沈阳市大东生态环境分局关于2024年4月30日拟作出金刚石晶圆片半导体核心材料生产基地项目环境影响评价文件审查意见的公示

序号

项目

名称

建设

地点

建设单位

环境影响评价机构

项目概况

相关部门意见（审批或核准意见）

公众参与说明（报告书）

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

*

金刚石晶圆片半导体核心材料生产基地项目

沈阳市大东区望花南街**号

晶源半导体材料科技（沈阳）有限公司

沈阳熠珺环保科技有限公司

本项目为金刚石晶圆片半导体核心材料研发，研发目的是寻找高性能的热沉材料，研发工艺以硅片为衬底，钽丝为主要原材料，在微波等离子体化学气相沉积设备（***）内导入氢气和甲烷，在微波的激励下产生等离子体，在衬底上沉积薄膜制成热沉材料，通过分析试验参数（甲烷、氢气、电流、氩气、压强、样品台高度、温度、碳化持续时间等）得出生产金刚石晶圆片半导体核心材料的最佳工艺方案，年实验次数为**次。本项目为新建项目，租用沈阳新业科技服务有限公司已建成的沈阳大学科技园楼内闲置建筑进行建设。该项目劳动定员*人，实行*班*小时工作制，年工作***天。该项目供电、供暖、供水、排水均依托市政设施，实验室纯水外购。

同意

/

*、项目建设主要环境影响

*.水环境影响

项目运营期废水主要包括超声清洗废水和生活污水等。

*.声环境影响

项目运营期噪声主要来自风机、实验仪器等设备运行。

*.固体废物影响

项目运营期固体废物主要为冷却液废包装物、研发品、碳化钽、不合格品、废金刚石、生活垃圾等。

*、减缓项目建设环境影响的主要措施

*.落实废水污染防治保护措施

超声清洗废水和生活污水经化粪池后经市政管网排入沈阳市沈水湾污水处理厂处理。废水中化学需氧量、生化需氧量、氨氮、悬浮物等执行《辽宁省污水综合排放标准》（****/****-****）表*标准要求，**执行《污水综合排放标准》（******-****）表*标准要求。

*.落实噪声污染防治保护措施

项目运营期噪声主要来自风机、实验仪器等设备运行。项目通过采取选用低噪声设备、基础减振、实验设备布置于封闭空间内等措施，再经建筑隔声、距离衰减后，项目厂界*周昼夜间噪声值执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》（*******-****）*类标准要求。

*.落实防止固体废物污染环境措施

项目运营期固体废物主要为冷却液废包装物、研发品、碳化钽、不合格品、废金刚石、生活垃圾等。

冷却液废包装物属于危险废物，收集后装于相应的专用容器内，暂存于按照《危险废物贮存污染控制标准》（*******-****）要求建设的危险废物贮存点内，并按照《危险废物收集贮存运输技术规范》（******-****）相关要求进行规范管理，定期委托有资质的单位处置。

研发品、碳化钽、不合格品、废金刚石等属于*般工业固体废物，分类分区暂存于满足防渗漏、防雨淋、防扬尘等环境保护要求设置的*般固体废物暂存间内，按*般工业固体废物处置。