微纳水听器光刻研发测试系统需求参数公示(2024-YK01-W1100)-比地招标网

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公告内容：

我部拟采购*套****，为确保采购活动公平公正和竞争充分，现将项目需求参数进行网上公示，公示期为 **** 年*月**日-*月**日。广大供应商可以对项目需求参数的完整性、合理性、公正性提出具体意见建议，防止出现指向性排他性问题。

*、项目名称

****

*、货物名称、技术要求、商务要求

见附件。

*、意见反馈方式和有关说明

供应商对本次公示内容存在合理化建议的，请在公示期内，采取专人送达、传真等方式书面递交我部，我部会反馈给予用户单位。提出的意见建议应当详细具体、理由充分、实事求是，不得有意排斥其它潜在供应商。反馈材料应当写明供应商名称并加盖单位印章，必要时可提供有关证明材料。

供应商提出的意见建议，将作为我部初步论证完善需求参数要求的必要参考，是否采纳均不影响供应商参与本项目后续采购活动，我部也不作书面回复。

*、联系方式

联系人：余助理

电话：****-********

地址：****省****市

附件*.***

需求参数公示

*、商务要求

★（*）交货时间、地点和方式

*.交货时间：合同签订之日起*个月内全部交货并安装调试完毕，具

体交货时间以采购单位项目验收通知为准。

*.交货地点：****省****市，采购单位指定地点。

*.交货方式：中标供应商提供设备的各项技术性能指标必须达到合同

和招标文件规定的要求。

（*）产品包装和运输要求

中标供应商负责产品的包装设计与制造，中标供应商承担运费及装卸

费，运输责任：运输过程中的保险及产生的*切风险由中标供应商承担。

（*）报价要求

本合同报价总额上限****元。

投标供应商按照人民币（含税）报价，报价包含运输、安装、维修、

培训等费用。价格不因实施期间市场变化及政策调整因素变化。

（*）售后服务

★*.质量保证期：自交货验收完毕之日算起，所有产品质保**个月。

投标供应商对提供的物资在质保期内，因产品质量而导致的缺陷，应当免

费提供包修、包换、包退服务，因此导致的损失采购单位有权向中标供应

商追偿。超出质保期后，投标供应商应当提供上门维修服务，仅收取成本

费，终身技术支持。

*.对于无法通过电话或邮件解决的故障，**小时内派技术人员现场

维护，普通故障**小时内解决，疑难故障*周内解决。

*.提供终端软件免费技术升级服务。

*.质保期内，应采购单位要求可免费提供不少于*次的现场技术培

训。

★（*）知识产权和保密要求

投标供应商应当保证采购单位在使用该物资或其任何*部分时，不受

第*方侵权指控。同时，投标供应商不得向第*方泄露采购机构提供的技

术文件等材料。

基于项目合同履行形成的知识产权和其他权益，其权属归采购单位所

有，法律另有规定的除外。

★（*）付款及结算方式

自合同签订生效之日起**个工作日内，采购单位向中标供应商支付

合同总金额**%的合同款；验收合格后**个工作日内，采购单位凭中标

供应商提供的相关票据单证，支付**%的合同款至中标供应商；剩余货款

为质量保证金，质保期满后且无质量问题，采购单位在接到中标供应商的

质量保证金返还申请后**日内*次性无息支付全部质保金。

（*）生产及安装调试等要求

*.中标方在生产过程中应接受采购单位监督检查，采购单位提出检

查时，可提供详细的生产过程记录、质量管理记录等材料；

*.中标方应对产品进行出厂测试，采购单位按需参与相关测试。

（*）验收方式

*.使用测试验收

—*—

根据采购单位所具备的测试条件，现场抽测产品的主要技术指标参

数，其他指标依据投标供应商提供的产品说明书、出厂测试报告或第*方

计量报告（至少提供*种），检验是否符合要求。

*.合同验收

测试验收通过后，由采购单位组织会议进行合同验收，投标供应商配

合验收工作，并按照要求提供所有验收必需资料。

*、采购内容

项目拟采购*****套，包括*轴微

纳位移平台、**********平台、微运动分析仪、探针平台、微

结构成像分析平台、特种相位掩模版、超高分辨率光谱仪、高精

度气浮隔振平台。系统建成后，具备核心元器件工艺国产化及光

子芯片集成测试条件，可支撑窄线宽光纤激光器、光纤光栅传感

器、*****封装测试；具备紫外光刻、飞秒精细加工、****传感

芯片连接、动态特性分析、微结构成像分析等功能。

*、*轴微纳位移平台，*套，包括左手系****轴线性位移平台*

个、裸光纤夹持器*个、右手系**双轴线性位移平台*个、右手系***

*轴线性位移平台*个、倾斜平台*个及配套的必须的连接件和辅助部件，

构建*个完整的光纤到波导再到光纤的*轴、*自由度精密对准平台。

（*）左手系****轴线性位移平台，*个

★行程范围：水平≮***,垂直≮****

—*—

★角度偏差：≯***μ***

主体材料：不锈钢

（*）裸光纤夹持器，*个

①主体材料：不锈钢

②与左手系****轴线性位移平台适配

③可夹持不同规格光纤

（*）右手系**双轴线性位移平台，*个

①★行程范围：水平≮***,垂直≮****

②★角度偏差：≯***μ***

③主体材料：不锈钢

（*）右手系****轴线性位移平台，*个

①★行程范围：水平≮***,垂直≮****

②★角度偏差：≯***μ***

③主体材料：不锈钢

（*）倾斜平台，*个

①行程范围：≮±*°

②灵敏度：≯*******

③主体材料：不锈钢

—*—

（*）配套的连接件和辅助部件，*套

①主体材料：不锈钢

②适配性：与前述器件适配，构成*套*轴、*自由度精密对准平台

*、**********平台，*套，主要包括*台引线键合机，用于****

芯片与***板之间的连接，可存储程序**个以上，支持**～**μ*范围

内金线自动连接。

（*）焊接控制范围：≮****@*方向，≮*********@**平面

（*）★焊线直径：覆盖**～**μ*

（*）焊线类型：金丝

（*）★可存储程序：＞**个

（*）显微视觉模块：不少于*档调节，最大倍率≮**倍

*、微运动分析仪，*套，主要用于****器件进行动态特性分析，利

用激光多普勒原理，对被测目标的动态特性进行非接触式测量，可自动聚

焦，并配备数据采集和信号分析处理软件，实时显示测量结果。

（*）★支持最高频率：≮*****

（*）最大工作距离：≮***

（*）最大测量位移：≮±*.**

（*）★速度分辨率：≤*.**μ*/*/

（*）★位移分辨率:≤±***

—*—

（*）最大线性误差：≯±*%

（*）配件：配备*脚架、固定配件以及便携式仪器箱

*、探针平台，*套，主要用于对****器件进行特性动态分析，包括

信号发生器*台、示波器*台和小型探针台*套。

（*）信号发生器，*台

①★带宽：≮*****

②★分辨率：**位

③★采样率：≮******/*

④.通道数：*

⑤内置信号波形：正弦波、方波、脉冲、*角波、高斯噪声等。

⑥功能：支持从其它常用软件创建波形，并加载到波形发生器。

（*）示波器，*台

①★模拟通道数：≮*

②数字通道数：≮**

③★模拟带宽：≮******

④★最高实时采样率：≮****/*

⑤波形捕获率：≮**波形/秒

⑥最大存储深度：≮******

—*—

⑦功能：实时***，并支持设置频率、瀑布图、标记测量等

（*）小型探针台，*台

①★探针座数量：≮*路

②探针座移动范围：≮****×****×****

③★探针直径：≯**μ*

④★光学成像倍率：≮**倍，可变焦

⑤配件：配备光源和***，支持实时成像和录像

*、微结构成像分析平台，*套，用于对****微结构进行成像分析，

主要包括体式显微镜*台、可调谐激光器*台。

（*）体式显微镜，*台

①★可支持最大样品尺寸：≮*****×*****×****

②★光学分辨率：≥******/**

③等效可拓展分辨率：**平面≤***，*轴≤***

④★显微镜主体：配置*目视觉观察管，支持***实时成像记录

⑤★光源：配备透射和反射***光源及配套支架

⑥★目镜：消色差，配备**倍～**倍范围内*种不同倍数的目镜，

每种倍数各*只

⑦★物镜：消色差，配备*.*倍～*倍范围内*种不同倍数的物镜，

每种倍数各*只

—*—

⑧成像通道：配备***及必需的配件

（*）可调谐激光器，*台

①★波长范围：≮******～******，连续可调

②★波长精度：≤±***

③★波长分辨率：≤*.***

④最大输出功率：≥*****

⑤信噪比：≥****/**

⑥★典型线宽：≤******

⑦扫描速度：≥*****/*

⑧输出：保偏输出，**/***接口

⑨功能：配置显示屏幕及常用参数调节按钮

*、特种相位掩模版，*个，用于产生特定衍射条纹，并照射在待刻

写光纤上，形成特定的光刻周期。

①★按照***标准具有**波长不同周期的条纹分布

②★刻写误差：≯***

③*级效率：≯*%

④最大长度：≮*****

⑤最小周期：≯*****

—*—

*、超高分辨率光谱仪，*套，用于在线监测刻写光纤光栅及光子芯

片的透射谱和反射谱，包括高分辨率波长计*台，高分辨率光谱仪*台。

（*）高分辨率波长计,*台

①★光谱分析波长范围：≮****～******

②.波长分辨率：≤*.****～*****@****～*****，≤****@******

③★波长精度:≤±***@**,≤±***@******

④光学接口：**/**接口

⑤功率精度：≤±*.***@******

（*）高分辨率光谱仪，*台

①★光谱分析波长范围：≮****～******

②★波长精度:≤±*.***@**,≤±*.****@****～******

③★波长分辨率：≤*.**～***

④动态范围：≮****

⑥内置校准光源：是

⑦功能：配置显示屏幕及常用参数调节按钮，内置分析功能，可自动

计算被测器件的波峰波谷、谱宽、光功率等参数

*、高精度气浮隔振平台，*套，用于提供高稳定的操作和测试光学

平台，桌面式，带立柱和滚轮，方便移动。

（*）★负载：≮*～****（或≮****）

—*—

（*）安装方式：桌面型，搭载蜂巢光学平板

（*）★控制制动方式：空气压力

（*）自动机构：主动控制调整，水准调整

（*）主动控制范围：*.*～*****

（*）除振效果：≥-****@**～*****

（*）搭载面尺寸：≮*****×*****

（*）定位精度：≤±*.*****（重复定位）

（*）★控制轴数：＜*（*自由度*维控制）

（*）*配件清单

*、实验室电动工具套装（至少含电钻、电锤、电动螺丝刀、各型钻

头、批头、内*角、羊角锤、扳手、老虎钳、剥线钳、美工刀等）*套。

*、光学杆架套件（适配直径****接杆使用，含各型杆架、压板、

底板、杆架底座、叉式压板、底板、接杆、接杆定位夹、圆柱体夹持器、

正交杆架、交叉杆架、*向杆架、螺丝盒）*套。

*、仪器推车（双层，载重不低于****，台面尺寸不小于常用光谱仪、

示波器等仪器设备尺寸，带可锁定*向。

“★”项须提供技术支持材料予以响应，如产品规格表、产品宣传彩

页、技术白皮书、制造商官方网站发布的产品信息、说明书等或检测机构

出具的检测报告等技术材料支持的（定制产品除外），否则不予认可。

—**—

*、投标（报价）人资质要求

（*）资质要求

*．具有企（事）业法人资格（有行业特殊的银行、保险、

电力、电信等法人分支机构，会计师、律师等非法人组织，行业

协会等社会团体法人除外）；

*．国有企业；事业单位；军队单位；成立*年以上的非外

资（含港澳台）独资或控股企业，国内市场无类似或可替代产品

的企业除外；

*．具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；

*．有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；

*．参加军队采购活动前*年内，在经营活动中没有受到刑

事处罚或者责令停产停业、吊销许可证或者执照、****元以上

罚款等重大违法记录；

*．未被列入****失信名单、军队采购暂停名单，未在

军队采购失信名单禁入处罚期内，未被政府主管部门列入违法失

信名单、重大税收违法案件当事人；

*．单位负责人为同*人或者存在直接控股、管理关系的不

同供应商，不得同时参加同*包的采购活动。生产型企业的生产

场经营地址或者注册登记地址为同*地址的，非国有销售型企业

的股东和管理人员（法定代表人、董事、监事）之间存在近亲属、

相互占股等关联的，也不得同时参加同*包的采购活动。近亲属

指夫妻、直系血亲、*代以内旁系血亲或近姻亲关系；

—**—

*．法律、行政法规规定的其他条件；

*．本项目不接受联合体投标。

（*）投标人需准备资料要求

按甲方及****相关要求准备。

—**—

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