	▲*.* 原子层刻蚀功能（***）模块可实现低速低损伤刻蚀
*	感应耦合等离子体刻蚀机	▲*.* 配置光学终点监测配合原子层刻蚀工艺
*	感应耦合等离子体刻蚀机	*．软件系统
*	感应耦合等离子体刻蚀机	*.*系统配置电脑运行操作软件系统，便于工艺和系统参数的设定和存储
*	感应耦合等离子体刻蚀机	*.*工艺操作软件可用程序控制气体流量、气压、等离子源功率、下电极温度等工艺参数，工艺程序可自动运行菜单，也可人工干预和控制。可编辑、调用、拷贝相关工艺程序，具有数据记录、输出功能。
*	感应耦合等离子体刻蚀机	*.* 具有内嵌安全互锁装置，并配有多级密码访问权限的操作安全设计
*	感应耦合等离子体刻蚀机	*. 工艺指标
*	感应耦合等离子体刻蚀机	*.*.* *** ****: ***/** *********; ******* ***** ****; **** ****.
*	感应耦合等离子体刻蚀机	*.*.*刻蚀速率: &**;***/***
*	感应耦合等离子体刻蚀机	*.*.*片内均匀性: &**;+/-*%(*******); 片间均匀性: &**;+/-*%
*	感应耦合等离子体刻蚀机	*.*.*对光刻胶选择比: *:*
*	感应耦合等离子体刻蚀机	*.*.*侧壁角度&**;**度
*	感应耦合等离子体刻蚀机	*.*.* ***基底(***** ***): ***/** *********; ******* ***** ****; *** ****
*	感应耦合等离子体刻蚀机	*.*.*刻蚀速率: &**;*****/***
*	感应耦合等离子体刻蚀机	*.*.*片内均匀性: &**;+/-*%(*******); 片间均匀性: &**;+/-*%
*	感应耦合等离子体刻蚀机	*.*.*对光刻胶选择比: *:*
*	感应耦合等离子体刻蚀机	*.*.*侧壁角度&**;**度

*.	投标文件有下列情形之*的，不予受理：
*.*	在投标截止时间以后送达的，或者未送达指定地点的；
*.*	未按本章“投标人须知专用表”**.*要求密封的；
*.*	出席开标会的投标人法定代表人或其授权代表人未携带身份证原件备查的；
*.*	投标人的名称与报名领取招标文件时登记的不*致的。
*.	投标文件有下列情形之*的，按无效标处理：
*.*	投标人的投标书或资格证明文件未提供或不符合招标文件要求的；
*.*	投标文件中要求法人代表签字和加盖公章的文件无法人代表签字和公章的，或签字人无法人提供有效委托文件的；
*.*	未按规定的格式填写，内容不全或关键字迹模糊、无法辨认的；
*.*	投标有效期不满足招标文件要求的；
*.*	投标人递交*份或多份内容不同投标方案，招标文件规定提交备选投标方案的除外；
*.*	投标报价有严重缺漏项目的；
*.*	同*实际控制人控制的或法定代表人为同*个人的*个及*个以上法人，母公司、全资子公司及其控股公司，在本招标中同时投标。
*.	投标文件有下列情形之*的，按废标处理：
*.*	投标人以他人的名义投标或出现下列串通投标、弄虚作假投标嫌疑的：
*.*.*	不同投标人的投标文件内容（含错漏之处）存在非正常*致；
*.*.*	不同投标人的投标文件载明的项目管理班子成员出现同*人的；
*.*.*	不同投标人的投标文件相互混装的；
*.*.*	评委会认定的其他串通投标情形。
*.*	投标人拒不按照要求对投标文件进行澄清、说明、补正的；评标委员会根据招标文件的规定对投标文件的计算错误进行修正，投标人不接受修正后的投标报价的；
*.*	投标文件的投标报价中包含了价格调整要求的投标；
*.*	投标人复制招标文件的技术规格相关部分内容作为其投标文件中*部分的；
*.*	投标文件符合招标文件中规定废标的其他因素的。

*.	评标办法：综合评分法
*.	评标程序：
*.*	符合性检查：
*.*.*	评标委员会根据“评比因素《符合性检查表》”的内容和标准，对所有投标进行符合性检查。
*.*.*	符合性检查的对象是投标人提交的投标文件，评标委员会只就投标文件中所载明的情况进行评审。
*.*.*	符合性检查的结果是“通过”或“不通过”，只有逐条通过《符合性检查表》各项检查的投标方能进入下*阶段的评标，否则将导致其投标被废标。
*.*	商务及技术评议：
*.*.*	评标委员会根据“评比因素《商务及技术评议指标表》”的内容和标准，对通过符合性检查的投标进行商务及技术评议。
*.*.*	评标委员会将对照招标文件中的商务、技术需求条款和投标文件中的商务、技术条款响应进行评议。评标委员会成员将按照“评比因素《商务及技术评议指标表》”确定的权重比例独立对每个投标的商务及技术部分以打分的方式进行评议。
*.*.*	评委会成员将对照招标文件中的相关要求和投标文件的响应情况进行打分。每位投标人的得分由评委的评分进行算术平均得出。
*.*	价格评议：评委会根据招标文件“评比因素”中对应的内容和标准，对通过符合性和不可偏离项检查的投标进行价格评议。
*.*	综合得分：投标人的最终评标得分＝价格得分+商务评议得分+技术评议得分。
*.*	预中标人的确定：
*.*.*	根据各投标人的评标总得分由高到低顺序列出投标人的名次，推荐综合得分高的为中标候选人。
*.*.*	评标总得分相同的，按投标报价由低到高顺序排列；评标总得分且投标报价相同的，按技术指标得分优劣顺序排列。

序号	评议项目	评议标准
*	法定代表人证明书/法人授权委托证明书（投标文件如由法定代表人签署，需提供法定代表人证明书，否则需提供法定代表人证明书和法人授权委托证明书)	合格/不合格
*	同*项目出现*个或以上报价，且按规定无法确定哪个是有效报价	合格/不合格
*	投标人的报价低于其成本，且不能在合理的时间内提供书面说明，或无法提交相关证明材料，不能证明投标人报价合理性的	合格/不合格
*	投标报价有严重缺漏项目	合格/不合格
*	投标文件载明的交货期超过招标文件规定的期限	合格/不合格
*	投标文件载明的免费保修期低于招标文件规定的期限	合格/不合格
*	所投产品、工程、服务在质量、技术、方案等方面没有实质性满足招标文件要求，或者不可偏离项有负偏离的	合格/不合格
*	未按招标文件对投标文件组成的要求提供投标文件的（投标文件组成不完整或未按格式填写）	合格/不合格
*	《技术规格响应/偏离表》或《商务条款响应/偏离表》填写不全、不明或不实	合格/不合格
**	法律、法规规定的其他情形	合格/不合格
	结论	通过/不通过

类别	评分项目	权重	评分准则
价格分(**分)	投标总价	**	投标报价得分=（评标基准价/投标报价）×***×**%，评标基准价为通过符合性审查且价格最低的投标报价。
商务分（**分）	服务方案	*	包括技术团队、方案、人员、实施进度、相关配套措施、场地、车辆等。优得*分，良得*分，中得*分，差不得分。请提供相关证明资料，评分中出现无证明资料或专家无法凭所提供资料判断是否得分的情况，*律作不得分处理。评价为“差”的，专家需说明情况。
商务分（**分）	近*年销售业绩	*	近*年（以投标截止日期为准，前推*年）每提供*个相关业绩，得*分，满分*分。销售业绩指与投标产品相同品牌相同类型的产品。非单*产品采购项目，以核心产品销售业绩为准。提供合同扫描件，并加盖公章，原件备查。评分中出现无证明资料或专家无法凭所提供资料判断是否得分的情况，*律作不得分处理。
商务分（**分）	售后服务	*	包括维修响应时间、技术支持与培训、本地化服务等。优得*分，良得*分，中得*分，差不得分。评价为“差”的，专家需说明情况。
商务分（**分）	诚信情况	*	按照附件**要求提供承诺函。修改承诺函格式不得分，不提供承诺函不得分，不作废标处理。
技术分（**分）	安全文明施工保障措施	*	包括交货及货物安装时的文明施工、材料堆放、垃圾清运、环境保护、噪音控制、对现有设备与场地的保护、安全警示标志牌、车辆停放等。优得*分，良得*分，中得*分，差不得分。请提供相关证明资料，评分中出现无证明资料或专家无法凭所提供资料判断是否得分的情况，*律作不得分处理。评价为“差”的，专家需说明情况。
技术分（**分）	产品的综合性能	**	满分**分，所有标注“▲”的重要参数每项负偏离扣*分，*般参数每项负偏离扣*分，正偏离不加分，扣完为止。
总分	***		总得分（*）总分***分=价格分+商务分+技术分

投标人名称	投标总价（元）
	大写：小写：

序号	货物名称	品牌、型号和规格	制造商及原产地	数量及单位	单价	总价
总 计

序号	货物名称	品牌、型号和规格	制造商及原产地	数量及单位	交货期	备注

招标文件技术要求		投标人响应
需求名称	需求说明	投标人响应情况	是否有偏离（填写有/无）	偏离说明（注明正/负偏离）
详见招标文件第*章	详见招标文件第*章

招标文件商务要求		投标人响应
需求名称	需求说明	投标人响应情况	是否有偏离（填写有/无）	偏离说明（注明正/负偏离）
详见招标文件第*章	详见招标文件第*章

评审项目	内容或数据	查阅指引
近*年（【】年至【】年）主营业务收入	【】年： *元【】年： *元【】年： *元	【】至【】年度财务报表/审计报告备查
近*年（【】年至【】年年）公司利润	【】年： *元【】年： *元【】年： *元	【】至【】年度财务报表/审计报告备查
近*年获奖情况		证明文件备查
近*年投标设备销售经验	共 项，合同共 *元	证明文件备查