中国科学院空天信息创新研究院大型无油真空排气台采购项目公开招标公告

项目概况

**** 招标项目的潜在投标人应在****市海淀区*季青常青路和泓*季*号楼国信招标获取招标文件，并于****年**月**日 **点**分（****时间）前递交投标文件。

*、项目基本情况

项目编号：****-*-********

项目名称：****

预算金额：***.******* *元（人民币）

最高限价（如有）：***.******* *元（人民币）

采购需求：

货物名称：大型无油真空排气台

主要规格（技术要求）：详见第*章 采购需求

单位：台

数量：*

交货时间或交货期：合同签订后**个月内

交货地点：****市****区雁栖东*路*号(至项目所在地安装地点)

是否接受进口产品投标：否

其他：投标人必须对招标货物内所有货物进行投标，不允许只投标其中的*部分，否则作为无效标处理。

合同履行期限：自合同签订之日起

本项目(不接受 )联合体投标。

*、申请人的资格要求：

*.满足《中华人民共和国****法》第***条规定；

*.落实****政策需满足的资格要求：

无

*.本项目的特定资格要求：（*） 被“信用中国”网站（***.***********.***.**）中列入失信被执行人和/或重大税收违法案件当事人名单的供应商、被中国****网（***.****.***.**）列入****严重违法失信行为记录名单中被财政部门禁止参加****活动的供应商（处罚决定规定的时间和地域范围内），无资格参加本项目的采购活动。（*）单位负责人为同*人或者存在直接控股、管理关系的不同单位，不得同时参加本项目的投标。为本项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的投标人，不得再参加本项目投标。（*）本项目不接受联合体投标。（*） 向采购代理机构购买了招标文件并登记备案，否则无资格参加本次投标。

*、获取招标文件

时间：****年**月**日 至****年**月**日，每天上午*:**至**:**，下午**:**至**:**。（****时间，法定节假日除外）

地点：****市海淀区*季青常青路和泓*季*号楼国信招标

方式：现场购买招标文件：因疫情原因本项目仅采用线上购买的方式发售招标文件。线上购买招标文件：请按招标代理机构提供的银行账号汇款，投标人在汇款时务必注明汇款用途、所投标项目的招标编号，然后将汇款单复印件连同下述完整表格信息及授权委托书和被授权人身份证发至我公司（邮箱：************@***.***），并请及时与下述招标代理联系人联络。招标代理公司收到所有扫描件后将电子版招标文件发到投标单位提供的电子邮箱中。

售价：￥***.* 元，本公告包含的招标文件售价总和

*、提交投标文件截止时间、开标时间和地点

提交投标文件截止时间：****年**月**日 **点**分（****时间）

开标时间：****年**月**日 **点**分（****时间）

地点：****市海淀区蓝靛厂西路**号****世纪华天大酒店华天厅会议室

*、公告期限

自本公告发布之日起*个工作日。

*、其他补充事宜

*. 本招标公告在中国****网（***.****.***.**）上发布。对于因其他网站转载并发布的非完整版或修改版公告，而导致误报名或未报名的情形，招标人及招标机构不予承担责任。

*.采购项目执行****政策

（*）对小微企业的产品给予价格扣除（监狱企业、残疾人福利性单位视同小微企业；残疾人福利性单位属于小型、微型企业的，不重复享受政策）。

（*）优先采购节能环保产品（注：所采购的货物在****节能产品、环境标志产品实施品目清单范围内，且具有国家确定的认证机构出具的、处于有效期之内的节能产品、环境标志产品认证证书）。

*.招标文件款及招标服务费款账户：（此账户用于收取招标文件款，请潜在投标人在汇款时务必注明所购买招标项目的招标编号。否则，因款项用途不明导致投标无效等后果由投标人自行承担。）

开户名称：********第*分公司

开户银行：中国工商银行股份有限公司*****季青支行

银行账号：*******************

*.投标保证金账户：此账户仅能用于收退电汇、支票、银行即期汇票形式保证金，其他业务款项不得使用此账户。（此账户用于收取保证金款，请潜在投标人在汇款时务必注明所购买招标项目的招标编号。否则，因款项用途不明导致投标无效等后果由投标人自行承担。）

开户名称：********第*分公司

开户银行：招商银行中关村支行

银行账号：***************

*、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。

*.采购人信息

名 称：****　　　　　

地址：****市****区雁栖东*路*号　　　　　　　　

联系方式：**** ***********　　　　　　

*.采购代理机构信息

名 称：****　　　　　　　　　　　　

地　址：****市海淀区*季青常青路和泓*季*号楼国信招标　　　　　　　　　　　　

联系方式：闫瀚然***********、****制***********　　　　　　　　　　　　

*.项目联系方式

项目联系人：闫瀚然

电　话：　　***********

　

公告概要：

第*章采购需求

（对“*”号条款的不满足，将被认为是实质性的偏离，将导致投标被拒绝）

*、综述

*、设备名称：大型无油真空排气台

*、数量：*台

*、交货期：合同签订后**个月内

*、交货地点：****市****区雁栖开发区雁栖东*路*号(至项目所在地安装地点)

*、技术要求

*功能及总体要求概述：

该设备用于大型电真空器件烘烤排气工序，对器件进行烘烤、排气、阴极分解、内部残余气体分析、高灵敏度检漏和器件封离等工作，为器件烘烤排气过程提供均匀稳定的热场、超高真空获得检测系统和坚固机械平台。通过该工序使器件内充分除气，形成洁净的超高真空环境。设备由内真空系统、外真空系统、炉体、升降机构、磁调和电控系统组成。

*项目实施条件

*.*供电：*****（*相*线制），****/****；

*.*行车：起吊高度设计***（地面至行车吊钩），起吊重量**；

*.*压缩空气：压力*.****，接口尺寸****；

*.*普氮：压力*.****，接口尺寸****；

*.*高氮：压力*.******，接口尺寸****；

*.*冷却水(开放回水)：≥*.****，接口尺寸****（供水）、*****（回水）；

*.*去离子水（封闭回水）：≥*.****，接口尺寸****（供水）、****（回水）；

*.*自来水（应急用）：压力和水质为自来水公司标准，接口尺寸****；

*.*废气排气口（*******口）*个，位于设备坑南侧墙面均布，距坑底*.**；

*.**设备基坑：东西**（设备面宽位置），南北*.**，深*.**（距地面），坑底承重**/**。坑*周建***×*****（宽×高）台阶，台阶上预留线槽口*个，尺寸为***×*****（长×高）用于安装设备线槽。基坑设有独立接地，在坑南侧地面位置东西*侧铺设接地端子各*个，接地电阻≤*Ω；

*.**地面承重**/**。

*技术指标

*.*设备主要指标

*.*.*型式：单工位，双排气口。排气口位置为炉底盘中间和边缘，具体位置签订技术协议时确认；

*.*.*内、外真空度指标，经***℃烘烤，保温**小时，降至室温后得到的指标：

**.*.*.*主真空系统极限真空度≤*.*×**-***；

**.*.*.*外真空系统极限真空度≤*.*×**-***。

*.*.*真空系统抽气速率和保压要求：

*.*.*.*内真空：空载状态从大气至*.*×**-***不得大于*****，***℃保温***降至室温后，内真空需优于*.*×**-***。极限真空≤*.*×**-***或者降温后优于*.*×**-****种状态时若关内真空泵和阀门，外真空放大气，**小时后内真空系统真空度需优于*.*×**-***。

*.*.*.*外真空：空载状态从大气至*.*×**-***不得大于**，***℃保温***降至室温后，外真空需优于*.*×**-***，极限真空度≤*.*×**-***或者降温后优于*.*×**-****种状态时若关外真空泵和阀门，**小时后外真空系统真空度优于*.***。

**.*.*烘箱工作区（恒温区）：≥Φ******×******；

*.*.*升降方式:双侧丝杠及光杠装置（或直线导轨），保证升降平稳，升降行程满足炉体运送；

**.*.*烘烤温度：最高温度≥***℃；

*.*.*工作温度及升温速率：工作温度***℃，可连续工作***小时以上，全过程炉体外壁温度低于**℃，升温速率*-*℃/***可调；

**.*.*炉温均匀性：恒温区内±**.*℃（***℃保温*****，使用**点测温测量），控温精度：±*℃；

*.*.*真空管道烘烤：主真空管道及插板阀可分段控制烘烤，最高温度***℃（独立设定）；

**.*.**设备装载量：≥**；

*.*.**温控：炉体加热体（侧面）采用带状分段加热（可手动选择开启和关闭加热段），底部和上部若设置加热体则采用丝状，加热方式可控；

*.*.**设备装由**根柔性热偶用于工件测温，工作时是否参与控温可以通过手动选择，参与控温时是通过设置测温热偶温差的方式进行工作；

*.*.**炉体钟罩：封头与第*段炉体采用法兰密封的方式，便于维修，炉体全部采用吊装式；

*.*.**可拆卸底盘，底盘下装有支撑龙骨（筋条），可直接支撑管架。主真空系统配备软管和硬管管道；

*.*.**设备配有*极质谱分析系统（*-***号元素），用于主真空系统内部残余气体分析；

*.*.**直流灯丝电源*组：功率*****,(******,******),精度：≤*.*（电流）；

*.*.**干式检漏系统*套：最小可检漏率*.*×**-*******-*，启动时间小于****，前级采用隔膜泵；

*.*.**器件封离系统（液压封口钳）*套，可封离直径**-****。

*.*主要结构

大型无油真空排气台主要由底座和装料台、钟罩式炉壳（分段）、主真空系统、外真空系统、隔热屏及加热系统、水冷系统、压缩空气系统、充气系统、炉壳升降系统和电气控制系统组成。

*.*.*底座和装料台

底座采用平板带水套冷却方式，平板上为多层不锈钢保温层，屏上排布镍铬加热器，底座加热功能可手动选择开启和关闭。底座上布置各种抽真空管道、规管、工件热偶和灯丝引线接口等，管道与底座连接尽量采用金属刀口密封方式，灯丝引线承载量为******,******，可长期稳定工作，数量为*组*个陶瓷引线。底座上方安装有龙骨（筋条）和不锈钢工件盘（可拆卸），用于支撑工件和工件架等，工件盘或者龙骨可装载量≥**，设计时考虑热状态形变问题，设计值尽可能预留冗余。底座的结构强度设计充分考虑炉壳和热承重的要求。底座平板上预留的**支测量热电偶接口，用于测量炉内恒温区内的工件温度，热电偶为***直径铠装柔性偶，可摆放到工件的任意位置。工作时工件热电偶是否参与控温可以通过手动选择，参与控温时是通过设置热偶最大温差的方式进行控温干预。

主真空管道穿过底座平板进入炉内，排气口为*个，位置为工件盘中间和边缘（具体位置待签订技术协议时根据真空管道布置和甲方需求，双方共同确定）。工件盘用于支撑排气工件及其工装支架，工件盘可拆卸，下装有支撑龙骨，直接支撑管件和工装。工件盘下方通过不同的真空管道连接主真空排气系统和外真空排气系统。主真空排气系统的排气管穿过装料台底板与器件排气管对接，对器件进行排气。分段钟罩组合安装好后，外真空排气系统通过装料台下方的排气口对钟罩排气，使工件在内、外双真空条件下烘烤，彻底除气。

*.*.*钟罩式炉壳

炉壳为分段钟罩式结构设计、方便产品进出、吊装和拆卸。顶盖由双层封头和法兰组成，分段钟罩是双层圆柱体加炉体法兰制作并组焊成中空结构壳体。顶盖和钟罩均为双层结构，夹层内通水用于冷却,材料全部采用不锈钢，烘箱内安装有多层不锈钢保温层以减少热量损失，提高温度均匀性。加热器采用合金制造，顶盖加热器为丝状结构，分段钟罩加热器采用带状结构，电极连接方式为螺栓连接，炉壳外加热电极接线处装有安全防护罩。

炉顶盖封头与第*段炉体采用法兰密封的方式，便于维修。连接部分用大法兰压紧真空胶圈密封，为防止升温时胶圈老化，在*侧法兰胶圈处采用水冷保护。各段炉壳均采用行车吊装方式移动，吊装到指定位置后，由设备自带升降机构负责炉壳升降，以保证升降至准确位置。

*.*.*主真空系统

主真空系统用于对工件内部进行排气，由超高真空气动插板阀、离子泵、分子泵、干式多级罗茨泵、阀门组、真空管道、主真空测量系统、残气分析（*级质谱）系统和检漏系统组成。

*.*.*.*超高真空气动插板阀共*个，阀体为不锈钢(成份***)材质，阀板为不锈钢(成份****)材质，阀体打开状态可烘烤***℃，装有位置指示器，可将阀门位置状态信息发送给控制柜，线圈电压****(或者***)，连接法兰尺寸为****，法兰为刀口（**）无氧铜密封圈形式，分别安装于离子泵和分子泵口，在排气工艺过程中，根据工艺需要控制*个主泵的接入或隔断。

*.*.*.*离子泵*台（厂家出厂极限真空可达*×**-***），抽速不小于*****/*，离子泵电源具备高压电压、离子流，泵内真空度显示功能，并可与设备工控机建立通讯，可独立控制或由工控机控制。

*.*.*.*磁悬浮分子泵*台（厂家出厂极限真空可达*.*×**-***），单台抽速不小于*****/*，可通过工控机控制泵的开关并可通过工控机读取分子泵的转速等状态信息，泵体装有主动减速装置，停泵时自动启动，确保*****内停泵，停泵后可立即进行放大气操作。

*.*.*.*干式多级罗茨泵，作为磁悬浮分子泵前级和电真空器件粗抽使用，需获得的真空环境洁净无油，故选用抽速不小于****/*干式多级罗茨泵*台，。

*.*.*.*阀门组由气动挡板阀、电磁挡板阀和手动挡板阀共计*个阀门组成，通过阀门开关控制各泵切换、检漏系统、残气分析系统和系统充放气通断。残气分析系统通断阀门为手动全金属材质，可在长时间反复使用*年自身漏率仍能保持出厂指标。

*.*.*.*真空管道由超高真空管道和低真空管道组成，采用大通导结构设计，在分子泵、离子泵与排气接头之间的超高真空管道及阀门通过详细计算，直径采用渐变模式，尽量加大流导减少抽速损失。管道全部采取内焊焊接工艺制造，材料采用低放气率不锈钢材质，制造过程中对内表面进行处理（除油、机械抛光等），确保内壁洁净光滑，保证在超高真空状态下内真空管道放气量降至最低。

*.*.*.*主真空测量系统由超高真空测量和低真空测量组成。超高真空使用*点测量方式由*个高可靠高精度传感器（最小测量值≤*.*×**-***）和*个普通超高真空规管（*用*备）构成，均安装在主真空超高真空管道上，*个真空计（*精密测量*普通测量）装在控制柜上，低真空测量采用*点形式，分别测量超真空管道和*个分子泵前级低真空值，真空计使用*个或*路方案，装在控制柜上，可与计算机进行通讯，由计算机完成内真空系统的真空器件保护和自动控制工作。

*.*.*.*残气分析（*级质谱）系统由超高真空全金属手动阀门、管道烘烤装置、*级质谱仪组成，通过阀门开关控制*级杆与真空系统的通断，*级质谱检测范围为*-***号元素，软件装在控制柜工控机上，用于分析结果存储和打印。

*.*.*.*检漏系统由检漏阀门和便携干式氦质谱仪组成，*套分子泵系统共用*台氦质谱仪，通过阀门转换可以分别进行系统及负载检漏。检漏系统最小可检漏率≤*.*×**-*******-*，启动时间小于****，前级采用隔膜泵，以免油泵产生的油蒸汽污染真空环境。

*.*.*外真空系统

该系统用于对钟罩内器件外壁排气。由分子泵组、前级泵组、阀门组、真空管道和外真空测量系统组成。

前级泵组共*套，从大气状态开始工作，分别通过*个专用旁抽预抽真空，也可通过分子泵进行预抽，可通过控制柜人为操作或者自动控制，待钟罩内真空度≤****(可设定)时，启动分子泵组，同时作为分子泵前级继续工作，数量、抽速与分子泵和炉体体积相匹配。*个前级泵组之间有管道相连，中间设阀门，处于常闭状态，以便*个泵组可以互为备份使用。每套分别由抽速不小于*****/*的旋片泵和抽速不小于******/*的罗茨泵组成。分子泵组由不小于*台普通分子泵构成，具体数量由供货商根据炉体内的体积和出气量布设，单台抽速≥*****/*。分子泵组分为*组，每组对应*套前级泵组。每台分子泵入口配气动超高真空插板阀，口径和连接方式与分子泵及管道匹配，分子泵插板阀与分子泵联动，当分子泵出现故障时关断相应的阀门，维护炉体内的洁净真空。在低真空管道上装有****检漏阀门（*个），可与氦质谱仪连接，用于钟罩的外真空检漏。在底板上安装放空阀和充气阀，用于炉体内放、冲氮气（大气），充大气阀口安装有滤网，防止充大气时灰尘进入炉体内，污染被排器件和真空系统，炉底盘装有压力传感器，用来显示炉体充气压力，压力数值可参与充气控制。外真空测量系统配置*个高真空规，*个低真空电阻规，其中高真空高精度测量*个；高真空普通测量*个；低真空高精度测量*个；低真空普通测量*个。测量点为分子泵前级泵组*个低真空高精度测量。炉底盘*个高真空高精度测量；*个低真空高精度测量；*个高真空普通测量；*个低真空普通测量。炉顶*个高真空普通测量，*个低真空普通测量。多点取样是防止在长时间工作中出现规管损坏无法测量的情况。控制柜配*套高精度全量程真空计，所有高精度测量值可仪同时显示，数据与工控机同步。为防止钟罩顶部和底部的真空度差异对器件工艺过程的影响，钟罩顶端安装的普通低真空规和高真空规作为监控，同时真空计与计算机进行通讯，由计算机或操作人完成外真空系统的真空保护和自动控制工作。

*.*.*隔热屏及加热系统

器件在排气过程中需要烘烤，是为了让器件管壁上附着的气体分子脱附，同时真空管道也需要烘烤去气。钟罩内器件烘烤控温按程序控制自动运行，可预先编制相应的温度曲线并自动运行。真空管道和插板阀外缠绕有烘烤加热带,烘烤有温度显示，可自动控制。因插板阀和真空管道的烘烤温度不*致，故需配备*台温度控制仪表分别对*台气动插板阀和内真空管道进行温度控制。

钟罩内为不锈钢隔热屏，分为上隔热屏、侧隔热屏、底隔热屏。每段钟罩固定连接着侧隔热屏，上隔热屏和侧隔热屏即可以随着钟罩*起运动，也可以分开运动。底部隔热屏安装在炉底板上，底部隔热屏可以拆卸，便于安装和更换排气器件及产品。

上隔热屏与侧隔热屏、侧隔热屏与侧隔热屏、侧隔热屏与底部隔热屏之间的采用阶梯式热场封闭方式，尽可能的减少热量散失，节约能源，提高炉内温度均匀性。

侧隔热屏内为多组加热器，与侧隔热屏固定连接。加热器由钼带或合金带构成，通过结构设计，减少加热器长时间使用后发生变形现象。各组加热采用变压器分别供电，为低电压大电流方式，最大限度保证人员安全。每组加热器通过控温热偶反馈信号可独立调节功率，以达到各区域内温度均匀性。

底部隔热屏上方安装有底部加热器，通过瓷件绝缘。加热器有金属丝绕制而成。*个电极穿过底板向下引出，电极采用**法兰加热电极，用水冷却。

*.*.*水冷系统

水冷系统用水对钟罩、底板、电极、干泵、分子泵等进行冷却。水路用阀门全部为不锈钢球阀，冷却水管道进口设有过滤器，内有过滤网。回水采用开放式水箱回水，出水管道上各分支都装有流量开关，若流量（报警值可设定）不足，声光报警并采取相应保护措施。水管使用耐压耐高温橡胶软管，并用不同颜色区分进水和出水，接头为塔型接头（格林头），每根水管*端和阀门处均标识指示水路名称和水流方向，方便操作人员观察和迅速确认设备的冷却情况。钟罩的进出水采用快插接头连接，可实现快速可靠连接。设备配备小型潜水泵和水位报警装置（可联动），安装在设备基坑底部积水坑（甲方已在基坑中建设）中，若发生跑水现象，积水坑中水位达到报警点时，潜水泵自动启动，积水排入下水道。

*.*.*压缩空气系统

压缩空气系统主要对相应气动阀门供应动力。气路进口应装有气动*大件,保证气体的清洁、干燥、气缸润滑。

*.*.*充气系统

外真空充气是为了保护器件和烘箱少被污染，缩短降温时间。外真空充气直接通过真空阀充入钟罩。为了尽量避免管道内残余气体对器件的影响，充气回路需设计有预先用氮气清洗进气管道的功能，保证充进钟罩内的气体是高纯气体。底板上安装有*个压力传感器测量钟罩内压力，并在工控机上显示。当钟罩内压力达到设定值后自动关闭进气口气动真空阀，防止出现过充现象。

*.*.*炉壳升降系统

炉壳升降系统由电机+减速机通过丝杆与导向轴+升降臂连接。通过丝杆的旋转转为导向轴的直线移动，使升降臂能实现上下运动。升降系统分为*段，可以减小丝杆和导向轴的长度，防止长期使用出现丝杆变形。升降臂上、下的滑轨机构与钟罩上的支撑臂连接，使钟罩能实现上下运动。行程分别由多个行程开关控制（每层均为双保险设置，当*个开关损坏，另*个开关起作用并对损坏开关做记录和报警处理），分别控制各段炉体的不同上、下降行程，确保炉体下降到设计位置。升降导向设置在升降架的*端，与固定在机架上的导向杆配合实现升降臂的升降，丝杆只承受轴向拉力，钟罩的力臂转移到导向杆上，保证升降机构的长期可靠平顺工作。钟罩由多段炉体组成，每段炉体上的*侧面均有*个或者*个撑臂，撑臂上有定位孔，与升降机构上的滑轨顶部的定位销配合完成升降机构和钟罩的连接；钟罩上端有*个吊耳，用于吊装炉体时使用；炉体下端有*组定位装置，将钟罩定位在机架上，以及炉体与炉体之间的定位，各段炉体与机架连接为*个整体，定位装置有利于钟罩的升降和提高钟罩的稳定性。

升降机构的动作分为下降和上升*种方式，下降方式动作如下，上升则相反：

*.下降炉体时，先将升降机构的升降臂升至顶端，同时滑轨伸出到位。等待要就位炉体吊装到位；

*.将炉体用行车吊到机架顶部近中心位置，炉体的粗限位自动伸出，等待要就位炉体吊装到位；

*.用行车吊炉体至平台架的顶端，将炉体的*个支撑座放在升降臂的滑座上，使滑座上的定位销插入支撑座的定位孔中；

*.升降系统控制炉体与升降臂*起向下运动，将升降机构的升降臂下降至就位位置后，此时升降臂与支撑座脱开，滑座自动缩回；

*.炉体下降就位，升降臂脱开，滑座缩回后，将升降机构的升降臂升至顶端，滑座自动伸出；

重复以上操作，依次将几段炉体下降就位，炉体上升时升降机构动作则相反运行，设备配备*个炉体暂放架，置于设备附件，便于炉体暂存和行车吊装位置固定使用。

*.*.**电气控制系统

电气控制系统由内真空控制系统、外真空控制系统、温度控制系统、灯丝电源控制系统、计算机控制系统和人机界面、自动运行工艺运行流程和报警系统组成，配备***不间断电源，为离子泵、各阀门、仪表和工控机供电，可持续时间不小于*****。

*.*.**.*内真空控制系统

内真空控制系统电气控制采用工业计算机+***控制方案，真空计测量真空度通过工业计算机记录，在工业计算机的显示界面上可显示泵和阀门的工作状态，当控制方式处于手动运行方式时，可通过操作控柜面板上的按钮进行泵和阀门的开关操作；当控制方式处于自动运行方式时，泵和阀门是按照程序设定自动运行的。自动运行过程中可随时中止切换为手动控制，切换手自动不会对设备运行状态造成干扰。

*）分子泵与分子泵前级真空互锁（分子泵前级真空报警时，相应的分子泵不能工作）；

*）内真空与分子泵抽气口插板阀互锁（当分子泵稳定工作后，内真空的真空度低于*定值时（可通过工业计算机设定）自动关闭分子泵抽气口插板阀，同时作声、光报警），作用是保护分子泵的安全运行；

*）内真空与离子泵抽气口插板阀互锁（当离子泵口插板阀打开后，内真空的真空度低于*定值时（可通过工业计算机设定）自动关闭离子泵抽气口插板阀，同时作声、光报警），作用是保护离子泵始终运行在高真空状态下。

*）离子泵长期运行，不停机。此时离子泵口高阀的状态由内真空度决定。当真空度优于*.**-***时，泵口的高阀开启；当真空度劣于*.**-***时，泵口的高阀关闭，保护离子泵*直处于高真空状态。

*）离子泵间歇运行，这种状态下离子泵口的高阀处于打开状态，由分子泵抽走离子泵内的气体，当真空度优于*.**-***时可再次启动离子泵运行。

*.*.**.*外真空控制系统

电气控制与内真空采用*套工业计算机+***系统，在工控机的显示界面上可显示泵和阀门的工作状态，当控制方式处于手动运行方式时，可通过操作控柜面板上的按钮进行泵和阀门的开关操作；当控制方式处于自动运行方式时，泵和阀门是按照程序设定自动运行的。自动运行过程中可随时中止切换为手动控制，切换手自动不会对设备运行状态造成干扰。

*）分子泵与外真空互锁（外真空低于设定值时，分子泵不能工作）；

*）外真空前级泵和炉体放气阀、充气阀互锁（前级泵工作时炉体放气阀（充大气）、充气阀（充保护气体）不能打开）；

*）到位行程开关与外真空联锁，当钟罩没有下降到位时外真空系统不能工作。

自动运行时，首先自动打开阀门和前级泵。当外真空优于****，自动打开分子泵。当分子泵、前级泵和阀门都正常运转后，外真空自动运行结束转入自动控温程序。

*.*.**.*温度控制系统

由温控仪，磁调器，加热器等器件组成。温控仪测量温度、电流表测量电流、电压表测量电压通过工业计算机记录温度、电流、电压和功率。可在工业计算机上完成温度的设定和实际温度的监控和记录，控温曲线可任意设定（可预先设定好曲线，使用时调用），每条控温曲线的控温节点不少于**个（每个节点包括控温时间和控制温度的信息）。可编制不小于**条工艺曲线。当工业计算机发生故障时，也可通过温控仪进行温度的控制。温度自动控制过程与内、外真空度联动，同时温度控制也与工件**只热电偶联动控制，保证测量的工件部位温差≤±**℃（可设）。

*.*.**.*灯丝电源控制系统

由直流灯丝电源组成，功率*****,(******,******),精度：≤*.*（电流）可在工业计算机上完成分解电流的设定、监控和记录，分解曲线可任意设定（可预先设定好曲线，使用时调用），每条分解曲线的控制节点不少于**个（每个节点包括分解时间、分解电流和真空度信息）。可编制不小于**条工艺曲线。当工业计算机发生故障时，也可直接控制灯丝电源，手动进行。分解自动控制与真空度、温度联动，具体数值可在工控机上更改记录。

*.*.**.*计算机自动控制系统

计算机控制系统以温度和真空度为主要参数，能按照各种排气工艺进行排气过程中的全过程程序控制，可实现程序与手动的操作切换；可以储存至少**组不同的排气程序，并可随时修改；控制过程中各电源单元有限流和限压参数设置，可最大限度的保护器件运行安全。

人机界面采用软件*次开发，分别设计操控界面、异常指示、参数设定、曲线报表、状态等多个功能界面，相互配合构成了简洁友好、功能齐全的人机交互界面。操控界面实时监测设备当前状态，并能随时对设备进行手动、自动*种方式的操作；异常指示界面显示实时报警，并能够查询各种报警的历史记录；参数设定界面用于数字化编辑各种工艺参数；曲线报表界面可以通过趋势曲线和数据报表*种不同方式查询运行数据记录，使生产具有可追溯性；*/*监控画面实时显示***的全部输入和输出状态，方便对设备进行故障判断和检查维修。

*.*.**.*自动运行工艺运行流程

根据工艺流程图，灵活运用编程语言编写各个子程序功能块，根据工艺进程在主程序中触发调用，可以实现设备全程已自动方式进行真空烘烤，还可以满足随时和手动操作进行无扰切换。异常时程序还可以给出声光报警提示，并执行相应的保护动作。

*.*.**.*报警系统

报警功能包含但不限于以下报警：

控制过程报警

*)超温报警

*)控温保持超时

*)控温温差报警

*)外真空不足

*)内真空不足

设备报警

*)加热调整器故障

*）干泵故障

*)外真空分子泵故障

*)内真空分子泵故障

*）离子泵故障

通讯报警

*)***通讯

*)控温仪表通讯

*)真空信号通讯

*)温度模块通讯

动力报警

*)干泵缺水报警

*)分子泵水报警

*)底板缺水报警

*)钟罩缺水报警

*)压缩空气报警

*)市电停电报警

*、质量保证与售后服务

*、设备整体质保期为自用户签署最终验收报告之日起至少*年，炉体漏水保修*年，在质保期间，设备发生任何非误操作造成的故障和损坏，均由供货方负责免费修复，失效*件予以免费更换，更换时所发生的费用均由供货方负担。更换的*件保修期自更换之日起*年。

*、系统使用期间内，如出现故障，供货方在接收到用户通知后于*个工作日内予以回应、提出解决方案；如故障现象无法解决，供货方应在*个工作日内安排工程师到达用户现场，对故障进行检查、定位和排除。在质保期间，设备发生任何非误操作造成的故障和损坏，均由供货方负责免费修复，失效*件予以免费更换，更换时所发生的费用均由供货方负担。

*、质量保证期内，停机待修时间不得超过**工作日，若超过**工作日，则保修期延长待机时间的*倍。

*、设备运输

*、运输：

无论在何种运输方式下，乙方包装应保证货物完好无锈蚀，安全运抵目的地。乙方应对由于包装不适当所招致的任何损坏和费用负责，包括乙方在包装时使用的不良包装或所采取的防护性措施不适当所造成的损失。包装材料必须坚固，能适应气候的变化，做到防震、防水、防蚀。应明确吊装要求，在装运过程中因包装质量造成的设备损失由乙方承担。

*、安装及调试、验收及培训

*、安装、调试：

*）乙方需提供设备现场安装及调试服务，并承担相应的全部费用。乙方需派遣称职的技术人员到买方现场负责设备安装调试工作，并有责任解答买方技术人员提出的问题。

*）乙方应对安装和调试工作进行详细记录，安装和调试工作结束后，由乙方人员在记录文件上签字并交买方备案。

*）运输、现场搬运就位、安装、调试、检验、培训及质保费用计入投标总价。

*、验收

设备验收分为初步验收和终验收*个环节，分别在乙方现场和甲方所在地进行。按照双方签订合同时的《技术协议》要求验收，卖方提供出厂合格证及出厂测试报告。

*.*设备初步验收

*）设备完成研制后，由乙方提出通知，甲方人员到乙方现场进行设备的初步验收。

*）验收内容包括设备外观质量检验、精度检验、功能检验和随机附件等。乙方提供检测结果的正式文本。买卖双方签署初步验收合格报告后，设备方可发货。

*.*设备终验收

设备的终验收在用户现场进行，乙方承担终验收期间所产生的费用、验收试验所涉及的所有耗材。验收内容包括货物数量（按出厂清单）、外观质量、规格参数、设备精度、附件和技术文件资料等内容。设备各项技术指标满足技术协议后，双方签署最终验收报告。

*.*文件验收

*)电气接线图。

*)质量检验报告。

*)测试调试记录报告。

*)设计图纸包括系统总图，流程图，结构总图等。

*)产品合格证。

*)使用维护说明书。

*.*验收费、验收试验所涉及的所有耗材由乙方负责。

*、培训

安装、调试、终验收合格后，乙方负责在****项目所在地免费培训*-*名使用方人员，技术培训内容包括设备操作、维修等，培训须保证每个人具备独立操作的能力，培训期不少于*个工作日。培训报告由双方签字。设备使用*段时间后（以验收合格后*个月内为期限），乙方提供在****项目所在地*-*个工作日的使用和维护*次培训。

*、其他

*、文件资料清单

应形成的文件资料清单

*、供货范围

*、乙方设备报价中应包括标准配置的附件和专用维修工具，同时提供备件和易损件的明细表及制造乙方和价格。

*、详细方案评审

卖方在合同生效后的*个月内完成该设备的详细方案设计，并与买方完成详细方案评审。